具有耦合自适应运动特性的欠驱动手指

    公开(公告)号:CN113211477A

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN202110649464.5

    申请日:2021-06-10

    IPC分类号: B25J15/00 B25J15/02

    摘要: 本发明提供了一种具有耦合自适应运动特性的欠驱动手指,包括基关节、近指节、中指节和远指节;基关节包括驱动器、推杆、连接杆、传动杆和基座,所述的驱动器驱动推杆进行直线运动,推杆与连接杆连接,连接杆的上端与传动杆的下端铰接;近指节包括驱动杆转轴、驱动杆、近指节连杆、拉簧安装轴、拉簧、近指节中间壳体、近指节左侧板和近指节右侧板;中指节包括中指节连杆转轴、第二卡簧、中指节连杆、固定轴、中关节转轴、第一卡簧、中指节中间壳体、中指节左侧板和中指节右侧板;远指节还包括远关节转轴、远指节左侧板和远指节右侧板。本发明可以实现耦合运动及自适应运动功能并具有稳定性高,适应性强,结构紧凑的特点。

    一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法

    公开(公告)号:CN106066923B

    公开(公告)日:2019-01-08

    申请号:CN201610458140.2

    申请日:2016-06-22

    IPC分类号: G06F17/50

    摘要: 一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法,涉及毛细管放电极紫外光刻光源中主脉冲电源的脉冲压缩技术。第n‑1级和第n级磁脉冲压缩单元的电流脉冲宽度之比即脉冲压缩比gn为:第n级磁开关的环形磁芯体积Voln为:磁脉冲压缩网络的最佳脉冲压缩级数mopt为:mopt=2lnG,根据获得的最佳脉冲压缩级数mopt确定磁脉冲压缩网络的级数,根据第n级磁开关的磁芯体积Voln确定磁开关的体积,根据脉冲压缩比确定磁开关的饱和电感。本发明适用于获得磁脉冲压缩网络的电路参数。

    在等离子体氧化技术图案化的自组装膜表面上构建远离基底的仿生膜的方法

    公开(公告)号:CN104058365B

    公开(公告)日:2016-03-30

    申请号:CN201410281890.8

    申请日:2014-06-23

    发明人: 韩晓军 吕鹏

    IPC分类号: B81C1/00

    摘要: 本发明公开了一种在等离子体氧化技术图案化的自组装膜表面上构建远离基底的仿生膜的方法。所述方法为:一、利用等离子体氧化技术图案化自组装膜表面;二、在图案化自组装膜表面上进行层层自组装或金/银纳米粒子的组装,构建微米级别的沟槽结构;三、在沟槽结构的上面利用巨型磷脂泡囊的铺展制备远离基底的仿生膜。本发明将等离子体氧化技术与层层组装(及纳米技术)应用到支撑磷脂双层膜的制备中,实现了远离基底的仿生膜的制备,突破性地扩大了支撑磷脂双层膜阵列的制备方法,为膜生物物理学、生物化学、仿生学和微纳米技术领域的相关膜特性研究提供了可靠的技术方法。

    放电等离子体极紫外线光源中的主脉冲电源

    公开(公告)号:CN101860255A

    公开(公告)日:2010-10-13

    申请号:CN201010140692.1

    申请日:2010-04-07

    IPC分类号: H02M9/06 H05H1/24

    摘要: 放电等离子体极紫外线光源中的主脉冲电源,具体涉及一种用于极紫外光刻光源的电源,解决了目前无法基于放电等离子体技术实现极紫外线光源的电源这一问题。本发明所述的主脉冲电源由初级充电部分、储能及脉冲形成部分、脉冲压缩部分和毛细管放电单元组成,电网的三相电压输出端的三端分别与初级充电部分的三相电压输入端的三端相连,初级充电部分的电压输出端与储能及脉冲形成部分的电压输入端相连,储能及脉冲形成部分的电压输出端与脉冲压缩部分的电压输入端相连,脉冲压缩部分的脉冲输出端与毛细管放电单元的脉冲输入端相连。本发明基于等离子体技术将极紫外线光源中的主脉冲电源进行实现,用于极紫外光刻技术。

