公开(公告)号：CN114322852A

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202111467436.8

申请日：2021-12-03

申请人： 郑州轻工业大学

发明人： 叶国永 ,  雷彪 ,  金少搏 ,  王通 ,  杨志勃

IPC分类号： G01B11/26

摘要： 本发明公开一种基于全场光电扫描的精密光栅测角方法及方法，该结构外壳，在外壳内设置旋转轴，在旋转轴上由左向右依次套设光源、标尺光栅和感知单元，光源、感知单元固定在外壳上，所述标尺光栅套设在旋转轴上随旋转轴旋转，且标尺光栅为透射式圆光栅，所述感知单元是栅状感知阵列，栅状感知阵列呈环形分布，栅状感知阵列上布置有N个周向均匀布置的扫描探测单元。本发明采用光电探测的栅状感知阵列进行干涉信号的全场探测，实现从“点”离散感知到“面”连续感知的突破，其优势在于：感知信号的全场误差均化效应、服役位姿误差的全场抑制效应，提高了精密光栅测角传感器的服役精度和可靠性。

公开(公告)号：CN116273702A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202310357679.9

申请日：2023-04-03

申请人： 郑州轻工业大学

发明人： 叶国永 ,  刘旭玲 ,  杨志勃 ,  王辉 ,  金少搏

IPC分类号： B05C5/02 ,  B05B15/50 ,  B05C9/10 ,  B08B5/02 ,  H01L21/56

摘要： 本发明涉及半导体加工设备技术领域，且公开了一种半导体定位点胶装置，该半导体定位点胶装置，包括底座，所述底座的上表面固定安装有点胶台，所述底座的上表面固定安装有支架，所述支架的侧壁滑动安装有点胶滑座，所述点胶滑座的外壁调节有套板，所述套板靠近点胶滑座一侧固定安装有安装座，所述安装座的底部固定安装有作业箱。该半导体定位点胶装置，为了避免半导体在进行点胶加工时其表面残留的灰尘或者杂质影响到装置的点胶效果，通过设置有吹屑组件，配合抵接板与连杆的传动，以使得大气囊可以向外进行排气，并通过竖直设置在点胶枪顶部的喷气环向下喷出，由内而外地对点胶枪的作业位置进行吹屑，提高装置的点胶质量。

公开(公告)号：CN116243409A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202211691448.3

申请日：2022-12-27

申请人： 郑州轻工业大学

发明人： 张晓冬 ,  叶国永 ,  王通 ,  吴鑫鹏 ,  杨志勃 ,  张亚琳

IPC分类号： G02B3/00

摘要： 本发明公开一种基于传输相位和几何相位共同调制的超构透镜的结构，该结构包括由二氧化钛材料组成的两个长方体平行对置作为发射天线和由二氧化硅材料组成的圆柱作为基底。焦距的大小需要超构透镜表面引入不同的相位分布。基于传输相位原理，发射天线可以实现高透射率的半波转换功能，并阵列分布在圆柱基底上。基于几何相位原理，不同位置的发射天线旋转不同角度，产生对应的相位分布，实现聚焦功能。入射光源波长在可见光波段内，偏振状态为圆偏振，输出光束聚焦到焦点位置，且偏振状态与入射光源的圆偏振状态正交。该结构厚度均匀，天线参数相同，有效减轻了微纳加工难度，显著提高超构透镜的聚焦效率。