公开(公告)号：CN118538778A

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202410578620.7

申请日：2024-05-10

申请人： 北京邮电大学

发明人： 姚远 ,  周欣 ,  程潇鹤 ,  李琦 ,  刘子豪 ,  蔡金圣

IPC分类号： H01L31/02 ,  H01L31/0203 ,  H01L31/0232 ,  H01P3/08

摘要： 本发明提供一种单行载流子光电二极管的波导封装及射频装置，封装装置包括电路板和金属封装壳体。电路板上有集成直流偏置电路的电磁波传导微带线，电磁波传导微带线的第一端口与单行载流子光电二极管键合，第二端口接入矩形波导。直流偏置电路以电磁波传导微带线为对称轴在其两边对称设置两段相同高阻微带线，高阻微带线连接直流偏置端口，其两边设置多对开路枝节。金属封装壳体的上盖和底板嵌合后壳体内部包括连通的第一腔体、第二腔体和第三腔体。第一腔体容纳单行载流子光电二极管。第二腔体容纳电路板，电路板设置在第二腔体下表面，上表面设置周期性金属销钉。第三腔体为矩形波导。本发明能够提高封装集成度，消除腔体内谐振，降低封装损耗。