    一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法

    公开(公告)号:CN106066923A

    公开(公告)日:2016-11-02

    申请号:CN201610458140.2

    申请日:2016-06-22

    IPC分类号: G06F17/50

    CPC分类号: G06F17/5081

    摘要: 一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法,涉及毛细管放电极紫外光刻光源中主脉冲电源的脉冲压缩技术。第n‑1级和第n级磁脉冲压缩单元的电流脉冲宽度之比即脉冲压缩比gn为:第n级磁开关的环形磁芯体积Voln为:磁脉冲压缩网络的最佳脉冲压缩级数mopt为:mopt=2lnG,根据获得的最佳脉冲压缩级数mopt确定磁脉冲压缩网络的级数,根据第n级磁开关的磁芯体积Voln确定磁开关的体积,根据脉冲压缩比确定磁开关的饱和电感。本发明适用于获得磁脉冲压缩网络的电路参数。

    在等离子体氧化技术图案化的自组装膜表面上构建远离基底的仿生膜的方法

    公开(公告)号:CN104058365A

    公开(公告)日:2014-09-24

    申请号:CN201410281890.8

    申请日:2014-06-23

    发明人: 韩晓军 吕鹏

    IPC分类号: B81C1/00

    摘要: 本发明公开了一种在等离子体氧化技术图案化的自组装膜表面上构建远离基底的仿生膜的方法。所述方法为:一、利用等离子体氧化技术图案化自组装膜表面;二、在图案化自组装膜表面上进行层层自组装或金/银纳米粒子的组装,构建微米级别的沟槽结构;三、在沟槽结构的上面利用巨型磷脂泡囊的铺展制备远离基底的仿生膜。本发明将等离子体氧化技术与层层组装(及纳米技术)应用到支撑磷脂双层膜的制备中,实现了远离基底的仿生膜的制备,突破性地扩大了支撑磷脂双层膜阵列的制备方法,为膜生物物理学、生物化学、仿生学和微纳米技术领域的相关膜特性研究提供了可靠的技术方法。

    具有耦合自适应运动特性的欠驱动手指

    公开(公告)号:CN113211477B

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN202110649464.5

    申请日:2021-06-10

    IPC分类号: B25J15/00 B25J15/02

    摘要: 本发明提供了一种具有耦合自适应运动特性的欠驱动手指,包括基关节、近指节、中指节和远指节;基关节包括驱动器、推杆、连接杆、传动杆和基座,所述的驱动器驱动推杆进行直线运动,推杆与连接杆连接,连接杆的上端与传动杆的下端铰接;近指节包括驱动杆转轴、驱动杆、近指节连杆、拉簧安装轴、拉簧、近指节中间壳体、近指节左侧板和近指节右侧板;中指节包括中指节连杆转轴、第二卡簧、中指节连杆、固定轴、中关节转轴、第一卡簧、中指节中间壳体、中指节左侧板和中指节右侧板;远指节还包括远关节转轴、远指节左侧板和远指节右侧板。本发明可以实现耦合运动及自适应运动功能并具有稳定性高,适应性强,结构紧凑的特点。

    一种极紫外光源的主脉冲电源专用脉冲变压器

    公开(公告)号:CN105845320A

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201610388809.5

    申请日:2016-06-02

    IPC分类号: H01F19/08 H01F27/24 H01F27/30

    摘要: 一种极紫外光源的主脉冲电源专用脉冲变压器,属于极紫外光刻光源技术领域。它现有的脉冲变压器因使用材质为晶态合金的磁芯,而导致的磁感应强度增量较低、有效磁导率较低或无法用于大功率场合的问题。该脉冲变压器的磁芯为两块尺寸相同的铁基非晶磁环,所述两块铁基非晶磁环同轴重叠且相互固定;铁基非晶磁环的外径为300毫米,内径为100毫米,厚度为28毫米;初级线圈的匝数为10,次级线圈的匝数为40;初级绕线的直径为17毫米,其外表面为聚四氟乙烯套管,内部为并绕的多根漆包线;次级绕线的直径为8毫米,其外表面为聚四氟乙烯薄膜,内部为并绕的多根漆包线。本发明适用于极紫外光源用的主脉冲电源的压缩回路。