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公开(公告)号：CN109211357A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201811082702.3
申请日：2014-05-15
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： G01F23/296
摘要： 本发明的实施方式提供了用于测量密封容器内液位的具有增加数量(例如，十二个)的超声传感器的超声探头。所述超声探头包括颈管，其使得所述超声探头尽管具有容纳所述增加数量的超声传感器的加大的桶，也可与现有的标准化容器配件一起使用。本发明的实施方式还提供了系统和方法，其中超声探头中的超声传感器被一次一个地激活，以减少所述超声传感器及其配线之间的串扰。
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公开(公告)号：CN106941778B
公开(公告)日：2021-03-26
申请号：CN201580062453.X
申请日：2015-11-18
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： G01F23/296
摘要： 本文公开了超声传感探头(100)和控制器(109)。控制器(109)可操作地配置成确定并显示设置在探头(100)的桶(123)中的多个超声传感器(156)各自的湿润和干燥状态。如果满足某些条件，例如传感器(156)在多个读数或在预定时间段上始终指示新状态，则控制器(109)可以将传感器(156)的状态从湿润变为干燥或者从干燥变成湿润。控制器(109)优选地包括能够产生指示探头(100)设置于其中的容器中的液位的阶梯式模拟或数字信号的双线输出。
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公开(公告)号：CN105387910B
公开(公告)日：2019-02-19
申请号：CN201510549187.5
申请日：2015-08-31
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： G01F23/296
摘要： 一种用于测量密封容器内的液位的具有超声传感器(例如，压电晶体)的超声探头，其具有使得探头更可靠且能够随着容器接近于空的状态得到更精确的液位读数的特征。实施方式包括在探头的下端使超声传感器间隔更密切，偏置传感器以使得其垂直间隔能够更紧密，用于冗余的匹配的传感器对，和位于探头下端的面向下的传感器以降低可通过探头精确测量的最小液位。还可以提供坑槽以进一步降低可通过探头精确测量的最小液位。
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公开(公告)号：CN108690971B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201810312046.5
申请日：2018-04-09
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： C23C16/448
摘要： 本发明描述了无气溶胶容器、递送贮器、使用其的系统和方法，以提供对用于沉积方法的贮器中前体利用的改善、以及贮器的清洁和再填充。由于某些前体分解蒸气而导致的阀门和管道堵塞得以最小化。本发明防止雾的形成并因此防止来自气溶胶的堵塞或晶片污染。
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公开(公告)号：CN108690971A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810312046.5
申请日：2018-04-09
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： C23C16/448
摘要： 本发明描述了无气溶胶容器、递送贮器、使用其的系统和方法，以提供对用于沉积方法的贮器中前体利用的改善、以及贮器的清洁和再填充。由于某些前体分解蒸气而导致的阀门和管道堵塞得以最小化。本发明防止雾的形成并因此防止来自气溶胶的堵塞或晶片污染。
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公开(公告)号：CN110551989A
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201910951469.6
申请日：2016-04-18
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18
摘要： 本文公开了一种容器，其用于利用载气从包含在所述容器内的前体材料输送含有前体的流体流。所述容器限定分段为上空间和下空间的内部空间，所述上空间与所述下空间流体连通，所述下空间包含基本上所有所述前体材料并通过分隔体与所述上空间分隔开。所述容器包括从入口端口延伸通过所述分隔体、具有远端并且沿所述容器的底部内壁延伸的扩散管，所述远端具有多个形成于其中的开口。
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公开(公告)号：CN107365975A
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：CN201710335600.7
申请日：2017-05-12
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本文描述的是用于在沉积工艺的容器中提供前体利用率的改进的递送容器、系统和其使用方法，以及容器的清洁和再填充。所述容器设计有允许载气从流量分配器递送的结构。所述流量分配器包括多个小开口(喷口)，载气通过其进入前体腔室并冲击在所述化学前体表面上以产生蒸气。
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公开(公告)号：CN114657539A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210314638.7
申请日：2016-04-18
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/455 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18
摘要： 本文公开了一种容器，其用于利用载气从包含在所述容器内的前体材料输送含有前体的流体流。所述容器限定分段为上空间和下空间的内部空间，所述上空间与所述下空间流体连通，所述下空间包含基本上所有所述前体材料并通过分隔体与所述上空间分隔开。所述容器包括从入口端口延伸通过所述分隔体、具有远端并且沿所述容器的底部内壁延伸的扩散管，所述远端具有多个形成于其中的开口。
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公开(公告)号：CN107365975B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201710335600.7
申请日：2017-05-12
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： C23C16/455
摘要： 本文描述的是用于在沉积工艺的容器中提供前体利用率的改进的递送容器、系统和其使用方法，以及容器的清洁和再填充。所述容器设计有允许载气从流量分配器递送的结构。所述流量分配器包括多个小开口(喷口)，载气通过其进入前体腔室并冲击在所述化学前体表面上以产生蒸气。
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公开(公告)号：CN104215300B
公开(公告)日：2019-12-13
申请号：CN201410206617.9
申请日：2014-05-15
申请人： 弗萨姆材料美国有限责任公司
IPC分类号： G01F23/296
摘要： 本发明的实施方式提供了用于测量密封容器内液位的具有增加数量(例如，十二个)的超声传感器的超声探头。所述超声探头包括颈管，其使得所述超声探头尽管具有容纳所述增加数量的超声传感器的加大的桶，也可与现有的标准化容器配件一起使用。本发明的实施方式还提供了系统和方法，其中超声探头中的超声传感器被一次一个地激活，以减少所述超声传感器及其配线之间的串扰。
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