公开(公告)号：CN110431508A

公开(公告)日：2019-11-08

申请号：CN201880018971.5

申请日：2018-03-20

申请人： 株式会社富士金

发明人： 杉田胜幸 ,  平田薰 ,  池田信一 ,  西野功二 ,  泷本昌彦 ,  今井嵩浩 ,  小川慎也

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明提供一种压力式流量控制装置，具备：节流部；设置于节流部的上游侧的控制阀；检测节流部与控制阀之间的压力的上游压力传感器；以及与控制阀以及上游压力传感器连接的运算处理电路，压力式流量控制装置以如下方式构成：基于上游压力传感器的输出来进行控制阀的控制，由此进行流量控制，运算处理电路以如下方式构成：在为了使流过节流部的流体的流量降低而进行将控制阀关闭的动作时，通过反馈控制来进行将控制阀关闭的动作，反馈控制是将比气体从节流部流出时的压力下降特性数据还平缓的指数函数作为目标值。

公开(公告)号：CN112272809A

公开(公告)日：2021-01-26

申请号：CN201980032448.2

申请日：2019-06-19

申请人： 株式会社富士金

发明人： 平田薰 ,  小川慎也 ,  杉田胜幸 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明提供一种使用流量控制装置(100)进行的在流量上升时的流量控制方法，流量控制装置(100)具备：设置于流路第一控制阀(6)；设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)；和对第一控制阀的下游侧且第二控制阀的上游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)，流量控制方法包含：(a)在将第二控制阀关闭的状态下，使用压力传感器求出在第一控制阀的下游残留的压力的步骤；和(b)通过基于压力传感器的输出调整第二控制阀的开度，对在第一控制阀下游残留的压力进行控制，在第二控制阀的下游侧以第一流量流动流体的步骤。

公开(公告)号：CN111788534A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201980008651.6

申请日：2019-02-15

申请人： 株式会社富士金

发明人： 杉田胜幸 ,  西野功二 ,  安本直史 ,  平田薰 ,  小川慎也 ,  并手口圭佑

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明提供一种流量控制装置(100)，其具备：设置于流路(1)的控制阀(6)；对通过控制阀(6)控制的流体的流量进行测定的流量测定部(2、3)；以及控制器(7)，控制器(7)构成为：对控制阀(6)的开闭动作进行控制，使得基于从流量测定部输出的信号的测定积分流量((Vn+Vd))与目标积分流量(Vs)一致。

公开(公告)号：CN118786400A

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202380024208.4

申请日：2023-03-15

申请人： 株式会社富士金 ,  东京毅力科创株式会社

发明人： 西野功二 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  小川慎也 ,  井手口圭佑 ,  池田信一 ,  泽地淳

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明提供一种流量控制装置(10)的排气结构，其具备：流量控制装置(10)，其具备：形成有连通流体入口(13i)和流体出口(13o)的主体流路(13)的主体(11)；设置在主体流路上的控制阀(12)；设置在控制阀的下游的节流部(14)；以及测定控制阀与节流部之间的压力的压力传感器(16)；向流量控制装置供给气体的气体源(2)；在气体源与流量控制装置之间的气体供给路径上的分支点(A)分支的排气路径(4)，在比分支点靠上游的气体供给路径(3)配设第一阀(V1)，并且在排气路径配设第二阀(V2)，在从控制第一流量的状态变更为第二流量的控制时，在控制阀(12)打开的状态下，关闭第一阀(V1)并且打开第二阀(V2)，由此将积存在从控制阀到节流部之间的气体从排气路径(4)排出。

公开(公告)号：CN113632038A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN202080024764.8

申请日：2020-04-16

申请人： 株式会社富士金

发明人： 平田薰 ,  井手口圭佑 ,  小川慎也 ,  杉田胜幸 ,  永濑正明 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  伊藤祐之

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明提供一种流量控制装置(10)，其具备：控制阀(11)；节流部(12)，其设置于控制阀(11)的下游侧；上游压力传感器(13)，其测定控制阀(11)与节流部(12)之间的压力(P1)；差压传感器(20)，其测定节流部(12)的上游侧与下游侧的差压(ΔP)；以及运算控制电路(16)，其与控制阀(11)、上游压力传感器(13)以及差压传感器(20)连接。

公开(公告)号：CN111989635A

公开(公告)日：2020-11-24

申请号：CN201980025060.X

申请日：2019-04-19

申请人： 株式会社富士金

发明人： 平田薰 ,  小川慎也 ,  杉田胜幸 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明提供一种流量控制方法，其使用具备设置于流路的第一控制阀(6)、设置于第一控制阀的下游侧的第二控制阀(8)、和对第一控制阀的下游侧的流体压力进行测定的压力传感器(3)的流量控制装置(100)而进行，所述流量控制方法包含：步骤(a)，基于压力传感器的输出以成为第一流量的方式控制第一控制阀的开度，并且维持打开第二控制阀的状态，从流体以第一流量流动的状态起，关闭第一控制阀的开度；以及步骤(b)，基于压力传感器的输出，通过调整第二控制阀的开度对残留在第一控制阀的下游的压力进行控制，使流体以第二流量在第二控制阀的下游侧流动。

公开(公告)号：CN109791415A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201780037989.5

申请日：2017-10-12

申请人： 株式会社富士金

发明人： 平田薰 ,  杉田胜幸 ,  今井嵩浩 ,  小川慎也 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 流体控制装置(1)具备：主体块体(10)，其具有通用流入口(11)、通用流出口(12)、与通用流入口以及通用流出口连通的第一流路(F1)以及第二流路(F2)；以及安装于主体块体的安装面的第一流体控制单元(20a)和第二流体控制单元(20b)，第一流路和第二流路在从安装面的法线方向(D3)观察时，包含：沿着第一方向(D1)延伸的第一流路部分(13)；以及沿着与第一方向正交的第二方向(D2)延伸的第二流路部分(14)，第二流路部分由从主体块体的侧面沿着第二方向延伸的孔部(14’)和堵塞孔部的开口部的封闭部件(15)形成。