一种新型多光源多波长激光干涉绝对测距仪

    公开(公告)号:CN105043265A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201510261523.6

    申请日:2015-05-21

    Abstract: 本发明公开了一种新型多光源多波长激光干涉绝对测距仪,包括激光源、固定平面反射镜、分光镜、干涉测量光电探测器、移动反射镜,所述激光源包括至少两个激光源单元,每个所述激光源单元各自射出一束激光束,各个所述激光源单元射出激光束的波长各不相等。在本申请中由于采用多个独立的激光源单元组成激光源,使得激光源的结构简单,设计难度低,降低了其制造和使用维护成本,同时本发明采用光电检测装置获取移动反射镜的粗测距离,提高了测量效率。

    一种对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

    公开(公告)号:CN105043245A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201510290446.7

    申请日:2015-05-29

    Abstract: 本发明公开了一种对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,所述对比式抗干扰平面反射镜激光干涉仪,包括有激光源、固定平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜和分光镜组,还包括有反射测量光电探测器,激光束经所述移动平面反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束,所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射镜反射激光束的强度,根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态,如此实现抗环境干扰的目的。

    一种对比式抗干扰阶梯平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

    公开(公告)号:CN105043242A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201510287712.0

    申请日:2015-05-29

    Inventor: 韦海成 张白

    Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种对比式抗干扰阶梯平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,所述对比式抗干扰阶梯平面反射镜激光干涉仪,包括有激光源、阶梯平面反射镜、干涉测量光电探测器组、移动平面反射镜和分光镜组,所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束,其中z为大于或者等于2的正整数,还包括有反射测量光电探测器组,所述第二激光束组在由所述移动平面反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组,所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态,如此实现抗环境干扰的目的。

    一种磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法

    公开(公告)号:CN104897049A

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201510365983.3

    申请日:2015-06-29

    Inventor: 张白 周春艳

    Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,所述磁性微位移平台式平面反射镜激光干涉仪,包括有激光源、微动平面反射镜、干涉测量光电探测器、移动平面反射镜、分光镜组和磁性微位移平台,所述微动平面反射镜设置在所述磁性微位移平台上,还包括有反射测量光电探测器,激光束经所述移动平面反射镜反射至所述分光镜组后还形成有反射激光束,所述反射激光束射向所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,由于反射测量光电探测器可以测量移动平面反射镜反射激光束的强度,根据反射激光束的强度确定激光干涉光束的干涉状态,如此实现抗环境干扰的目的。

    一种新型高精度微位移平台及其使用方法

    公开(公告)号:CN104858844A

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201510340162.4

    申请日:2015-06-18

    Inventor: 张白 康学亮

    CPC classification number: B25H1/00

    Abstract: 本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种新型高精度微位移平台及其使用方法, 新型高精度微位移平台,包括有运动装置和组合体,所述组合体包括有第一组合件和第二组合件,所述第一组合件与第二组合件之间紧密贴合,所述第一组合件为微位移运动部件,所述第二组合件与所述运动装置紧密连接,所述第一组合件与第二组合件的配合面相对于所述运动装置的运动方向倾斜设置。本申请的方案中,通过以行程换精度的方式,直接提高了本申请微位移平台的位移精度。

    一种移动补偿式级联阶梯型角反射镜激光干涉仪及测量方法

    公开(公告)号:CN104697443A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201510144209.X

    申请日:2015-03-30

    Abstract: 本发明公开了一种移动补偿式级联阶梯型角反射镜激光干涉仪及测量方法,其中干涉仪包括激光源、分光镜、光电探测器组、阶梯型直角反射镜组、移动直角反射镜与微动平台,其中激光源包括n个平行激光束,n≥2,光电探测器组包括n个光电探测器,阶梯型直角反射镜组由m个阶梯型直角反射镜和m-1个常规直角反射镜配对组成,m≥2,每个阶梯型直角反射镜的反射面为n个阶梯形反射平面,相邻两个反射平面间距为k为自然数;阶梯型直角反射镜组连接微动平台。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关,还和阶梯形反射平面高度差值有关,通过微动平台作用,可以进一步测量激光干涉波中未被测量到的小数部分,显著提高测量精度。

    一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法

    公开(公告)号:CN104697442A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201510144017.9

    申请日:2015-03-30

    Abstract: 本发明公开了一种移动补偿式平面反射镜激光干涉仪及使用方法,其中激光干涉仪包括激光源、分光镜、微动平面反射镜、测量平面反射镜、光电探测器,还包括可移动微动平台、微动平面反射镜连接在微动平台上,微动平台优选为压电陶瓷。该新型平面反射镜激光干涉仪通过设置一个可移动微动平台,使微动平面反射镜发生位移,配合测量平面反射镜、激光源、分光镜、光电探测器,能够获得激光干涉过程中难以测量的干涉波的小数部分,可以进一步提高激光干涉仪的测量精度。

    一种多光束阶梯平面角反射镜激光干涉仪

    公开(公告)号:CN104697439A

    公开(公告)日:2015-06-10

    申请号:CN201510143548.6

    申请日:2015-03-30

    Abstract: 本发明公开了一种多光束阶梯平面角反射镜激光干涉仪,包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、移动角反射镜、光电探测器组,其中激光源包括n,个平行激光束,n≥2,光电探测器组包括n个光电探测器件,固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为(k为自然数);经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器,同时分光镜内透射的另一束激光经过移动角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关,还和阶梯形反射平面高度差值有关,该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移,显著提高了测量精度。

    一种双臂式特大型齿轮测量仪器及其测量方法

    公开(公告)号:CN104596454A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201510034109.1

    申请日:2015-01-23

    Inventor: 张白 韦海成 刘芳

    Abstract: 本发明涉及齿轮测量技术领域,具体涉及一种双臂式特大型齿轮测量仪器,包括可放置在被测齿轮上端面的基座,以及悬置于所述基座下方的三维测量单元,所述三维测量单元包括两个,所述两个三维测量单元分别用于测量齿轮的内外两侧。本发明采用“以小测大”的测量原理,克服特大型齿轮测量中心与坐标测量机需要开发长导轨,仪器造价高,测量精度难以提升的弊端。

    一种自动水平调整装置
    100.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104482951A

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:CN201410842932.0

    申请日:2014-12-30

    Abstract: 本发明涉及精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种自动水平调整装置;包括水平台、第一角度传感器、第二角度传感器、第一高度调整系统、第二高度调整系统、固定支撑系统和自动控制系统以及气浮式基座;所述第一高度调整系统、第二高度调整系统以及固定支撑系统的底部均安装有气浮式基座;当水平调节装置发生倾斜时,由水平传感器测量获得当前倾斜量,通过自动调节算法计算支撑电机调节量,自动控制系统驱动支撑电机运动,以调整支撑脚座作伸长或缩短,实现水平度的自动调节;同时通过引入气浮式基座和球形支撑,将调节中的机械变形转化成水平滑动和接触角的变化,保证了系统在调节过程中的稳定性;适合用于作为各种精密设备的水平支撑系统。

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