一种对称式MEMS重力仪的加工方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117192632A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202311079533.9

    申请日:2023-08-25

    发明人: 车录锋 王卫东

    IPC分类号: G01V7/00 G01V7/02 G01V13/00

    摘要: 本发明公开了一种对称式MEMS重力仪的加工方法,其中包括中心质量块、外边框、一组正刚度屈曲梁和一组负刚度屈曲梁。屈曲梁一端连接中心质量块,另一端连接外边框,外边框为屈曲梁提供固定支撑,中心质量块受外界加速度作用产生相对于外边框的位移,外边框可限制中心质量块的位移范围。两组屈曲梁采用正负刚度补偿原理,使对称式MEMS重力仪具有准零刚度特性和极低的谐振频率。对称式MEMS重力仪具有体积小,成本低等优势。

    一种对称式MEMS重力仪
    2.
    实用新型

    公开(公告)号:CN220795494U

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202322296291.0

    申请日:2023-08-25

    发明人: 车录锋 王卫东

    IPC分类号: G01V7/00 G01V7/02

    摘要: 本实用新型公开了一种对称式MEMS重力仪,其中包括中心质量块、外边框、一组正刚度屈曲梁和一组负刚度屈曲梁。屈曲梁一端连接中心质量块,另一端连接外边框,外边框为屈曲梁提供固定支撑,中心质量块受外界加速度作用产生相对于外边框的位移,外边框可限制中心质量块的位移范围。两组屈曲梁采用正负刚度补偿原理,使对称式MEMS重力仪具有准零刚度特性和极低的谐振频率。对称式MEMS重力仪具有体积小,成本低等优势。