公开(公告)号：CN101189357A

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN200680019570.9

申请日：2006-06-01

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： R·V·梅塔 ,  R·贾甘纳坦 ,  B·M·霍夫塔林 ,  R·林克 ,  K·S·洛宾逊 ,  R·A·斯普劳特 ,  K·J·里德 ,  A·费尔马 ,  S·B·马洪 ,  R·O·古铁雷斯 ,  T·N·布兰顿 ,  J·E·福尔纳利克

IPC: C23C14/22 ,  C23C26/00 ,  B05D1/02 ,  B05D1/24

CPC classification number: B05D1/025 ,  H01L51/0008 ,  H01L51/56

Abstract: 在表面上薄膜的沉积，包括：(i)提供连续的悬浮于至少一种载气中的期望材料的无定形固体粒子流，平均物流温度低于粒子的Tg，(ii)将物流通入加热区，使平均物流温度升至粒子的Tg以上，其中没有材料发生由于加热所导致的显著化学转变，(iii)通过至少一个分配通路以与向加热区内加入基本相同的速率排出热的物流，其中载气在通过加热区和分配通路时不发生热力学相变，以及(iv)将温度低于热物流温度的受体表面暴露于排出的热物流，且沉积期望材料的粒子。