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公开(公告)号:CN103456667A
公开(公告)日:2013-12-18
申请号:CN201310184743.4
申请日:2013-05-17
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供能够不会造成结构的复杂化且在不会使较强的应力局部地作用于显示面板地使该显示面板在被交接时在吸附面上升降的吸附台。本发明的吸附台用于保持显示面板,其中,该吸附台包括:支承台,其具有开设有负压开口的吸附面;多个升降条,其以横穿上述吸附面的方式配置;多个凹部,该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上,用于将上述升降条收纳在上述支承台内而不使上述升降条自上述吸附面突出;支承机构,其位于上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位,以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条;升降装置,其为了使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收纳在上述凹部中的下降位置之间升降而与上述支承机构相关联地设置。
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公开(公告)号:CN103681436B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201310395196.4
申请日:2013-09-03
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: H01L21/683 , G01R31/00
Abstract: 本发明提供一种吸附台。吸附台用于保持显示面板,其包括:支承台,其具有开设有负压开口的吸附面;多个升降条,其配置为横穿吸附面;多个凹部,该多个凹部彼此并行地设置在吸附面上,以便将升降条收容在支承台内而使升降条不会自吸附面突出;支承机构,其在支承台的侧部中的、多个凹部敞开的部位以能够使升降条升降的方式支承升降条;升降装置,其与支承机构相关联地设置,以便使升降条在自凹部突出的上升位置与收容在凹部中的下降位置之间升降。支承机构包括在升降条的两端支承该升降条的支柱、被该支柱支承的导向销、以及用于容许该导向销贯穿的设于升降条的槽。
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公开(公告)号:CN101739923A
公开(公告)日:2010-06-16
申请号:CN200910209403.6
申请日:2009-10-27
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种被检查基板的对准装置。该被检查基板的对准装置对大型的被检查基板可靠地进行预对准。包括:Xθ轴工件载置台,支承被检查基板能在X轴方向上移动且能绕θ轴方向旋转;YZ轴接触载置台,构成为与该Xθ轴工件载置台分别独立的构件而沿Y轴方向架设;控制部,控制上述Xθ轴工件载置台及YZ轴接触载置台。上述控制部具有这样的功能,即,基于由上述YZ轴接触载置台侧的上述Y轴预对准传感器及至少2个上述X轴预对准传感器检测出的上述被检查基板的位置信息,控制上述Xθ轴工件载置台的上述θ轴旋转机构及X轴直线运动机构而使上述工作台在X轴方向上移动并使其适当地旋转,从而对该被检查基板进行预对准。
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公开(公告)号:CN115561606A
公开(公告)日:2023-01-03
申请号:CN202210722105.2
申请日:2022-06-24
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 不是依靠操作者的感觉的操作方法,而能够高精度地调整探针相对于电极焊盘的初始对位。本发明的检查装置是使用与被检查体的电极电接触的触头,检查被检查体的电特性,该检查装置具备:位置调整单元,其具有触头、调整触头的顶端位置的位置调整部、检测触头与电极的接触载荷值的载荷检测部;位置导出部,其基于在特定方向上的触头的接触位移量与触头及电极的接触载荷值的关系,导出在特定方向上的触头的初始位置;以及移动执行部,其基于由位置导出部导出的、特定方向上的初始位置,使触头的顶端位置移动。
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公开(公告)号:CN103456667B
公开(公告)日:2017-04-26
申请号:CN201310184743.4
申请日:2013-05-17
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供能够不会造成结构的复杂化且在不会使较强的应力局部地作用于显示面板地使该显示面板在被交接时在吸附面上升降的吸附台。本发明的吸附台用于保持显示面板,其中,该吸附台包括:支承台,其具有开设有负压开口的吸附面;多个升降条,其以横穿上述吸附面的方式配置;多个凹部,该多个凹部彼此并行地设置在上述吸附面上,用于将上述升降条收纳在上述支承台内而不使上述升降条自上述吸附面突出;支承机构,其位于上述支承台的侧部中的、上述多个凹部敞开的部位,以能够使上述升降条升降的方式支承上述升降条;升降装置,其为了使上述升降条在自上述凹部突出的上升位置与收纳在上述凹部中的下降位置之间升降而与上述支承机构相关联地设置。
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公开(公告)号:CN103681436A
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201310395196.4
申请日:2013-09-03
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
IPC: H01L21/683 , G01R31/00
CPC classification number: H01L21/6838 , H01L2221/68304
Abstract: 本发明提供一种吸附台。吸附台用于保持显示面板,其包括:支承台,其具有开设有负压开口的吸附面;多个升降条,其配置为横穿吸附面;多个凹部,该多个凹部彼此并行地设置在吸附面上,以便将升降条收容在支承台内而使升降条不会自吸附面突出;支承机构,其在支承台的侧部中的、多个凹部敞开的部位以能够使升降条升降的方式支承升降条;升降装置,其与支承机构相关联地设置,以便使升降条在自凹部突出的上升位置与收容在凹部中的下降位置之间升降。支承机构包括在升降条的两端支承该升降条的支柱、被该支柱支承的导向销、以及用于容许该导向销贯穿的设于升降条的槽。
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公开(公告)号:CN101739923B
公开(公告)日:2012-10-03
申请号:CN200910209403.6
申请日:2009-10-27
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种被检查基板的对准装置。该被检查基板的对准装置对大型的被检查基板可靠地进行预对准。包括:Xθ轴工件载置台,支承被检查基板能在X轴方向上移动且能绕θ轴方向旋转;YZ轴接触载置台,构成为与该Xθ轴工件载置台分别独立的构件而沿Y轴方向架设;控制部,控制上述Xθ轴工件载置台及YZ轴接触载置台。上述控制部具有这样的功能,即,基于由上述YZ轴接触载置台侧的上述Y轴预对准传感器及至少2个上述X轴预对准传感器检测出的上述被检查基板的位置信息,控制上述Xθ轴工件载置台的上述θ轴旋转机构及X轴直线运动机构而使上述工作台在X轴方向上移动并使其适当地旋转,从而对该被检查基板进行预对准。
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公开(公告)号:CN309135060S
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202430330340.5
申请日:2024-05-31
Applicant: 日本麦可罗尼克斯股份有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称:半导体器件测试仪器的壳体部。
2.本外观设计产品的用途:本产品整体为用于相对于晶片进行探针保护针校准的半导体测试仪器(探测器)。
局部为保护内置部件的壳体。
3.本外观设计产品的设计要点:在于要求保护的部分的形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图1。
5.其他需要说明的情形其他说明:本外观设计要求局部外观设计保护,实线所表示的部分为要求保护的部分,虚线所表示的部分为不要求保护的部分。
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