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公开(公告)号：CN111380885A
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN202010119369.X
申请日：2020-02-26
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： G01N23/2204
摘要： 本发明提供了一种基于GM制冷机的带俯仰转动功能的低温样品架，包括制冷机、样品架头部，其特征在于：还包括转接件、旋转机、软轴、上段传动杆、下段传动杆、齿轮组、蜗轮蜗杆组和样品台；所述样品台用于放置样品并带动样品运动；所述转接件上设置有对外接口；所述旋转机连接所述软轴；所述软轴通过所述对外接口穿所述转接件而过；所述软轴连接所述上段传动杆；所述上段传动杆连接所述下段传动杆；所述下段传动杆连接所述齿轮组；所述齿轮组连接所述蜗轮蜗杆组；所述蜗轮蜗杆组连接所述样品台。本发明的有益效果是：该设计结构紧凑,样品台可在极低温条件下实现俯仰转动，且在超大温度区间内俯仰角的运动顺畅，避免了热胀冷缩引起的旋转卡顿问题。
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公开(公告)号：CN110614067A
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201910923812.6
申请日：2019-09-27
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
摘要： 本发明提供了一种原位高温高压反应装置，用于解决现有高温高压反应腔产品中的多个缺陷和不足。比如：无法实现与超高真空腔体互联，无法实现液氮快速退火，无法实现局部加热等。该装置包括：真空腔体、反应池、加热装置、制冷装置、加压气路和馈入装置。实施本发明的技术方案，使用激光加热器配合蓝宝石透光腔体，装置可实现激光局域加热，简化反应池结构；使用高强度的蓝宝石透光腔体承压，装置可实现高压气氛；反应池腔体连接至馈入装置可移动，实现反应装置的重复利用；馈入装置与真空腔体间、反应池机械密封，密封效果较好，结构简单。
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公开(公告)号：CN111197876A
公开(公告)日：2020-05-26
申请号：CN202010106786.0
申请日：2020-02-20
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
摘要： 本发明提供了一种紧凑型超高真空用GM制冷机，包括GM制冷膨胀机、转接法兰、冷头，所述转接法兰的一面连接所述GM制冷膨胀机，另一面连接所述冷头，所述GM制冷膨胀机上设置有气体进口与气体出口，其特征在于：所述转接法兰包括大法兰和小法兰；所述小法兰连接所述大法兰；所述小法兰上设置有法兰管道；所述小法兰的数量为两个或者两个以上的。本发明的有益效果是：提供了一种紧凑型超高真空用GM制冷机，减少了样品架自旋转所需空间，提高了产品的紧凑性，从而可以实现大角度旋转。
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公开(公告)号：CN111812140B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202010530730.8
申请日：2020-06-11
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： G01N23/2273 , G01N23/2204
摘要： 本发明提供了一种基于GM制冷机的带双旋转轴的低温样品架，包括制冷机(1)、法兰(2)和样品架头部，所述制冷机(1)包括一级冷头(3)和二级冷头(4)，所述二级冷头(4)连接所述一级冷头(3)，其特征在于：还包括面内角驱动电机(51)、面内角Rotary Feedthrough(52)、面内角柔性轴(53)、面内角传动轴(54)、面内角滑移联轴器(55)、面内角滑移齿轮组(56)、面内角万向节联轴器(57)、面内角直齿齿轮组(58)、面内角蜗轮蜗杆组(59)和样品台(7)。本发明的有益效果是：基于GM制冷机，可以在样品托极低温的前提下可实现2自由度旋转并且2个旋转运动相互独立，不受干扰并且在超大温区变化范围内面内角的运动顺畅。
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公开(公告)号：CN111912688B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202010834599.4
申请日：2020-08-18
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： G01N1/28
