滑块、工作台装置、工业机械以及滑块的翘曲抑制方法

    公开(公告)号:CN111075836B

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN201910967652.5

    申请日:2019-10-12

    Abstract: 本发明提供能够抑制由干燥引起的翘曲的滑块、工作台装置、工业机械以及滑块的翘曲抑制方法。在构成石制的Y轴滑块(70B)的各块的外侧面,隔着密封部件装配盖部件。盖部件通过密封部件与各块的外侧面分开配置,从而在通过密封部件、各块外侧面以及盖部件包围的空间形成干燥室。各块的内表面为空气轴承面,暴露于压缩空气来进行干燥,而且由于各块的外侧面也引起在干燥室内导入压缩空气而被暴露,因此各块的外侧面也通过压缩空气同样进行干燥。由此,抑制由于一个侧面干燥而产生的石制块的翘曲。

    形状测量方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101482397B

    公开(公告)日:2011-12-28

    申请号:CN200910002953.0

    申请日:2009-01-09

    Inventor: 竹内博之

    Abstract: 根据本发明的形状测量方法,能使用具有接触式或非接触式探头的3维形状测量仪以与镜筒对应的透镜外周的圆柱面为基准求出透镜面的光轴的倾斜量、偏心量,以透镜外周部的圆柱面为基准在全方位都求出透镜的全部面(表面、背面、侧面)的形状,以透镜的表侧(或背侧)的光轴为基准算出透镜的背侧(或表侧)的光轴的偏心、高度偏移、斜度。

    形状测量方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101482397A

    公开(公告)日:2009-07-15

    申请号:CN200910002953.0

    申请日:2009-01-09

    Inventor: 竹内博之

    Abstract: 根据本发明的形状测量方法,能使用具有接触式或非接触式探头的3维形状测量仪以与镜筒对应的透镜外周的圆柱面为基准求出透镜面的光轴的倾斜量、偏心量,以透镜外周部的圆柱面为基准在全方位都求出透镜的全部面(表面、背面、侧面)的形状,以透镜的表侧(或背侧)的光轴为基准算出透镜的背侧(或表侧)的光轴的偏心、高度偏移、斜度。

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