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公开(公告)号：CN119827714A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411990967.9
申请日：2024-12-31
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高纯气体纯度的测试分析系统及其测试方法，包括依次相连的分子泵、冷阱、测试腔体、连接管路、气体取样器，所述测试腔体外侧设有烘烤装置，所述连接管路包括并联连接的第一连接管路和第二连接管路，任一所述连接管路上设有MFC流量计，所述第一连接管路和第二连接管路上均设有阀门，所述测试腔体上连接有残余气体分析仪和高真空规。本发明中，通过气体分析仪能够对混合气体的组分定量分析监测，通过真空规测量10‑7Pa量级的压力，从而实现GM制冷机系统高纯氦气工质的纯度定量分析，监测氦气压缩机输出氦气的纯度，进而能够确认吸附器的更换周期。
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公开(公告)号：CN113686059B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202110875079.2
申请日：2021-07-30
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机及制冷方法，包括压缩机、管道、储气腔、一级回热器、节流制冷器，所述压缩机通过管道与储气腔相连通，所述储气腔的内腔安装有阀组，所述阀组包括固定阀、旋转阀，所述固定阀的内腔圆周分布开设有三个排气孔，且所述排气孔均与旋转阀相连通，所述旋转阀的表面相位角均开设有与排气孔相对应的第二进气孔，所述阀组通过管道与一级回热器相连通，所述一级回热器的下端通过管道贯通连接有二级回热器，所述二级回热器的下端通过管道与节流制冷器相连通，有效的提高了制冷效率，同时提升了有效的制冷量，大大提高了装置的实用性，取消了外部的预冷部件，结构上整合成一套设备，更加紧凑。
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公开(公告)号：CN111140464A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911401689.8
申请日：2019-12-30
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
IPC: F04B37/08
Abstract: 本发明公开了一种可高效再生的低温泵，包括相互连接的低温泵泵体和压缩单元，其特征在于，所述压缩单元包括沿气体流向依次设置的缓冲罐、压缩机泵、换向阀、油过滤器和吸附器，该压缩单元还包括换热器，经所述压缩机泵增压后的高压气体经所述换向阀后分为两路，一路直接流入所述油过滤器，另一路经所述换热器后再流入所述油过滤器。基于上述结构的低温泵，利用压缩机排出的没有经过换热器的高温高压工作气体，在低温泵再生升温阶段提供热源，加速升温过程，缩短升温时间。
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公开(公告)号：CN119778926A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411754395.4
申请日：2024-12-02
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种半导体设备用高纯度氦气管路气体抽空置换方法及抽空置换系统，通过干式抽空泵对待纯化氦气管路进行抽空至第一预设值，然后将高纯氮气充入待纯化氦气管路中升压至第二预设值；再次通过干式抽空泵对待纯化氦气管路进行抽空至第一预设值；利用低温泵单元对待纯化氦气管路进行进一步抽空，使得氦气管路处于高真空状态；向氦气管路内通入高纯氦气，直至要求气压。采用低温泵单元，辅以干式抽空泵配合，大大提高极限真空度，通过对氦气管路进行反复充氮和抽空，实现抽空流洗，极大的节省氦气消耗，具有操作简便，生产效率高的效果。
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公开(公告)号：CN116221066B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202310029623.0
申请日：2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵、控制系统和控制方法，低温泵包括：泵壳；冷屏，冷屏设在泵壳内，冷屏的内部形成有容纳空间，冷屏上设有通孔，通孔连通容纳空间；一级蓄冷部件，一级蓄冷部件设在泵壳内；二级蓄冷部件，二级蓄冷部件设在容纳空间内，二级蓄冷部件的一端延伸出通孔并连接一级蓄冷部件；连接件，连接件的一端连接一级蓄冷部件，另一端连接冷屏；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，并连接二级蓄冷部件。本发明实施例的低温泵可以增加二级蓄冷部件的长度和减小一级蓄冷部件的长度，提高二级蓄冷部件的蓄能能力，并满足大冷量需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114739030B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202210224520.5
