公开(公告)号：CN112197912B

公开(公告)日：2022-12-13

申请号：CN202011077046.5

申请日：2020-10-10

申请人： 北京卫星环境工程研究所

发明人： 韩琰 ,  孟冬辉 ,  闫荣鑫 ,  孙立臣 ,  任国华 ,  王凯 ,  刘招贤 ,  张骁 ,  王静涛

IPC分类号： G01M3/20 ,  G01M3/40

摘要： 本申请提供一种检漏装置及检漏方法，包括充气区、待测工位区及测试区，充气区用于对待测工位区进行充放气；待测工位区包括测试容器及对其抽真空的第一真空泵；测试区包括质谱室、分子泵组、吸气剂泵、四极质谱计、液氮冷肼、第二真空泵、动态检漏标准漏孔及累积检漏标准漏孔；测试容器通过阀组件与质谱室连通，四极质谱计与质谱室连接，液氮冷肼与质谱室连接，分子泵组、吸气剂泵、动态检漏标准漏孔及累积检漏标准漏孔分别通过阀组件与质谱室连通。本申请的有益效果是：通过泵组的不同组合实现不同的工作方式：单独用分子泵组实现对待测元器件的真空动态检漏法检漏；配合使用吸气剂泵、分子泵和液氮冷肼实现对待测元器件的真空累积检漏法检漏。

公开(公告)号：CN112197912A

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN202011077046.5

申请日：2020-10-10

申请人： 北京卫星环境工程研究所

发明人： 韩琰 ,  孟冬辉 ,  闫荣鑫 ,  孙立臣 ,  任国华 ,  王凯 ,  刘招贤 ,  张骁 ,  王静涛

IPC分类号： G01M3/20 ,  G01M3/40

摘要： 本申请提供一种检漏装置及检漏方法，包括充气区、待测工位区及测试区，充气区用于对待测工位区进行充放气；待测工位区包括测试容器及对其抽真空的第一真空泵；测试区包括质谱室、分子泵组、吸气剂泵、四极质谱计、液氮冷肼、第二真空泵、动态检漏标准漏孔及累积检漏标准漏孔；测试容器通过阀组件与质谱室连通，四极质谱计与质谱室连接，液氮冷肼与质谱室连接，分子泵组、吸气剂泵、动态检漏标准漏孔及累积检漏标准漏孔分别通过阀组件与质谱室连通。本申请的有益效果是：单独使用分子泵组可实现对待测元器件的真空动态检漏法检漏；配合使用吸气剂泵、分子泵和液氮冷肼可实现对待测元器件的真空累积检漏法检漏。

公开(公告)号：CN112284634B

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202011161036.X

申请日：2020-10-27

申请人： 北京卫星环境工程研究所

发明人： 任国华 ,  孟冬辉 ,  闫荣鑫 ,  孙立臣 ,  王莉娜 ,  李征 ,  刘招贤 ,  张骁 ,  孙立志 ,  张海峰

IPC分类号： G01M3/20 ,  C01B32/186 ,  B23P15/00

摘要： 本发明提供了一种基于石墨烯的标准漏孔及制备方法，用以解决现有技术中检漏系统校准时漏率不稳定、存在泄漏的问题。所述基于石墨烯的标准漏孔包括气源室、渗氦组件和金属刀口法兰，渗氦组件包括渗透部和固定部，气源室与渗透部一侧连通，渗透部另一侧与待校准检漏系统的真空室连通，且两侧连通处均通过金属刀口法兰密封；渗透部依次由垂直于固定部的压力侧石英玻璃、铜箔、石墨烯薄膜和真空侧石英玻璃贴合组成；石墨烯薄膜为多孔或有缺陷的石墨烯；铜箔的压力侧贴合有石墨烯薄膜，真空侧具有化学腐蚀形成的通孔。本发明消除了漏孔的气体泄漏，提高了漏率的稳定性；且漏率达10‑14Pa·m3/s，提高了质谱检漏的校准准确度和精度。

公开(公告)号：CN113510988A

公开(公告)日：2021-10-19

申请号：CN202110864030.7

申请日：2021-07-29

申请人： 北京卫星环境工程研究所

发明人： 刘招贤 ,  孟冬辉 ,  闫荣鑫 ,  孙立臣 ,  任国华 ,  韩琰 ,  张骁 ,  王莉娜

IPC分类号： B32B27/30 ,  B32B9/00 ,  B32B9/04 ,  B01D71/02 ,  B01D71/38 ,  B01D69/12 ,  B01D67/00 ,  G01M3/20

摘要： 本申请提供一种基于石墨烯/PMMA复合薄膜标准漏孔及制备方法，标准漏孔包括压力侧金属刀口法兰、核心渗透组件和真空侧金属刀口法兰；核心渗透组件包括渗透部和支撑部；压力侧金属刀口法兰密封连接在渗透部相对远离支撑部的一侧；真空侧金属刀口法兰密封连接在支撑部相对远离支撑部的一侧；渗透部包括贴合设置的第一PMMA层和第一石墨烯层、以及贴合设置在第一石墨烯层相对远离第一PMMA层一侧的至少一个第二石墨烯层；支撑部贴合设置在渗透部相对远离第一PMMA层的一侧。本申请既具有石墨烯薄膜对气体极低漏率的优势，又解决了石墨烯薄膜极易破损的问题，在实际应用中，可通过调节第二石墨烯层的层数，以实现对漏率大小的控制。

公开(公告)号：CN112284634A

公开(公告)日：2021-01-29

申请号：CN202011161036.X

申请日：2020-10-27

申请人： 北京卫星环境工程研究所

发明人： 任国华 ,  孟冬辉 ,  闫荣鑫 ,  孙立臣 ,  王莉娜 ,  李征 ,  刘招贤 ,  张骁 ,  孙立志 ,  张海峰

IPC分类号： G01M3/20 ,  C01B32/186 ,  B23P15/00

摘要： 本发明提供了一种基于石墨烯的标准漏孔及制备方法，用以解决现有技术中检漏系统校准时漏率不稳定、存在泄漏的问题。所述基于石墨烯的标准漏孔包括气源室、渗氦组件和金属刀口法兰，渗氦组件包括渗透部和固定部，气源室与渗透部一侧连通，渗透部另一侧与待校准检漏系统的真空室连通，且两侧连通处均通过金属刀口法兰密封；渗透部依次由垂直于固定部的压力侧石英玻璃、铜箔、石墨烯薄膜和真空侧石英玻璃贴合组成；石墨烯薄膜为多孔或有缺陷的石墨烯；铜箔的压力侧贴合有石墨烯薄膜，真空侧具有化学腐蚀形成的通孔。本发明消除了漏孔的气体泄漏，提高了漏率的稳定性；且漏率达10‑14Pa·m3/s，提高了质谱检漏的校准准确度和精度。