公开(公告)号：CN105506695B

公开(公告)日：2018-06-22

申请号：CN201510652658.5

申请日：2015-10-10

申请人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司

发明人： K·威特尔沙尤思 ,  A·沙伊巴尔 ,  W·章-贝格林格尔

IPC分类号： C25D5/56

CPC分类号： C23C18/31 ,  C23C18/1625 ,  C23C18/163 ,  C23C18/2046 ,  C23C18/22 ,  C23C18/24 ,  C23C18/30

摘要： 涂有塑料溶胶的电镀工具是用于在聚合物的无电极电镀期间使无电极电镀浴液中含有聚合物的基板固定。为了防止在无电极金属化期间涂有塑料溶胶的电镀工具的金属化，将含硫化合物的组合物施用于塑料溶胶。在金属化之后，涂有塑料溶胶的电镀工具可再次使用而无需从工具剥离不需要的金属。

公开(公告)号：CN111303884A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN201911239239.3

申请日：2019-12-06

申请人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司

发明人： A·沙伊巴尔 ,  K·威特尔沙尤思 ,  K·巴兰特普

IPC分类号： C09K13/06

摘要： 在含有锰-(II)物种的混合的水性酸溶液中通过将臭氧气体注入所述混合的水性酸溶液中使得臭氧将锰-(II)物种的至少一些氧化为锰-(III)物种来生成和再生锰-(III)物种，具有至少60％Mn(III)生成效率。所述酸包含硫酸和烷烃磺酸。所述含有锰-(III)和锰-(II)物种的水性酸溶液用于蚀刻聚合物材料。所述蚀刻是不含铬的蚀刻方法。

公开(公告)号：CN105506695A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201510652658.5

申请日：2015-10-10

申请人： 罗门哈斯电子材料有限责任公司

发明人： K·威特尔沙尤思 ,  A·沙伊巴尔 ,  W·章-贝格林格尔

IPC分类号： C25D5/56

CPC分类号： C23C18/31 ,  C23C18/1625 ,  C23C18/163 ,  C23C18/2046 ,  C23C18/22 ,  C23C18/24 ,  C23C18/30

摘要： 涂有塑料溶胶的电镀工具是用于在聚合物的无电极电镀期间使无电极电镀浴液中含有聚合物的基板固定。为了防止在无电极金属化期间涂有塑料溶胶的电镀工具的金属化，将含硫化合物的组合物施用于塑料溶胶。在金属化之后，涂有塑料溶胶的电镀工具可再次使用而无需从工具剥离不需要的金属。