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公开(公告)号：CN116066323B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202211627463.1
申请日：2022-12-16
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种低温泵，包括：壳体，壳体具有容纳空间和敞口；障板，障板设在敞口上，障板具有第一区域和第二区域，第一区域上设有多个第一通孔，第二区域上设有多个第二通孔，第一通孔的孔面积之和小于第二通孔的孔面积之和；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，冷板组件包括第一冷板和第二冷板，第一冷板在障板上的正投影和第一区域的面积相等，第二冷板设在第一冷板的远离障板的一侧，并连接第一冷板。本发明的低温泵，通过降低冷板组件中第一冷板的气体捕获量，提高第二冷板的气体捕获量，使得第二冷板能被充分利用起来，提高了低温泵的吸气容量。
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公开(公告)号：CN116086052A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202211558252.7
申请日：2022-12-06
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC分类号： F25B40/06
摘要： 本发明公开了一种蓄冷装置、制冷机及低温泵，蓄冷装置包括：一级蓄冷部件，一级蓄冷部件上设有第一空腔，以及连通第一空腔的第一排气孔和第二排气孔，第一排气孔设在一级蓄冷部件的外表面上，一级蓄冷部件具有第一端部，第二排气孔设在第一端部上；二级蓄冷部件，二级蓄冷部件具有第二端部，第二端部设在第一端部上，且与第一端部之间形成有第一进气道，第二端部上设有进气口，二级蓄冷部件的内部设有第二空腔，第二空腔连通进气口。本发明通过一级蓄冷部件上设置第一排气孔和第二排气孔能实现双排气，使一级蓄冷部件和二级蓄冷部件的关联性降低，冷量和温度的耦合性减小，可以增加一级蓄冷部件和二级蓄冷部件的冷量和温度的稳定性和可控性。
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公开(公告)号：CN115681079A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211432309.9
申请日：2022-11-15
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种低温泵设备及其运转方法，包括GM制冷机、壳体、控制部件、压缩机单元、连接管路，所述连接管路包括与壳体连通的吹扫管路和抽空管路，所述吹扫管路和抽空管路上均设有控制阀门，所述GM制冷机设于壳体内，且GM制冷机包括一级冷却台、二级冷却台以及驱动电机。本发明中，通过在控制部件根据温度传感器反馈的温度调节低温泵的驱动电机的转速，根据转速的调节达到控制设定的温度目标值。控制部件在低温泵再生过程中进行自动再生，压缩机通过自身控制单元与低温泵控制部件信息交互获取低温泵再生状态，在升温阶段提高压缩机的运行压力差，提高了低温泵的绝热压缩效率，加快再生升温阶段的速度。
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公开(公告)号：CN110925164A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911171819.3
申请日：2019-11-24
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种离子注入机用高性能低温泵，包括壳体、制冷机、辐射冷屏、障板，还包括被所述辐射冷屏和所述障板包围的吸附阵和转接板，所述吸附阵包括冷头帽、传热板和低温板，所述低温板表面设有吸附材料，所述冷头帽固定安装于所述传热板的上端且正对低温泵的吸气口，所述二级冷却台通过所述传热板的侧壁开口伸入所述传热板内腔并与所述转接板安装连接，所述转接板同时与所述冷头帽安装连接。上述结构的离子注入机用高性能低温泵有效地提高了整个低温泵的吸附速度和吸附容量，具有结构简易、安装方便的特点。
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公开(公告)号：CN107605700A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201710884204.X
申请日：2017-09-26
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种高吸留极限的低温泵，安装于真空腔室中，其包括壳体、低温冷源、位于壳体内的辐射冷屏和被辐射冷屏包围的低温板组件，所述低温冷源包括制冷机冷头，所述制冷机冷头包括同轴配置的二级冷却台和一级冷却台，所述辐射冷屏与一级冷却台热连接，所述低温板组件与二级冷却台热连接，所述壳体上设有进气口，其进气方向与制冷机冷头的轴向正交，所述低温板组件活动安装于二级冷却台上并可绕所述二级冷却台旋转。本发明提供的低温泵的低温板组件通过其旋转运动均可较为接近吸气口，实现对吸气口气体的良好冷凝和吸附。
