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公开(公告)号：CN117977373A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410135403.0
申请日：2024-01-31
申请人： 同济大学
摘要： 本发明涉及一种用于量子级联激光器的散热装置，包括微通道散热部件和冷却部件，微通道散热部件一面安装量子级联激光器，另一面设有导热通道且与冷却部件贴合，冷却部件完全覆盖并密封导热通道；导热通道为波浪结构，内部通有冷却液。与现有技术相比，本发明具有通过设置有波浪结构导热通道的微通道散热部件，使具有高换热系数的冷却液进行循环冷却换热，带走激光器产生的热量，换热效率高；冷却部件完全覆盖并密封导热通道，避免了导热通道内冷却液的泄露；半导体热电制冷片根据热敏电阻反馈的温度实时调整温度，实现对量子级联激光器的精确控温等优点。
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公开(公告)号：CN117089817B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202310781874.4
申请日：2023-06-29
申请人： 同济大学
摘要： 本发明公开了一种基于卡尔曼滤波数据融合的光学薄膜混合监控方法，属于光学薄膜监控技术领域，光学薄膜监控过程中通过石英晶振监控和宽光谱监控方法获得膜层厚度和沉积速度的估计值，随后使用数据融合方法获得膜厚的最优估计值，光学薄膜混合监控方法包括以下步骤：1)设置当前膜层的目标厚度；2)使用卡尔曼滤波器进行数据融合，获得最优估计值；3)当最优估计值到达目标厚度时，停止该层膜的沉积。相较于单一监控方式和混合监控方法下的计算制造厚度误差，此方法可以有效提高光学薄膜厚度监控的精度，对于高性能光学薄膜的制备具有重要意义。(56)对比文件李华.卡尔曼滤波器在热轧GM厚度控制中的应用研究.自动化与仪器仪表.2017,(10),第26-28页.赵汝进;马孜;姚远程;何长涛.基于广义卡尔曼滤波的光学膜厚监控信号处理.激光技术.2007,(04),第78-81页.任豪;王巧彬;罗宇强;李康业.复合光路光学镀膜宽光谱膜厚监控系统.激光与光电子学进展.2010,(05),第139-143页.赵汝进;马孜;姚远程;何长涛.基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理.光学仪器.2006,(04),第83-87页.殷浩;应雄纯;宗杰.光学膜厚监控方法.红外与激光工程.2008,(04),第164-168页.杨春华;夏文建;李蓬;余文峰;程祖海.用复合监控法镀制的TEA CO_2激光器增透膜.光学与光电技术.2007,(01),第78-81页.潘洪昌;张豪杰;张甫光;江绍基.数字滤波在光学镀膜宽光谱监控中的应用.光学仪器.2006,(04),第70-74页.
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公开(公告)号：CN117089817A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202310781874.4
申请日：2023-06-29
申请人： 同济大学
摘要： 本发明公开了一种基于卡尔曼滤波数据融合的光学薄膜混合监控方法，属于光学薄膜监控技术领域，光学薄膜监控过程中通过石英晶振监控和宽光谱监控方法获得膜层厚度和沉积速度的估计值，随后使用数据融合方法获得膜厚的最优估计值，光学薄膜混合监控方法包括以下步骤：1)设置当前膜层的目标厚度；2)使用卡尔曼滤波器进行数据融合，获得最优估计值；3)当最优估计值到达目标厚度时，停止该层膜的沉积。相较于单一监控方式和混合监控方法下的计算制造厚度误差，此方法可以有效提高光学薄膜厚度监控的精度，对于高性能光学薄膜的制备具有重要意义。
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公开(公告)号：CN109628894B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201811635662.0
申请日：2018-12-29
申请人： 润坤(上海)光学科技有限公司 , 同济大学
摘要： 本发明涉及一种远紫外高反射镜的制备方法，包括清洗、镀膜、退火和储存，具体包括以下步骤：在镀膜时抽高真空离子束刻蚀清洗好基板，先镀打底层Cr膜后用热蒸发方式镀制Al膜，温度升高到180‑220℃烘烤镀膜室，继续抽真空用氩离子束流刻蚀Al膜表面Al2O3膜，然后电子束蒸镀MgF2薄膜；抽真空在250‑300℃温度下退火3小时提高样品薄膜质量，将样品充N2放入干燥柜中储存。与现有技术相比，本发明制备的远紫外高反膜光学特性优异、反射率较高、环境稳定性好，可以批量制备，在未来的光学薄膜领域具有广泛应用前景。
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公开(公告)号：CN109628894A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811635662.0
申请日：2018-12-29
申请人： 润坤(上海)光学科技有限公司 , 同济大学
CPC分类号： C23C14/30 , C23C14/0694 , C23C14/16 , C23C14/18 , C23C14/26 , C23C14/5806 , C23C14/5833 , G02B5/085
