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公开(公告)号:CN108367410A
公开(公告)日:2018-08-03
申请号:CN201680071266.2
申请日:2016-12-01
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: B24B57/02
Abstract: 本发明的课题是提供一种能够有效地再生研磨速度高的研磨材料淤浆的研磨材料淤浆的再生方法。该研磨材料淤浆的再生方法是用含有研磨材料粒子和多种添加剂的研磨材料淤浆研磨以氧化硅为主要成分的被研磨物后,将回收的回收研磨材料淤浆进行再生的研磨材料淤浆的再生方法,其特征在于,具有如下的再生工序:一边相对于用于被研磨物的研磨时的未使用的研磨材料淤浆的研磨材料浓度(质量%),将研磨材料浓度(质量%)维持在0.2~3000%的范围内,一边在回收研磨材料淤浆所含有的添加剂中,将分子量为500以上的添加剂和吸附于研磨材料粒子的添加剂与研磨材料粒子一起进行回收。
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公开(公告)号:CN108367410B
公开(公告)日:2019-11-01
申请号:CN201680071266.2
申请日:2016-12-01
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: B24B57/02
Abstract: 本发明的课题是提供一种能够有效地再生研磨速度高的研磨材料淤浆的研磨材料淤浆的再生方法。该研磨材料淤浆的再生方法是用含有研磨材料粒子和多种添加剂的研磨材料淤浆研磨以氧化硅为主要成分的被研磨物后,将回收的回收研磨材料淤浆进行再生的研磨材料淤浆的再生方法,其特征在于,具有如下的再生工序:一边相对于用于被研磨物的研磨时的未使用的研磨材料淤浆的以单位质量%表示的研磨材料浓度,将以单位质量%表示的研磨材料浓度维持在0.2~3000%的范围内,一边在回收研磨材料淤浆所含有的添加剂中,将分子量为500以上的添加剂和吸附于研磨材料粒子的添加剂与研磨材料粒子一起进行回收。
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公开(公告)号:CN116352608A
公开(公告)日:2023-06-30
申请号:CN202310250119.3
申请日:2016-03-09
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
Abstract: 提供一种研磨料的回收方法,能够通过简单的方法从含有使用后的研磨料的回收浆料中回收高纯度的研磨料。本发明的研磨料的回收方法从对被研磨物进行了研磨的研磨料浆料中回收研磨料,该被研磨物包含硅作为主要成分,在不使用pH调整剂的条件下,至少经过以下工序1至工序3将被研磨物成分除去而对研磨料进行回收,其中,工序1是向所述研磨料浆料加入溶剂的工序,工序2是使所述研磨料浆料所含有的所述被研磨物成分中的被研磨物粒子溶解的工序,工序3是对所述研磨料浆料进行过滤而将研磨料回收的工序。
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公开(公告)号:CN107427990A
公开(公告)日:2017-12-01
申请号:CN201680016348.7
申请日:2016-03-09
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
Abstract: 提供一种研磨料的回收方法,能够通过简单的方法从含有使用后的研磨料的回收浆料中回收高纯度的研磨料。本发明的研磨料的回收方法从对被研磨物进行了研磨的研磨料浆料中回收研磨料,该被研磨物包含硅作为主要成分,在不使用pH调整剂的条件下,至少经过以下工序1至工序3将被研磨物成分除去而对研磨料进行回收,其中,工序1是向所述研磨料浆料加入溶剂的工序,工序2是使所述研磨料浆料所含有的所述被研磨物成分中的被研磨物粒子溶解的工序,工序3是对所述研磨料浆料进行过滤而将研磨料回收的工序。
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