公开(公告)号：CN118786400A

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202380024208.4

申请日：2023-03-15

申请人： 株式会社富士金 ,  东京毅力科创株式会社

发明人： 西野功二 ,  平田薰 ,  杉田胜幸 ,  小川慎也 ,  井手口圭佑 ,  池田信一 ,  泽地淳

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明提供一种流量控制装置(10)的排气结构，其具备：流量控制装置(10)，其具备：形成有连通流体入口(13i)和流体出口(13o)的主体流路(13)的主体(11)；设置在主体流路上的控制阀(12)；设置在控制阀的下游的节流部(14)；以及测定控制阀与节流部之间的压力的压力传感器(16)；向流量控制装置供给气体的气体源(2)；在气体源与流量控制装置之间的气体供给路径上的分支点(A)分支的排气路径(4)，在比分支点靠上游的气体供给路径(3)配设第一阀(V1)，并且在排气路径配设第二阀(V2)，在从控制第一流量的状态变更为第二流量的控制时，在控制阀(12)打开的状态下，关闭第一阀(V1)并且打开第二阀(V2)，由此将积存在从控制阀到节流部之间的气体从排气路径(4)排出。

公开(公告)号：CN114270083A

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202080056892.0

申请日：2020-06-12

申请人： 株式会社富士金

发明人： 平田薰 ,  永濑正明 ,  日高敦志 ,  森崎和之 ,  井手口圭佑 ,  杉本耕祐 ,  北野真史 ,  西野功二 ,  池田信一

IPC分类号： F16K7/14

摘要： 本发明提供一种隔膜阀，其具备：阀体(3)，其形成有流路(2)；阀座(4)，其形成于所述流路；金属隔膜(5)，其通过相对于该阀座抵接或远离而开闭所述流路；一对夹持部(6、7)，其分别夹持该金属隔膜的两侧面的周缘部而将所述金属隔膜固定于所述阀体；以及致动器(8)，其使所述金属隔膜相对于所述阀座抵接或者远离，所述金属隔膜的阀座侧面(5a)在除了该阀座侧面与所述夹持部(7)的夹持区域(D‑C)以外的区域、且在被所述夹持区域包围的区域(C)内的至少与所述阀座的接触区域(B‑A)形成有氟树脂涂层。

公开(公告)号：CN113632038A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN202080024764.8

申请日：2020-04-16

申请人： 株式会社富士金

发明人： 平田薰 ,  井手口圭佑 ,  小川慎也 ,  杉田胜幸 ,  永濑正明 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  伊藤祐之

IPC分类号： G05D7/06

摘要： 本发明提供一种流量控制装置(10)，其具备：控制阀(11)；节流部(12)，其设置于控制阀(11)的下游侧；上游压力传感器(13)，其测定控制阀(11)与节流部(12)之间的压力(P1)；差压传感器(20)，其测定节流部(12)的上游侧与下游侧的差压(ΔP)；以及运算控制电路(16)，其与控制阀(11)、上游压力传感器(13)以及差压传感器(20)连接。