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公开(公告)号：CN102254998A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110200888.X
申请日：2011-07-18
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 一种无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池组件的制备方法，包括如下步骤：步骤一、在衬底上依次形成背电极和铜铟镓硒光吸收层，形成样片；步骤二、在所述样片表面溅镀氧化锌薄膜；步骤三、将所述样片放入硒化室内在硫化氢的气氛下进行退火处理，将所述氧化锌薄膜转化为硫化锌缓冲层薄膜；及步骤四、在所述硫化锌缓冲层薄膜上依次形成阻挡层及窗口层，得到所述无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池组件。上述制备方法在退火过程中由于温度较高，因此能够提高薄膜的结晶质量。本发明还提供一种硫化锌缓冲层薄膜的制备方法。
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公开(公告)号：CN102254998B
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201110200888.X
申请日：2011-07-18
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
CPC分类号： Y02P70/521
摘要： 一种无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池组件的制备方法，包括如下步骤：步骤一、在衬底上依次形成背电极和铜铟镓硒光吸收层，形成样片；步骤二、在所述样片表面溅镀氧化锌薄膜；步骤三、将所述样片放入硒化室内在硫化氢的气氛下进行退火处理，将所述氧化锌薄膜转化为硫化锌缓冲层薄膜；及步骤四、在所述硫化锌缓冲层薄膜上依次形成阻挡层及窗口层，得到所述无镉铜铟镓硒薄膜太阳能电池组件。上述制备方法在退火过程中由于温度较高，因此能够提高薄膜的结晶质量。本发明还提供一种硫化锌缓冲层薄膜的制备方法。
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公开(公告)号：CN202626280U
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201220261265.3
申请日：2012-06-05
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院 , 香港中文大学
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 一种磁控溅射设备，包括壳体、靶材、炉盘及多个挡板；所述壳体开设有反应腔；所述靶材收容于反应腔内并固定于所述壳体的内壁上；所述炉盘收容于反应腔内，所述炉盘固定于所述壳体的内壁并与所述靶材相对；所述多个挡板设置于所述壳体的内壁上，分布于所述炉盘的周围。上述磁控溅射设备中，其反应腔内壁上设有挡板。挡板用来阻挡射向反应腔内壁的溅射粒子，并对溅射粒子进行沉积，防止其形成碎渣并掉落，影响反应腔内制备的薄膜的质量。
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公开(公告)号：CN202595259U
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201220193104.5
申请日：2012-04-28
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
IPC分类号： C23C14/35
摘要： 一种磁控溅射设备，包括溅射室，安装于溅射室内的靶材，以及开口于溅射室、并与磁控溅射设备附属的真空系统之间真空相连的抽气口。还包括用于将气体送入溅射室内带有出气孔的进气管和设置于进气管与抽气口之间的挡板。进气管与挡板安装于溅射室内。上述磁控溅射设备，由于挡板的隔离作用，减弱了抽气力对溅射室内气体浓度的影响，从而使溅射室内气体浓度较均匀。另外，气体从进气管通过出气孔进入溅射室，气体分子与挡板发生碰撞，会有一部分气体分子在一定的距离内向抽气口相反的方向运动，使靶材表面区域的气体分子分布比较均匀。
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