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公开(公告)号：CN103456667A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310184743.4
申请日：2013-05-17
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供能够不会造成结构的复杂化且在不会使较强的应力局部地作用于显示面板地使该显示面板在被交接时在吸附面上升降的吸附台。本发明的吸附台用于保持显示面板，其中，该吸附台包括：支承台，其具有开设有负压开口的吸附面；多个升降条，其以横穿上述吸附面的方式配置；多个凹部，该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上，用于将上述升降条收纳在上述支承台内而不使上述升降条自上述吸附面突出；支承机构，其位于上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位，以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条；升降装置，其为了使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收纳在上述凹部中的下降位置之间升降而与上述支承机构相关联地设置。
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公开(公告)号：CN103728505B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201310481443.2
申请日：2013-10-15
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 提供一种检查装置，其在一台检查装置中应对种类不同的被检查体的检查，并且提高检查装置的运转率，从而提高该被检查体的检查工序的生产率。检查被检查体的检查装置具备检查上述被检查体的多个探测单元机构和与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，上述多个探测单元机构能够在相同的方向线上移动，在上述方向线上存在上述检查位置。
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公开(公告)号：CN103456667B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201310184743.4
申请日：2013-05-17
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供能够不会造成结构的复杂化且在不会使较强的应力局部地作用于显示面板地使该显示面板在被交接时在吸附面上升降的吸附台。本发明的吸附台用于保持显示面板，其中，该吸附台包括：支承台，其具有开设有负压开口的吸附面；多个升降条，其以横穿上述吸附面的方式配置；多个凹部，该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上，用于将上述升降条收纳在上述支承台内而不使上述升降条自上述吸附面突出；支承机构，其位于上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位，以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条；升降装置，其为了使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收纳在上述凹部中的下降位置之间升降而与上述支承机构相关联地设置。
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公开(公告)号：CN103728505A
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201310481443.2
申请日：2013-10-15
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 提供一种检查装置，其在一台检查装置中应对种类不同的被检查体的检查，并且提高检查装置的运转率，从而提高该被检查体的检查工序的生产率。检查被检查体的检查装置具备检查上述被检查体的多个探测单元机构和与上述多个探测单元机构对应的被检查体的检查位置，上述多个探测单元机构能够在相同的方向线上移动，在上述方向线上存在上述检查位置。
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