公开(公告)号：CN115427547A

公开(公告)日：2022-12-02

申请号：CN202180027510.6

申请日：2021-03-24

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 林宏太朗 ,  中崎晋

IPC: C11D7/28 ,  B08B3/08 ,  C11D7/50 ,  H01L21/304

Abstract: 提供抑制了经时的蚀刻速度的降低的组合物。一种组合物，其包含：氟化烷基季铵和氟化烷基季铵的水合物中的至少1种；作为非质子性溶剂的(A)在氮原子上不具有活性氢的N‑取代酰胺化合物、和(B)双丙甘醇二甲基醚；以及抗氧化剂。

公开(公告)号：CN114269892A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202080058952.2

申请日：2020-07-30

Applicant: 昭和电工株式会社

Inventor： 林宏太朗

IPC: C11D7/26 ,  C11D7/32 ,  C11D7/60 ,  B08B3/08

Abstract: 本发明提供一种与粘接剂表面的亲和性优异，能够实现高蚀刻速度的组合物。一个实施方式的组合物含有氟化烷基季铵或氟化烷基季铵的水合物、和作为非质子性溶剂的(A)氮原子上不具有活性氢的N‑取代酰胺化合物及(B)二丙二醇二甲醚，(B)二丙二醇二甲醚中式(1)表示的结构异构体的比例相对于(B)二丙二醇二甲醚的总量为50质量％以上。