压电元件、液滴排出头、铁电存储器以及压电致动器

    公开(公告)号:CN117426156A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202280039712.7

    申请日:2022-05-19

    Abstract: 本发明的压电元件是具备第一电极、第二电极、以及位于上述第一电极与上述第二电极之间的压电体膜的压电元件,其特征在于,上述第一电极是在驱动时被施加相对正电压的电极,上述第二电极是在驱动时被施加相对负电压的电极,并且,在气氛温度80℃下施加电场10V/μm的老化试验中根据下述对数近似式得到的系数A为‑4.200×10‑2以上,Φ2=A×ln(t)+B,其中,Φ2:对第一电极施加正电场12.68V/μm时的第二电极与压电体膜之间的肖特基势垒高度[eV],t:老化时间[h],A:系数,B:系数。

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