一种磁流变弹性复合薄膜表面应力生物传感器

    公开(公告)号:CN114777964B

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202210345319.2

    申请日:2022-04-02

    摘要: 本发明属于生物传感器技术领域,涉及一种磁流变弹性复合薄膜表面应力生物传感器;解决了低浓度下生物检测灵敏度不高且抗干扰能力较差的问题;包括磁流变弹性复合薄膜层;磁流变弹性复合薄膜层的外围具有形变空间;磁流变弹性复合薄膜层包括依次叠合设置的生物识别层、压电/压阻层、磁流变弹性层;生物识别层表面修饰有探针;磁流变弹性层和生物识别层分别连接有一电极;电极与压电/压阻层相接触;磁流变弹性层在磁场作用下发生形变进而放大生物识别层的表面应力;本发明具有微型化、抗干扰、精度高、可同时获取多个传感信息量的特点。

    一种基于半导体薄膜的气体压力传感器芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN118190231A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410620721.6

    申请日:2024-05-20

    摘要: 本申请提出一种基于半导体薄膜的气体压力传感器芯片及其制备方法,制备方法包括制备第一子芯片,其中,第一子芯片包括第一硅片,在第一硅片的第一面和第二面生长氮化硅薄膜,在第一硅片的第一面中央区域制备有电磁螺旋线圈;制备第二子芯片,其中,第二子芯片包括第二硅片,在第二硅片的第一面的中央区域制备有超导薄膜微波谐振腔;在第二子芯片的第一面的两端制备铟柱;利用铟柱固定第一子芯片和第二子芯片,得到气体压力传感器芯片,其中,第一子芯片和第二子芯片的中心点在同一竖直线上,且第一硅片的第二面和第二硅片的第一面相对放置。根据实施例,通过采用上下芯片制备超导薄膜微波谐振腔,使得制作的气体压力传感器芯片尺寸较小。

    基于智能材料的谐振式传感器

    公开(公告)号:CN110243394B

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN201910654627.1

    申请日:2019-07-19

    摘要: 本发明提供了一种基于智能材料的谐振式传感器,包括谐振元件(1)、激励线圈(2)、敏感体(11)以及感测件(14);谐振元件(1)输出力和位移并作用于敏感体(5),敏感体(5)输出第一检测信号;感测件(14)感测到外界物理量的变化使得谐振元件(1)的固有频率发生变化时,谐振元件(14)输出的力和位移发生变化,敏感体输出第二检测信号,从而实现不同物理量的检测。本发明创新性地使用智能材料作为谐振元件和敏感体,将被测量直接转化为敏感体的输出,提高了传感器的灵敏度、结构紧凑度和传感精度。(5)、壳体(7)、前端盖(8)、后端盖(10)、占位圆柱

    一种基于4D打印的柔性压电传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN111409284B

    公开(公告)日:2021-07-27

    申请号:CN202010158697.0

    申请日:2020-03-09

    摘要: 本发明属于增材制造相关技术领域,其公开了一种基于4D打印的柔性压电传感器及其制备方法。该传感器包括磁性部分和导电性部分,其中:导电性部分包括相对设置的两块基板和设置该两块基板之间的螺旋结构,两块基板和螺旋结构均为导电的金属材质;磁性部分呈柔性的多孔结构,设置在两块基板之间,用于产生磁场;当基板受到外界压力时,设置在弹簧和磁性部分同时被压缩,穿过螺旋结构的磁通量发生变化,两块基板的电压发生变化,通过测量基板之间的电压变化反映外界压力的变化,以此实现压力测量过程。通过本发明,基于磁电材料组合的思想成功实现了性能、功能变化的4D打印,并为压电传感器提供了新的材料/结构设计思路和制造方法。

