利用干涉测量技术光学追踪目标的方法和系统

    公开(公告)号:CN1946986A

    公开(公告)日:2007-04-11

    申请号:CN200580008507.0

    申请日:2005-01-12

    CPC classification number: G06F3/0423 G01S17/42 G06F3/0346

    Abstract: 一种光学位置追踪系统(200)包括用于从光束(280)产生入射光束(284)和参考光束(282)的光学装置(260)。此外,光学位置追踪系统(200)进一步包括用于使所述入射光束(284)扫描经过一个角度范围(290)以产生目标(205)对该入射光束(284)的反射(286)的光束导引装置(230),其中导引该入射光束(284)的反射(286)与所述参考光束(282)干涉以形成干涉光束(250)。另外,光学位置追踪系统(200)能够通过干涉测量技术利用该入射光束(284)的角度值和所述干涉光束(250)确定所述目标(205)的位置,其中该角度值依赖于该反射(286)。如果该光束(280)具有多个波长,要么由于这些波长同时存在,要么由于在一个时间间隔内具有多个波长,就能确定目标(205)的绝对位置。如果光束(280)具有单一波长,就能确定目标(205)的相对位置。

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