公开(公告)号：CN116601530A

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN202180078535.9

申请日：2021-10-26

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： S·尼蒂亚诺维 ,  金井建一 ,  P·拉马钱德拉·拉奥

IPC分类号： G01T1/24

摘要： 可以提供一种用于带电粒子装置的检测器，包括感测元件，该感测元件包括二极管；和电路，该电路被配置为用于检测由电子撞击感测元件引起的电子事件，其中电路包括电压监测设备和复位设备，其中复位设备被配置为通过将跨二极管的电压设置为预定值来定期复位二极管，并且其中电压监测设备连接到二极管以在复位事件之间监测跨二极管的电压。