分解清洗组合物的制造方法

    公开(公告)号:CN114746536A

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202080081816.5

    申请日:2020-10-23

    Abstract: 本发明提供改善蚀刻速度的保持率的分解清洗组合物的制造方法。一种分解清洗组合物的制造方法,所述分解清洗组合物含有(A)氢原子未直接键合于氮原子的N‑取代酰胺化合物、及(B)氟化烷基季铵或其水合物,所述制造方法具有在非活性气体气氛下将上述(A)及(B)进行混合的调制工序。

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