摘要： 本发明提供了一种超高真空下原位多功能样品处理装置，包括第一驱动装置、样品托切换装置、真空腔室、第二驱动装置；其中，所述真空腔室内部设置有第一样品托停放台、第二样品托停放台和多工位样品托停放台；所述第一驱动装置位于所述真空腔室上方并与所述第一样品托停放台固定连接；所述第二驱动装置位于所述真空腔室下方并与所述第二样品托停放台固定连接；所述样品托切换装置位于所述真空腔室侧方并与所述多工位样品托停放台固定连接。其中本发明的有益效果是：同时在同一装置中能够实现机械解理二维材料、样品转移、多层样品的剥离、薄膜样品制备、粘合电极触点等多功能中任一种功能，本发明适普性高，便于操作。
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公开(公告)号：CN111912688A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010834599.4
申请日：2020-08-18
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： G01N1/28
摘要： 本发明提供了一种超高真空下原位多功能样品处理装置，包括第一驱动装置、样品托切换装置、真空腔室、第二驱动装置；其中，所述真空腔室内部设置有第一样品托停放台、第二样品托停放台和多工位样品托停放台；所述第一驱动装置位于所述真空腔室上方并与所述第一样品托停放台固定连接；所述第二驱动装置位于所述真空腔室下方并与所述第二样品托停放台固定连接；所述样品托切换装置位于所述真空腔室侧方并与所述多工位样品托停放台固定连接。其中本发明的有益效果是：同时在同一装置中能够实现机械解理二维材料、样品转移、多层样品的剥离、薄膜样品制备、粘合电极触点等多功能中任一种功能，本发明适普性高，便于操作。
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公开(公告)号：CN110132436A
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201910440284.9
申请日：2019-05-24
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
摘要： 本发明提供了一种超高真空条件下准确测量样品温度的测温装置，用于解决现有技术中更换样品操作复杂、周期长、不适用于空气敏感型样品、测温不准确等技术问题，包括：样品托和样品台；其中，样品托包括托架、固定板、压片、热偶正极、热偶负极和热偶固定架；热偶正极和热偶负极的一端向样品方向延伸，另一端弯折形成热偶连接端；样品台包括定位槽、正极热偶插片、负极热偶插片和热偶插片固定架；定位槽设置为当样品托插入固定时，热偶连接端同时插入正极热偶插片和负极热偶插片；实施本发明的技术方案可实现样品的重复利用、以及提高温度检测精度、快速更换样品、降低装置成本的技术效果。
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公开(公告)号：CN110132436B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN201910440284.9
申请日：2019-05-24
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
摘要： 本发明提供了一种超高真空条件下准确测量样品温度的测温装置，用于解决现有技术中更换样品操作复杂、周期长、不适用于空气敏感型样品、测温不准确等技术问题，包括：样品托和样品台；其中，样品托包括托架、固定板、压片、热偶正极、热偶负极和热偶固定架；热偶正极和热偶负极的一端向样品方向延伸，另一端弯折形成热偶连接端；样品台包括定位槽、正极热偶插片、负极热偶插片和热偶插片固定架；定位槽设置为当样品托插入固定时，热偶连接端同时插入正极热偶插片和负极热偶插片；实施本发明的技术方案可实现样品的重复利用、以及提高温度检测精度、快速更换样品、降低装置成本的技术效果。
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公开(公告)号：CN111812140A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010530730.8
申请日：2020-06-11
申请人： 费勉仪器科技(上海)有限公司
IPC分类号： G01N23/2273 , G01N23/2204
摘要： 本发明提供了一种基于GM制冷机的带双旋转轴的低温样品架，包括制冷机(1)、法兰(2)和样品架头部，所述制冷机(1)包括一级冷头(3)和二级冷头(4)，所述二级冷头(4)连接所述一级冷头(3)，其特征在于：还包括面内角驱动电机(51)、面内角Rotary Feedthrough(52)、面内角柔性轴(53)、面内角传动轴(54)、面内角滑移联轴器(55)、面内角滑移齿轮组(56)、面内角万向节联轴器(57)、面内角直齿齿轮组(58)、面内角蜗轮蜗杆组(59)和样品台(7)。本发明的有益效果是：基于GM制冷机，可以在样品托极低温的前提下可实现2自由度旋转并且2个旋转运动相互独立，不受干扰并且在超大温区变化范围内面内角的运动顺畅。
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