公开(公告)号：CN117817661A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202311869277.3

申请日：2023-12-31

申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司

发明人： 朱玉东 ,  何海龙 ,  高路为 ,  莫涵

IPC分类号： B25J9/16 ,  H04L67/12 ,  H04L67/141 ,  H04L67/30

摘要： 本发明涉及半导体生产领域，提供一种用于洁净机器人设备的示教方法、示教器、系统和介质，该方法包括：S1，获取初始配置文件，初始化示教器的配置信息；S2，根据示教器当前的配置信息，获取可连接的洁净机器人设备信息；所述洁净机器人设备信息对应N个洁净机器人设备，N为大于1的整数；S3，针对每个洁净机器人设备，发送连接请求；S4，示教器与洁净机器人设备建立连接后，发送当前洁净机器人设备的对应协议，以获取洁净机器人设备具体信息，根据所述洁净机器人设备具体信息对示教器进行配置更新；S5，示教器配置更新后，对N个洁净机器人设备进行示教。该方法用于提升对洁净机器人设备示教的效率。

公开(公告)号：CN117647199A

公开(公告)日：2024-03-05

申请号：CN202311362889.3

申请日：2023-10-19

申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司

发明人： 朱玉东 ,  何海龙 ,  高路为 ,  莫涵

IPC分类号： G01B11/27 ,  H01L21/66

摘要： 本发明提供一种晶圆偏心检测方法、装置、电子设备和介质，该方法包括：控制机械手带动晶圆以低速经过N个传感器；根据晶圆以低速和高速触发传感器时对应的机械手的手指中心位置信息计算第一坐标和第二坐标；根据第一坐标和第二坐标计算延迟位置误差；根据延迟位置误差计算手指中心的已标定坐标；记录晶圆沿不同方向运动触发同一传感器时对应的原始触发坐标，根据原始触发坐标计算补偿系数；根据补偿系数和原始触发坐标计算已标定触发坐标；根据不同传感器对应的已标定触发坐标和晶圆的尺寸计算晶圆中心的已标定坐标；根据手指中心的已标定坐标和晶圆中心的已标定坐标，计算得出晶圆的实际偏心值。该方法用于高效提升对晶圆偏心值计算的精度。

公开(公告)号：CN116960039A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202310904412.7

申请日：2023-07-21

申请人： 中科芯微智能装备(沈阳)有限公司

发明人： 朱玉东 ,  何海龙 ,  高路为 ,  莫涵

IPC分类号： H01L21/677

摘要： 本发明提供了一种晶圆预对准控制方法，包括以下步骤：数据采样；数据预处理；缺口区域检测；晶圆偏心计算；缺口角度计算；晶圆位置调整，通过脉冲触发方式获取所述晶圆旋转过程中的边缘数据，去除预对准设备运动性能和/或启动加减速对数据采样的影响，提高数据采样的精度和效率；通过使用最小二乘法计算出所述缺口区域的第二半径和第一中心坐标作为先验位置信息，之后使用LM拟合迭代算法计算所述缺口区域的第三半径和第二中心坐标，从而实现对缺口区域的第二计算数据采集点的拟合，提高了所述缺口区域识别的精度。本发明解决了现有技术中晶圆预对准耗时长的问题。