申请日：2022-03-07
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种减振变频氦气压缩机系统的控制方法，系统包括压缩泵、换热器、滤油器、吸附器以及平衡罐，所述压缩泵的冷冻油出口和氦气出口分别与换热器的两个入口连通，换热器的气路出口与滤油器连通，换热器的油路出口通过常开电磁阀与压缩泵通过油路连通，滤油器与吸附器通过气路连通，吸附器与进气连接管通过气路连通，进气连接管、低温泵、回气连接管、平衡罐及压缩泵顺次通过气路连通，平衡罐与压缩泵之间的气路与滤油器通过油路连通，吸附器与滤油器之间的气路以及平衡罐与压缩泵之间的气路通过第一中间气路连通且第一中间气路上设置常闭电磁阀；本发明的优点在于：有效降低系统振幅，避免对整机寿命及可靠性造成不利影响。
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公开(公告)号：CN113686059A
公开(公告)日：2021-11-23
申请号：CN202110875079.2
申请日：2021-07-30
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种采用平面密封阀和回热器预冷的JT/GM制冷机及制冷方法，包括压缩机、管道、储气腔、一级回热器、节流制冷器，所述压缩机通过管道与储气腔相连通，所述储气腔的内腔安装有阀组，所述阀组包括固定阀、旋转阀，所述固定阀的内腔圆周分布开设有三个排气孔，且所述排气孔均与旋转阀相连通，所述旋转阀的表面相位角均开设有与排气孔相对应的第二进气孔，所述阀组通过管道与一级回热器相连通，所述一级回热器的下端通过管道贯通连接有二级回热器，所述二级回热器的下端通过管道与节流制冷器相连通，有效的提高了制冷效率，同时提升了有效的制冷量，大大提高了装置的实用性，取消了外部的预冷部件，结构上整合成一套设备，更加紧凑。
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公开(公告)号：CN112392687A
公开(公告)日：2021-02-23
申请号：CN202011300645.9
申请日：2020-11-18
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明涉及真空设备领域，具体涉及一种耐热辐射的大抽速低温泵，包括制冷机，制冷机上安装有壳体，制冷机的冷头位于壳体中；所述冷头上设置有一级冷板、二级冷板；所述壳体的开口处设置有前置挡板，自壳体的开口进入的热辐射能够穿过前置挡板打在壳体上被反射和吸收，自壳体的开口进入的气体能够被前置挡板引导至一级冷板、二级冷板处。本发明的优点在于：通过本方案的前置挡板结构，可基本实现热辐射和气体分子分离的目的，从而极大减少低温泵冷板接收到的热辐射，并且由于气体运动通道相对顺畅，可以实现较高的气体抽速，从而兼顾耐热辐射能力与大抽速。
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公开(公告)号：CN116066342B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202310028913.3
申请日：2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵的控制装置及控制方法，控制装置包括：输入部，输入低温泵所应用的工艺过程中的工艺参数；传感器接入部，接入采集低温泵的运行参数的内置传感器；数据采集部，将内置传感器采集的模拟信号数字化，并存入数据库；工艺流程模型部，建立工艺流程模型；工作状态分析部，根据数据采集部采集的运行数据，分析低温泵的工作状态，并实时监测低温泵的运行参数的变化，根据数据库中的历史数据，利用工艺流程模型，给出低温泵的性能和工作时长的曲线，以及再生的推荐间隔周期；输出部，输出监测数据和工作状态分析部的分析数据。本发明能为生产系统的良性运行提供参考数据，给出低温泵的性能和工作时长的曲线，再生的推荐间隔周期。
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公开(公告)号：CN116221066A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202310029623.0
申请日：2023-01-09
Applicant: 安徽万瑞冷电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种低温泵、控制系统和控制方法，低温泵包括：泵壳；冷屏，冷屏设在泵壳内，冷屏的内部形成有容纳空间，冷屏上设有通孔，通孔连通容纳空间；一级蓄冷部件，一级蓄冷部件设在泵壳内；二级蓄冷部件，二级蓄冷部件设在容纳空间内，二级蓄冷部件的一端延伸出通孔并连接一级蓄冷部件；连接件，连接件的一端连接一级蓄冷部件，另一端连接冷屏；冷板组件，冷板组件设在容纳空间内，并连接二级蓄冷部件。本发明实施例的低温泵可以增加二级蓄冷部件的长度和减小一级蓄冷部件的长度，提高二级蓄冷部件的蓄能能力，并满足大冷量需求。
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