公开(公告)号：CN110732887A

公开(公告)日：2020-01-31

申请号：CN201911137301.8

申请日：2019-11-19

申请人： 哈尔滨工业大学

发明人： 张瑞涛 ,  孙涛 ,  刘长在 ,  王浩 ,  史德权

IPC分类号： B23Q1/25 ,  F16C32/06

摘要： 为了提高转台的精度及刚度，本发明记载了一种超精密液体静压转台，属于超精密制造装备技术领域，具体方案如下：一种超精密液体静压转台，包括工作台、圆光栅、读数头、轴承转子、轴承定子、电机、壳体和底座，工作台固定在轴承转子的上表面，圆光栅套设在轴承转子上，读数头固定在壳体上并与圆光栅相对设置，轴承转子的周向设置有梯形凹槽，轴承定子匹配套设在梯形凹槽内并与轴承转子相接触，轴承定子上设置有若干个连通内表面与外周面的通油孔，轴承定子与底座固定连接，电机固定在底座上并驱动轴承转子转动。本发明提供了一种结构简单、更加易于装配的液体静压转台，其具有更高的转台精度和刚度，有利于超精密机床整体性能的提升。