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公开(公告)号:CN108367410B
公开(公告)日:2019-11-01
申请号:CN201680071266.2
申请日:2016-12-01
申请人: 柯尼卡美能达株式会社
IPC分类号: B24B57/02
摘要: 本发明的课题是提供一种能够有效地再生研磨速度高的研磨材料淤浆的研磨材料淤浆的再生方法。该研磨材料淤浆的再生方法是用含有研磨材料粒子和多种添加剂的研磨材料淤浆研磨以氧化硅为主要成分的被研磨物后,将回收的回收研磨材料淤浆进行再生的研磨材料淤浆的再生方法,其特征在于,具有如下的再生工序:一边相对于用于被研磨物的研磨时的未使用的研磨材料淤浆的以单位质量%表示的研磨材料浓度,将以单位质量%表示的研磨材料浓度维持在0.2~3000%的范围内,一边在回收研磨材料淤浆所含有的添加剂中,将分子量为500以上的添加剂和吸附于研磨材料粒子的添加剂与研磨材料粒子一起进行回收。
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公开(公告)号:CN104023915B
公开(公告)日:2017-07-21
申请号:CN201280065120.9
申请日:2012-12-17
申请人: 柯尼卡美能达株式会社
CPC分类号: C09K3/1409 , B01D11/0246 , B01D21/02 , B01D2221/14 , B24B57/02 , B28D5/007 , C02F1/5209 , C02F1/5236 , C09K3/14 , Y02P70/179
摘要: 本发明的课题在于提供能够从以氧化铈为主成分的使用过的研磨材料中以有效且经济性优异的方法分离、回收氧化铈的研磨材料分离方法及通过该分离方法得到的再生研磨材料。本发明的研磨材料分离方法是从含有氧化铈的使用过的研磨材料浆料中分离氧化铈研磨材料的方法,其中,该方法包括:一边对该使用过的研磨材料浆料在10~70℃的范围内进行温度控制、一边添加2价碱土金属盐,在母液换算成25℃的pH值低于10.0的条件下使研磨材料凝聚,从而从母液中分离该研磨材料。
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公开(公告)号:CN115443206B
公开(公告)日:2024-06-04
申请号:CN202180030565.2
申请日:2021-04-12
申请人: 柯尼卡美能达株式会社
IPC分类号: B24B37/005 , B24B37/013 , B24B49/08 , H01L21/304 , B23Q17/00 , B23Q17/09
摘要: 本发明的目的在于提供一种能够简单且精度良好地对被研磨物的研磨量进行测量的研磨系统。本发明的研磨系统是使用研磨剂浆料对被研磨物进行研磨的研磨系统,其特征在于,具有研磨量计算工序部,该研磨量计算工序部对来源于完成加工浆料中被研磨物的、元素周期表第一主族或第二主族的金属元素的游离金属离子的量进行测定,根据所述游离金属离子的量来计算所述被研磨物的研磨量。
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公开(公告)号:CN104203497B
公开(公告)日:2016-11-16
申请号:CN201380009222.3
申请日:2013-02-14
申请人: 柯尼卡美能达株式会社
CPC分类号: C09K3/1463 , B24B57/02 , C02F11/14 , C02F2103/12
摘要: 本发明的课题在于提供一种研磨材料再生方法,可以通过有效的方法由使用过的研磨材料回收研磨材料,然后通过简易的方法得到高纯度的再生研磨材料。本发明的研磨材料再生方法是由使用过的研磨材料浆料再生该研磨材料浆料所含的研磨材料的研磨材料再生方法,该研磨材料为选自金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝‑氧化锆及氧化锆的至少一种研磨材料,且经由下述工序A~C再生研磨材料,回收从研磨机排出的研磨材料浆料的浆料回收工序A;向回收的研磨材料浆料添加作为无机盐的碱土金属盐使研磨材料凝聚,并将该研磨材料从母液分离浓缩的分离浓缩工序B及回收该分离浓缩的研磨材料的研磨材料回收工序C。
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公开(公告)号:CN104703759A
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201380038999.2
申请日:2013-07-24
申请人: 柯尼卡美能达株式会社
摘要: 本发明从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中得到高纯度的再生研磨材料。研磨材料是选自氧化铈、金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝-氧化锆以及氧化锆中的至少一种,且经由下述工序A~D从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中再生研磨材料,即,回收包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料的浆料回收工序A,该使用过的研磨材料是对主成分为硅的被研磨物3进行研磨得到的;调整回收得到的研磨材料浆料的pH使得pH为7~10的pH调整工序B;向调整过pH的研磨材料浆料中添加作为无机盐的含碱土金属元素的金属盐,使研磨材料凝聚,从母液分离研磨材料并进行浓缩的分离浓缩工序C;将分离浓缩了的研磨材料固液分离并回收的研磨材料回收工序D。
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公开(公告)号:CN116352608A