摘要： 本发明涉及一种远紫外高反镜的制备方法，包括清洗、镀膜、退火和储存，具体包括以下步骤：在镀膜时抽高真空离子束刻蚀清洗好基板，先镀打底层Cr膜后用热蒸发方式镀制Al膜，温度升高到180‑220℃烘烤镀膜室，继续抽真空用氩离子束流刻蚀Al膜表面Al2O3膜，然后电子束蒸镀MgF2薄膜；抽真空在250‑300℃温度下退火3小时提高样品薄膜质量，将样品充N2放入干燥柜中储存。与现有技术相比，本发明制备的远紫外高反膜光学特性优异、反射率较高、环境稳定性好，可以批量制备，在未来的光学薄膜领域具有广泛应用前景。
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公开(公告)号：CN105424712B
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201510906667.2
申请日：2015-12-09
申请人： 同济大学
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 本发明涉及一种激光损伤初期材料喷射行为的诊断方法，该方法用于透射型光学基板在发生激光损伤后粒子喷射行为的诊断和捕获，该方法包括以下步骤：①基于泵浦探测技术，建立包含一台纳秒脉冲激光器的微米空间分辨和纳秒时间分辨的双探测光单相机成像系统；②根据所述双探测光单相机成像系统获取喷射粒子在同一位置、设定时间间隔的图像；③比较图像上喷射粒子的差异，根据图像处理技术获得粒子的长度和位置信息，获取喷射粒子行为，包括喷射粒子的喷射方向、喷射速度和等效尺寸。与现有技术相比，本发明具有可靠性高、精确度高等优点。
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公开(公告)号：CN107863675A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201710855096.3
申请日：2017-09-20
申请人： 同济大学
摘要： 本发明涉及一种用于板条激光器谐振腔全反射面的薄膜结构，包括板条基板和SiO2薄膜，所述板条基板和SiO2薄膜间设置有一层一定厚度的高折射率混合材料HfxSi1-xO2薄膜，大幅降低薄膜与板条基板界面的驻波电场强度，从而提高全反射面的激光损伤阈值并且不改变全反射临界条件。与现有技术相比，本发明具有提高激光损伤阈值、保持低吸收和实用性强等优点。
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公开(公告)号：CN104032266B
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201410050291.5
申请日：2014-02-13
申请人： 同济大学
发明人： 程鑫彬 , 阿卜杜萨拉木·图尼亚孜 , 焦宏飞 , 鲍刚华 , 王占山
摘要： 本发明涉及一种提高光学薄膜损伤阈值的设计方法，该方法属于薄膜光学领域，主要针对高反射膜中影响损伤阈值的最主要的缺陷‑节瘤缺陷。节瘤缺陷的阈值决定整个薄膜的阈值。目前提高高反膜激光损伤阈值的技术手段主要通过消除节瘤，即尽可能的降低节瘤密度和尺寸来提升薄膜的阈值。但是在目前的技术条件下，消除节瘤需要的工艺难度大，需要的成本高，而且无法完全消除。本发明提出了一种直接提高节瘤阈值从而提升薄膜阈值的方法。理论和实践已经证明，电场在节瘤损伤特性中起很重要的角色，而节瘤中的电场与节瘤的几何特性和光谱特性信息相关。通过改变膜系设计来降低节瘤中的电场强度，从而提高节瘤的损伤阈值。此方法具有针对性强，效率高，简单易行的特点。
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公开(公告)号：CN103954625B
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201410050368.9
申请日：2014-02-13
申请人： 同济大学
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 本发明涉及一种面向激光薄膜内部缺陷的溯源式损伤阈值测量技术，包括：将被测样品进行坐标零点标记，通过电动平移台控制移动，在被测样品不同的制备阶段分别进行全区域扫描；外触发式相机对被测样品的每个位置进行图片采集，并将所有缺陷进行识别、坐标校准、处理分析，获得不同缺陷的引入源头和特征信息；选取被测样品上任意缺陷，在泵浦激光器辐照前后分别由外触发相机拍照，比较两幅图像的差异判断缺陷是否损伤；提升泵浦激光能量，实现不同能量下的测量；提取缺陷在不同制备阶段的特征信息，实现缺陷在全流程工序中的溯源追踪。与现有技术相比，本发明具有对缺陷引入源头、特征尺寸、坐标位置和损伤阈值等信息进行溯源分析的优点。
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公开(公告)号：CN103882385B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201410050340.5
申请日：2014-02-13
申请人： 同济大学
摘要： 本发明属于薄膜光学领域，具体涉及一种提高氧化物薄膜抗激光损伤阈值的蒸镀方法。主要针对抗激光薄膜中引起损伤发生的关键因素——薄膜中的吸收及缺陷。通过在蒸发源与基板之间添加隔离挡板，阻挡并吸附无效的蒸发材料，减少了基板附近的污染，降低了薄膜缺陷形成的几率；在真空室导入氧化能力比普通分子态氧气和离子氧更强的氧自由基，使氧自由基气体略入射基板表面，使得沉积材料在高真空条件下充分氧化成为了可能，降低了薄膜的吸收，从而得到阈值更高的氧化物薄膜。此方法不但保留了电子束热蒸发方法镀制激光薄膜独特的有利的性能又同时改善了薄膜的本征吸收和缺陷密度；具有针对性强、品质高、简单易行的特点。
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