烧结结合陶瓷制品
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104271534A

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201380023993.8

    申请日:2013-03-22

    摘要: 本发明公开了一种烧结陶瓷制品,其包括碳化硅管和碳化硅基底部件,所述基底部件外接环绕管的至少一部分并与管烧结结合。管和基底部件之间的烧结结合定义为界面结合且不包含结合材料。该界面结合具有以下性能特征的至少之一:不小于约25MPa的剪切强度,不大于10%的氮密封性,不大于10%的氦密封性,和/或不大于10%的真空密封性。

    烧结结合陶瓷制品
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104271534B

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201380023993.8

    申请日:2013-03-22

    摘要: 本发明公开了一种烧结陶瓷制品,其包括碳化硅管和碳化硅基底部件,所述基底部件外接环绕管的至少一部分并与管烧结结合。管和基底部件之间的烧结结合定义为界面结合且不包含结合材料。该界面结合具有以下性能特征的至少之一:不小于约25MPa的剪切强度,不大于10%的氮密封性,不大于10%的氦密封性,和/或不大于10%的真空密封性。