公开(公告)日:2023-06-30
申请号:CN202310250119.3
申请日:2016-03-09
申请人: 柯尼卡美能达株式会社
摘要: 提供一种研磨料的回收方法,能够通过简单的方法从含有使用后的研磨料的回收浆料中回收高纯度的研磨料。本发明的研磨料的回收方法从对被研磨物进行了研磨的研磨料浆料中回收研磨料,该被研磨物包含硅作为主要成分,在不使用pH调整剂的条件下,至少经过以下工序1至工序3将被研磨物成分除去而对研磨料进行回收,其中,工序1是向所述研磨料浆料加入溶剂的工序,工序2是使所述研磨料浆料所含有的所述被研磨物成分中的被研磨物粒子溶解的工序,工序3是对所述研磨料浆料进行过滤而将研磨料回收的工序。
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公开(公告)号:CN112272600B
公开(公告)日:2023-06-02
申请号:CN201980020537.5
申请日:2019-03-06
申请人: 柯尼卡美能达株式会社
IPC分类号: B24B57/02 , B24B37/00 , C09K3/14 , H01L21/304
摘要: 本发明的课题在于提供用于从加工完的研磨剂浆料中有效率地回收研磨剂、将其作为再生研磨剂浆料而再利用的研磨剂再循环处理系统及研磨剂回收·再生方法。本发明的研磨剂再循环处理系统控制用于研磨的研磨剂浆料中的研磨剂的构成成分和被研磨物的构成成分的浓度,且继续研磨加工,从加工完的研磨剂浆料中将被研磨物的构成成分除去,将研磨剂回收·再生,其特征在于,具有:研磨加工工序部;和具有浆料供给罐的研磨剂浆料回收工序部,所述浆料供给罐贮存用于研磨的研磨剂,一边进行控制以使浆料供给罐中的研磨剂的构成成分的浓度成为研磨加工工序开始时的初期浓度以下,一边向浆料供给罐中供给再生研磨剂浆料。
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公开(公告)号:CN107427990A
公开(公告)日:2017-12-01
申请号:CN201680016348.7
申请日:2016-03-09
申请人: 柯尼卡美能达株式会社
摘要: 提供一种研磨料的回收方法,能够通过简单的方法从含有使用后的研磨料的回收浆料中回收高纯度的研磨料。本发明的研磨料的回收方法从对被研磨物进行了研磨的研磨料浆料中回收研磨料,该被研磨物包含硅作为主要成分,在不使用pH调整剂的条件下,至少经过以下工序1至工序3将被研磨物成分除去而对研磨料进行回收,其中,工序1是向所述研磨料浆料加入溶剂的工序,工序2是使所述研磨料浆料所含有的所述被研磨物成分中的被研磨物粒子溶解的工序,工序3是对所述研磨料浆料进行过滤而将研磨料回收的工序。
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公开(公告)号:CN104114324B
公开(公告)日:2017-11-28
申请号:CN201380009250.5
申请日:2013-02-14
申请人: 柯尼卡美能达株式会社
CPC分类号: B28D5/007 , B01D21/02 , B01D2221/14 , B24B57/00 , C02F11/14 , C02F2103/12 , Y02P70/179
摘要: 本发明的课题在于提供一种研磨材料再生方法,可以通过有效的方法由使用过的研磨材料回收研磨材料,然后通过简易的方法得到高纯度的再生研磨材料。本发明的研磨材料再生方法是由使用过的研磨材料浆料再生研磨材料的研磨材料再生方法,该研磨材料是选自金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝‑氧化锆、氧化锆及氧化铈的至少一种,且经由下述工序A~D再生研磨材料,回收从研磨机排出的研磨材料浆料的浆料回收工序A;向该回收的研磨材料浆料添加作为无机盐的含有碱土金属元素的金属盐,使研磨材料凝聚,从母液分离该研磨材料并进行一次浓缩的分离浓缩工序B;回收该分离浓缩了的研磨材料的研磨材料回收工序C及对该回收的一次浓缩的研磨材料实施过滤处理的第二浓缩工序D。
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公开(公告)号:CN104507639A
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:CN201380039008.2
申请日:2013-07-24
申请人: 柯尼卡美能达株式会社
CPC分类号: C09G1/02 , B03C1/002 , B03C1/02 , B03C1/0332 , B03C1/0335 , B03C2201/18 , B03C2201/20 , B24B57/02 , B24B57/00
摘要: 本发明从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中得到高纯度的再生研磨材料。研磨材料是选自氧化铈、金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝-氧化锆以及氧化锆中的至少一种,且经由下述工序A~D从研磨材料浆料中再生研磨材料,即,回收包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料的浆料回收工序A;向该回收的研磨材料浆料添加含有碱土金属元素的金属盐,使研磨材料凝聚,从母液分离该研磨材料并进行浓缩的分离浓缩工序B;将分离浓缩了的研磨材料固液分离并回收的研磨材料回收工序C以及用磁性过滤器过滤去除混入研磨材料浆料的金属元素粒子的过滤工序D,并且工序D在工序A~C中任意一项工序之后或者与工序B或工序C同时进行。
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