    一种信号处理方法及装置

    公开(公告)号:CN111060229A

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201911378078.6

    申请日:2019-12-27

    IPC分类号: G01L1/12 G01L9/16 H03D1/06

    摘要: 本申请公开了一种信号处理方法及装置,包括:利用压磁式传感器将外部压力转换为以激励信号为载波、以压磁式传感器受外力压缩周期为调制频率的幅度调制信号;对得到的幅度调制信号进行解调处理,获得外部压力对应的调幅包络信号。本申请巧妙地根据压磁式传感器的工作原理而设计,对基于压磁式传感器的信号实现了简单的检测和处理,具有广泛实用性。

    一种智能磁驱动自修复柔性压敏传感器的制备方法

    公开(公告)号:CN106969860B

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201710298323.7

    申请日:2017-05-01

    摘要: 本发明公开了一种智能磁驱动自修复柔性压敏传感器的制备方法。方案为:首先制备出银纳米线和线型针状磁性镍;再合成出具有自修复功能的高分子基体材料;然后将银纳米线和磁性镍混合后加入到上述基体中,再进行交联、固化、成膜;将自修复柔性薄膜封装后,放入磁场中充磁取向,即可获得智能磁驱动自修复柔性压敏传感器。优点:1、银纳米线与线型针状磁性镍复配后,线型针状结构能与银线有效架构,导电通路更加有效;2、磁驱动自修复柔性压敏传感器采用二聚酸作为单体单元,使得制成的自修复柔性薄膜具有优异的力学性能;3、对模具施加磁场后易于各向异性磁性镍在高分子基体中定向取向,实现了智能磁驱动效果。

    一种金刚石氮空位色心的量子压力传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN110243501A

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201910570946.4

    申请日:2019-06-28

    摘要: 本发明属于微机电系统(MEMS)的压力检测器件领域,并具体公开了一种金刚石氮空位色心的量子压力传感器及制备方法。所述传感器包括基底层,基底层的底部刻蚀有空腔,基底层的顶部沉积有绝缘层,绝缘层的顶部沉积有具有氮空位色心的金刚石薄膜层,绝缘层的顶部还溅射有两个所述铁氧体,两个铁氧体关于所述金刚石薄膜层对称布置。所述方法包括在所述基底层的顶部沉积一层绝缘层,在基底层的底部刻蚀得到空腔,在绝缘层的顶部沉积一层具有氮空位色心的金刚石薄膜层和两个对称布置的铁氧体。本发明可通过电子的自旋属性去实现对压力的高灵敏度测量,大大提升了压力传感器的灵敏度。

    基于智能材料的谐振式传感器
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110243394A

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201910654627.1

    申请日:2019-07-19

    摘要: 本发明提供了一种基于智能材料的谐振式传感器,包括谐振元件(1)、激励线圈(2)、敏感体(5)、壳体(7)、前端盖(8)、后端盖(10)、占位圆柱(11)以及感测件(14);谐振元件(1)输出力和位移并作用于敏感体(5),敏感体(5)输出第一检测信号;感测件(14)感测到外界物理量的变化使得谐振元件(1)的固有频率发生变化时,谐振元件(14)输出的力和位移发生变化,敏感体输出第二检测信号,从而实现不同物理量的检测。本发明创新性地使用智能材料作为谐振元件和敏感体,将被测量直接转化为敏感体的输出,提高了传感器的灵敏度、结构紧凑度和传感精度。

    一种可穿戴体感检测装置及方法

    公开(公告)号:CN107765860A

    公开(公告)日:2018-03-06

    申请号:CN201711096943.9

    申请日:2017-11-09

    IPC分类号: G06F3/01 G01L9/16

    CPC分类号: G06F3/011 G01L9/16

    摘要: 本发明涉及可穿戴检测技术领域,具体提供了一种可穿戴体感检测装置及方法,包括可穿戴体感检测装置本体和设置在可穿戴体感检测装置本体上的微处理器,以及分别与微处理器连接的风压传导面板、能量转换单元、数据计算处理单元和体感辅助检测单元,通过能量转换单元将风压传导面板产生的不同风压转换为不同大小的电信号,并由数据计算处理单元建立数学模型及算法确定电信号与肢体动作关系,实现风压感测体感。