滑块、工作台装置、工业机械以及滑块的翘曲抑制方法

    公开(公告)号:CN111075836B

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN201910967652.5

    申请日:2019-10-12

    Abstract: 本发明提供能够抑制由干燥引起的翘曲的滑块、工作台装置、工业机械以及滑块的翘曲抑制方法。在构成石制的Y轴滑块(70B)的各块的外侧面,隔着密封部件装配盖部件。盖部件通过密封部件与各块的外侧面分开配置,从而在通过密封部件、各块外侧面以及盖部件包围的空间形成干燥室。各块的内表面为空气轴承面,暴露于压缩空气来进行干燥,而且由于各块的外侧面也引起在干燥室内导入压缩空气而被暴露,因此各块的外侧面也通过压缩空气同样进行干燥。由此,抑制由于一个侧面干燥而产生的石制块的翘曲。

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