公开(公告)号：CN117630254A

公开(公告)日：2024-03-01

申请号：CN202311609834.8

申请日：2023-11-29

Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所

Inventor： 朱敏杰 ,  张国钦 ,  杜晓辉 ,  刘帅 ,  陈凡红 ,  刘丹 ,  王麟琨

IPC: G01N30/60 ,  B01D15/10 ,  G01N30/02 ,  B81C3/00 ,  B81C1/00

Abstract: 本公开提供了一种基于玻璃热回流工艺的高深宽比微色谱柱及其制备方法。该方法包括：在硅晶圆表面制备硅凹槽，采用玻璃回流工艺在硅凹槽中热回流填充熔融态的玻璃，冷却后对玻璃回流后上表面进行平坦化，并对硅晶圆背面进行减薄和刻蚀，清除硅材料，形成玻璃通道；对硅晶圆表面进行光刻和深反应离子刻蚀，形成硅通道；将玻璃通道和硅通道对准进行阳极键合，得到高深宽比微色谱柱。利用本公开，玻璃通道是采用热回流工艺将玻璃晶圆经高温软化和熔融回流至硅晶圆经刻蚀后的硅结构内一体成形的，无需刻蚀或腐蚀玻璃，玻璃通道成形质量高，且玻璃通道易于加工成型，有效地降低了加工难度，是高深宽比微色谱柱工艺实现的有效途径。采用硅‑玻璃阳极键合技术，键合难度大大降低，易于实现。