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公开(公告)号：CN114877938A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210517465.9
申请日：2022-05-12
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种用于洞窟空气颗粒物的监测元件及装置，包括温湿度监测单元，对洞窟空气颗粒物的湿度和颗粒物浓度检测环境的温度进行实时监测，并发送空气湿度数据和检测温度数据至数据处理单元；除湿单元，根据空气湿度数据对洞窟空气颗粒物进行除湿处理，维持颗粒物浓度检测环境；激光检测单元，在颗粒物浓度检测环境中，对颗粒物进行浓度检测，并发送浓度数据至数据处理单元；数据处理单元，获取与检测温度对应的修正系数，进行浓度数据的处理得到修正浓度数据，同时根据空气湿度数据控制除湿单元的启停。本公开可实现石窟寺类洞窟微环境空气颗粒物的实时、高精度监测需求，具备安装便携、数据可远传的功能。
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公开(公告)号：CN114716132A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210221075.7
申请日：2022-03-08
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于纳米粉末制备玻璃的方法，包括：按照玻璃各组分的质量百分比准备纳米粉末原料；将准备好的纳米粉末原料加入烧杯中，加入去离子水混合均匀，然后将烧杯放入超声水槽中，使混合均匀的纳米粉末原料充分振荡，消除粉末间的团聚；将充分振荡的纳米粉末原料放入真空箱内，抽真空并保持真空环境一段时间；将纳米粉末原料从真空箱取出并填入耐高温样品选定区域，在高温管式炉内进行烧结，纳米粉末原料在高温管式炉内经软化、回流、冷却，形成块状玻璃。利用本公开，节省了自制玻璃粉末的过程，缩短了制备时间，提高了制备效率，同时保障了粉末粒径的一致性，有效地解决了现有技术中存在的工艺过程耗时长等问题。
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公开(公告)号：CN117630254A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311609834.8
申请日：2023-11-29
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于玻璃热回流工艺的高深宽比微色谱柱及其制备方法。该方法包括：在硅晶圆表面制备硅凹槽，采用玻璃回流工艺在硅凹槽中热回流填充熔融态的玻璃，冷却后对玻璃回流后上表面进行平坦化，并对硅晶圆背面进行减薄和刻蚀，清除硅材料，形成玻璃通道；对硅晶圆表面进行光刻和深反应离子刻蚀，形成硅通道；将玻璃通道和硅通道对准进行阳极键合，得到高深宽比微色谱柱。利用本公开，玻璃通道是采用热回流工艺将玻璃晶圆经高温软化和熔融回流至硅晶圆经刻蚀后的硅结构内一体成形的，无需刻蚀或腐蚀玻璃，玻璃通道成形质量高，且玻璃通道易于加工成型，有效地降低了加工难度，是高深宽比微色谱柱工艺实现的有效途径。采用硅‑玻璃阳极键合技术，键合难度大大降低，易于实现。
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公开(公告)号：CN114877938B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202210517465.9
申请日：2022-05-12
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种用于洞窟空气颗粒物的监测元件及装置，包括温湿度监测单元，对洞窟空气颗粒物的湿度和颗粒物浓度检测环境的温度进行实时监测，并发送空气湿度数据和检测温度数据至数据处理单元；除湿单元，根据空气湿度数据对洞窟空气颗粒物进行除湿处理，维持颗粒物浓度检测环境；激光检测单元，在颗粒物浓度检测环境中，对颗粒物进行浓度检测，并发送浓度数据至数据处理单元；数据处理单元，获取与检测温度对应的修正系数，进行浓度数据的处理得到修正浓度数据，同时根据空气湿度数据控制除湿单元的启停。本公开可实现石窟寺类洞窟微环境空气颗粒物的实时、高精度监测需求，具备安装便携、数据可远传的功能。
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公开(公告)号：CN114279895A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111608159.8
申请日：2021-12-24
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统及方法，该测量系统包括：直流供电模块采用外部24V直流供电，用于为直流脉冲激励信号发生模块和温度采集及数据处理模块供电；直流脉冲激励信号发生模块用于产生脉宽及幅值可调控的直流脉冲激励电压信号VD，并输送至微机械谐振粘度传感器敏感结构；微机械谐振粘度传感器敏感结构用于在直流脉冲激励电压信号VD的驱动下产生敏感电流传感信号，并输送至温度采集及数据处理模块；温度采集及数据处理模块用于对敏感电流传感信号进行数据预处理及解析，得到被测流体粘度密度参数。利用本公开，由于能够同时实现微机电谐振式粘度传感器谐振频率和谐振Q值的测量，进而能够实现流体粘度的测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107655595A
