公开(公告)号：CN107365975A

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：CN201710335600.7

申请日：2017-05-12

申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司

发明人： C·M·伯特彻 ,  J·P·内尔森 ,  S·V·伊万诺夫 ,  T·A·斯泰德尔 ,  康慨 ,  W·H·贝利三世

IPC分类号： C23C16/455

摘要： 本文描述的是用于在沉积工艺的容器中提供前体利用率的改进的递送容器、系统和其使用方法，以及容器的清洁和再填充。所述容器设计有允许载气从流量分配器递送的结构。所述流量分配器包括多个小开口(喷口)，载气通过其进入前体腔室并冲击在所述化学前体表面上以产生蒸气。

公开(公告)号：CN107365975B

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201710335600.7

申请日：2017-05-12

申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司

发明人： C·M·伯特彻 ,  J·P·内尔森 ,  S·V·伊万诺夫 ,  T·A·斯泰德尔 ,  康慨 ,  W·H·贝利三世

IPC分类号： C23C16/455

摘要： 本文描述的是用于在沉积工艺的容器中提供前体利用率的改进的递送容器、系统和其使用方法，以及容器的清洁和再填充。所述容器设计有允许载气从流量分配器递送的结构。所述流量分配器包括多个小开口(喷口)，载气通过其进入前体腔室并冲击在所述化学前体表面上以产生蒸气。