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公开(公告)号：CN116066323A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211627463.1
申请日：2022-12-16
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种低温泵，包括：壳体，壳体具有容纳空间和敞口；障板，障板设在敞口上，障板具有第一区域和第二区域，第一区域上设有多个第一通孔，第二区域上设有多个第二通孔，第一通孔的孔面积之和小于第二通孔的孔面积之和；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，冷板组件包括第一冷板和第二冷板，第一冷板在障板上的正投影和第一区域的面积相等，第二冷板设在第一冷板的远离障板的一侧，并连接第一冷板。本发明的低温泵，通过降低冷板组件中第一冷板的气体捕获量，提高第二冷板的气体捕获量，使得第二冷板能被充分利用起来，提高了低温泵的吸气容量。
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公开(公告)号：CN115751757A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211273417.6
申请日：2022-10-18
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司 , 北京特种工程设计研究院
摘要： 本发明公开了一种以GM制冷机为冷源的三级低温泵装置，包括进气管路、第一吸附单元、第二吸附单元以及与第一吸附单元、第二吸附单元相连的气体抽送单元，所述进气管路与第一吸附单元相连，所述第一吸附单元、第二吸附单元均设有独立密闭的真空腔体及分别位于两个所述腔体内的GM制冷机，两个所述腔体结构之间通过管路连通。本发明中，通过将两个GM制冷机的设置，并单独放置在两个真空腔体内，并在两个真空腔体之间设置插板阀，通过一级冷板、二级冷板和三级冷板分别置于两个独立的真空腔体中，既可以实现对三级冷板对混合气体的独立吸附和分级解析，又能够缩小系统规模，降低系统建设成本。
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公开(公告)号：CN115628199A
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202211267329.5
申请日：2022-10-17
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司
摘要： 本发明公开了低温泵抽空装置及其抽空方法，包括低温泵组件、支管路组件、主管路组件、真空规、控制器、腔室，所述低温泵组件通过主管路组件与腔室相连，所述低温泵组件还通过支管路组件与主管路组件连通，且支管路组件管路直径小于主管路组件管路直径。本发明中，通过支管路组件及其控制阀门的设置可实现对腔室内大气的降压，使其满足低温泵组件的使用工况，防止低温泵组件的二级冷板温度超过阈值，通过控制器可根据腔室的体积及真空规反馈的压力值控制主管路组件和支管路组件上的控制阀门的开度，控制低温泵组件气体热负荷在阈值以下，从而使得本装置可直接对大气状态的腔室直接抽真空，同时免除了干泵等粗抽泵的使用，降低真空获取成本。
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公开(公告)号：CN113566469A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202110875057.6
申请日：2021-07-30
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种液氮辅助降温的大冷量制冷机及制冷方法，包括压缩机、管道、配气腔、液氮储罐、预冷腔，所述压缩机通过管道与配气腔相连通，所述配气腔的内腔安装有阀组，所述阀组通过管道与液氮储罐相连通，所述阀组通过管道与预冷腔相连通，所述预冷腔的下端通过管道贯通连接有膨胀腔，当阀组打开时，液氮储罐与配气腔均与预冷腔相通，当阀组关闭时，液氮储罐与配气腔均与预冷腔相隔断，通过引入液氮，对制冷工质先进行辅助降温，使得进入到膨胀腔的气体温度降低，可以提高制冷量效率，提升有效制冷量，并且通过一个配气阀门，同时控制氦气和液氮进入及排出，有效的提供了工作效率，同时能够有效降低液氮的消耗量，有效的提高了装置的实用性。
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公开(公告)号：CN112392687B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202011300645.9
申请日：2020-11-18
申请人： 安徽万瑞冷电科技有限公司
摘要： 本发明涉及真空设备领域，具体涉及一种耐热辐射的大抽速低温泵，包括制冷机，制冷机上安装有壳体，制冷机的冷头位于壳体中；所述冷头上设置有一级冷板、二级冷板；所述壳体的开口处设置有前置挡板，自壳体的开口进入的热辐射能够穿过前置挡板打在壳体上被反射和吸收，自壳体的开口进入的气体能够被前置挡板引导至一级冷板、二级冷板处。本发明的优点在于：通过本方案的前置挡板结构，可基本实现热辐射和气体分子分离的目的，从而极大减少低温泵冷板接收到的热辐射，并且由于气体运动通道相对顺畅，可以实现较高的气体抽速，从而兼顾耐热辐射能力与大抽速。
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