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201710982712.1
申请日：2017-10-19
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种微机电谐振结构、谐振器及压力传感器。该谐振结构包括：环形谐振主梁；环形谐振辅梁，设置于环形谐振主梁的外侧；2N个第一连接块，匀设于环形谐振主梁和环形谐振辅梁之间的环形空间内，对于每一个第一连接块，其内侧刚性连接至环形谐振主梁；2N个第一调频块，匀设于环形谐振主梁和环形谐振辅梁之间的环形空间内，每一个第一调频块设置于两个第一连接块之间，其内侧和外侧分别刚性连接至环形谐振主梁和环形谐振辅梁；N为正整数，2N个第一连接块和2N个第一调频块关于环形谐振主梁和环形谐振辅梁共同的轴对称。本公开中，谐振结构的振动为动平衡状态且完全耦合。
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公开(公告)号：CN119512950A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411566597.6
申请日：2024-11-05
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G06F11/3668
Abstract: 本发明公开了一种自动驾驶汽车感知系统安全性的现场测评方法及系统，其中方法包括：获取用于测试的自动驾驶场景；基于自动驾驶场景确定导致事故对应的感知问题；基于感知问题确定可测试参数；基于感知问题确定事故发生度等级和事故严重度等级；基于事故发生度等级和事故严重度等级确定所有感知问题的场景风险数；基于场景风险数和事故严重度等级建立感知系统安全性评价表；基于可测试参数和感知系统安全性评价表对待测感知系统进行安全性评价。克服了使用自动驾驶汽车虚拟仿真测试、整车测试和单一传感器测试的局限性，实现了对感知系统安全性的便捷、全面和准确评价。
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公开(公告)号：CN114279895B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202111608159.8
申请日：2021-12-24
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种用于微机电谐振式粘度传感器的测量系统及方法，该测量系统包括：直流供电模块采用外部24V直流供电，用于为直流脉冲激励信号发生模块和温度采集及数据处理模块供电；直流脉冲激励信号发生模块用于产生脉宽及幅值可调控的直流脉冲激励电压信号VD，并输送至微机械谐振粘度传感器敏感结构；微机械谐振粘度传感器敏感结构用于在直流脉冲激励电压信号VD的驱动下产生敏感电流传感信号，并输送至温度采集及数据处理模块；温度采集及数据处理模块用于对敏感电流传感信号进行数据预处理及解析，得到被测流体粘度密度参数。利用本公开，由于能够同时实现微机电谐振式粘度传感器谐振频率和谐振Q值的测量，进而能够实现流体粘度的测量。
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公开(公告)号：CN119469233A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411635733.2
申请日：2024-11-15
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
IPC: G01D18/00
Abstract: 提供了一种基于故障注入的自动驾驶感知系统可靠性测试方法，可应用于自动驾驶车辆技术领域，该方法包括：构建关键场景库；根据厂商声称的感知系统功能的可靠性测试需求，从关键场景库中匹配测试场景；分析在测试场景中感知系统功能对应的故障模式，确定待注入故障的关键传感器及故障信号；将故障信号注入关键传感器信号中，得到带有故障的感知信号；基于带有故障的感知信号对感知系统进行测试，得到感知系统功能的可靠性；进而得到感知系统总可靠性及其可靠等级。通过在测试场景中对关键传感器注入故障，研究感知系统在异常条件下的表现，有效地评估其可靠性。
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公开(公告)号：CN115140702B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202210723630.6
申请日：2022-06-23
Applicant: 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
Abstract: 本公开提供了一种基于高深宽比二氧化硅微纳结构的光学调制器的制备方法，包括：对硅晶圆正面进行刻蚀，形成硅微纳结构阵列；对硅晶圆背面进行刻蚀或腐蚀，完全释放出硅微纳结构阵列，同时在硅微纳结构阵列的外围形成支撑结构；对硅晶圆进行热氧化处理，将硅氧化为二氧化硅；在进行热氧化处理的硅晶圆表面沉积透明电极层；另取一块玻璃圆片，在玻璃圆片上加工出填充液出入口，并在玻璃圆片的一面沉积透明电极层；将玻璃圆片沉积有透明电极层的一面与二氧化硅微纳结构阵列外围的支撑结构进行键合，形成封闭腔体。本公开利用刻蚀结合热氧化工艺，实现了高深宽比的二氧化硅微纳结构阵列的制备，进而得到高深宽比的光学调制器。
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