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公开(公告)号：CN104569867B
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201310517996.9
申请日：2013-10-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种超导量子干涉传感组件及所适用的超导量子干涉传感器。所述传感器包括：超导量子干涉传感组件及所连接的读出电路。其中，所述超导量子干涉传感组件包括：与外接的偏置电源相连的超导量子干涉器件；与所述超导量子干涉器件互感的反馈线圈；与所述偏置电源和反馈线圈相连、且用于将所述反馈线圈所输出的感应信号予以放大并输出的放大单元；与所述超导量子干涉器件串联、且提高所述超导量子干涉器件的输出电压的电压提升单元。本发明能有效避免放大单元对感应信号的分流，并对所述感应信号进行放大。
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公开(公告)号：CN106024760B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201610389241.9
申请日：2016-06-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L23/552 , H01L21/768
Abstract: 本发明提供一种用于磁场屏蔽的半导体器件及其制作方法，包括：衬底；位于衬底上表面的第一超导层；位于第一超导层表面的第一介电层；位于第一介电层表面、由二维半导体薄膜层形成的霍尔结构；位于霍尔结构表面的第二介电层；位于第二介电层表面的第二超导层；位于衬底上表面，并与霍尔结构连接的金属接触电极；第一、第二超导层的长宽小于第一、第二介电层的长宽，第一、第二介电层的长宽均小于等于霍尔结构的长宽，且霍尔结构的长宽小于衬底的长宽。通过本发明提供的一种用于磁场屏蔽的半导体器件及其制作方法，解决了利用现有技术中当二维半导体薄膜应用在新型微纳电子器件中时易受环境中电磁场的干扰，进而影响器件工作的问题。
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公开(公告)号：CN104880679B
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201410072398.X
申请日：2014-02-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种超导量子干涉器磁传感器。所述磁传感器包括：第一超导量子干涉器件；欠反馈电路，用于将第一超导量子干涉器件所输出的电信号按预设比例放大后负反馈至第一超导量子干涉器件，使得反馈后的第一超导量子干涉器输出的电信号以周期单值特性输出并且反馈后的电信号在外部磁通所包含的各磁通量子变化周期结束时刻所输出的电信号由峰值跳变至磁通量子变化周期初始时的工作零点；信号处理单元，用于根据所接收的电信号中各跳变沿的方向来确定各磁通量子变化周期的数字波形信号的幅值并生成数字波形信号，并将所接收的电信号与所生成的数字波形进行叠加。本发明能够在多个磁通量子变化周期的跨度范围内进行测量，有效增加了测量时间和量程。
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公开(公告)号：CN105022005B
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201410165907.3
申请日：2014-04-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种提高SQUID磁传感器测量灵敏度的方法、装置及系统，该方法包括：利用三轴磁强计将背景磁场转换成电信号；所述背景磁场包括环境磁场和信号磁场；对所述电信号进行调理后获得反应所述环境磁场的主要电信号；将所述主要电信号转换成环境抵扣磁场；将所述抵扣磁场输入至所述SQUID磁传感器，抵消所述环境磁场在所述SQUID磁传感器处产生的磁通。本发明使用三轴磁强计获取环境磁场的信息，经过低通滤波器和电流补偿电路产生一定的补偿磁通，将该SQUID磁传感器耦合的外部环境磁场的磁通量正好抵消，使SQUID磁传感器就不会对环境磁场的大波动产生响应，可以工作在小量程高灵敏度的模式，实现对微弱被测信号的高灵敏度探测。
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公开(公告)号：CN104459572B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201310440262.5
申请日：2013-09-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种基于多通道的超导量子干涉传感系统，包括：多个超导量子干涉器件；至少一个集成式读出电路结构，其中，所述集成式读出电路结构包括：多个读出电路板，用于将所述超导量子干涉器件所提供的感应信号进行放大、反馈处理，并予以输出；将各所述超导量子干涉器件和读出电路板对应相连的第一接口；将各所述读出电路板所处理的感应信号予以输出的第二接口。本发明通过将读出电路板予以高度集成，能够有效减小多通道的超导量子干涉传感系统的体积，更便于携带。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104345286B
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201310340677.5
申请日：2013-08-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种积分电路及所适用的超导量子干涉传感器。根据本发明所述的传感器，在所述积分电路中配置受外部控制信号的选通器，并根据所述控制信号改变所述积分电路，使得所述积分电路能够进行正极性积分、负极性积分、复位和调试中的一种。由此使超导量子干涉器件能够获得最佳工作参数，并灵活选定工作点，简化了现有超导量子干涉传感器读出电路中的积分电路。
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公开(公告)号：CN104950275B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201410125669.3
申请日：2014-03-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明提供一种超导量子干涉器磁传感器的性能测试装置及方法，其中，超导量子干涉器磁传感器包括：SQUID和与SQUID相连并向该SQUID反馈磁通的磁通锁定环路。该性能测试装置包括：外部磁通加载单元，用于向超导量子干涉器磁传感器提供包含频率变化的外部磁通和用于抵消所述超导量子干涉器件所处环境磁通的抵消磁通，其中，外部磁通的幅度小于预设值；与磁通锁定环路相连的磁通偏差获取单元，用于获取外部磁通和反馈磁通之间的磁通偏差；与磁通偏差获取单元和外部磁通加载单元相连的测试单元，用于根据所获取的磁通偏差及所对应的频率来计算超导量子干涉器磁传感器不失锁时最大可测磁通‑频率变化的特性。本发明能够持续的测试SQUID磁传感器的性能。
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公开(公告)号：CN106950516A
公开(公告)日：2017-07-14
申请号：CN201710183694.0
申请日：2017-03-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种微弱涡流磁场测量装置及方法，用于测量被测对象的涡流磁场，其中，该装置包括一屏蔽室，所述屏蔽室内设有一亥姆霍兹线圈、一被测对象托台和一磁传感器，所述屏蔽室外设有一数据同步源、一信号源、一功率放大器和一数据采集组件；其中，所述被测对象托台位于所述亥姆霍兹线圈的磁场均匀区，所述信号源和所述功率放大器依次串联在所述数据同步源与所述亥姆霍兹线圈之间；所述数据采集组件连接在所述数据同步源与所述磁传感器之间。本发明不仅提高涡流磁场的测量精度、简化涡流磁场的测量步骤，而且能整体对大尺寸系统的涡流磁场进行精确测量。
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公开(公告)号：CN103954918B
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201410199606.2
申请日：2014-05-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明涉及一种二阶SBC超导量子干涉梯度计及制作方法，其特征在于是将二阶多环结构的SQUID梯度芯片与电感线圈集成在一起构成可使用直读电路的二阶多环结构超导自举(Superconducting Bootstrap Circuit,SBC)SQUID梯度计，所构筑的此类器件可以利用直读电路来读出器件输出信号，而且由于器件是由宽度很窄的超导薄膜线条构成，降低了地球环境磁场对器件磁通陷入的影响，并且器件仅对二阶梯度磁场有响应，对磁场和一阶梯度磁场不敏感，这些特点大大提高了其在无屏蔽环境磁场中的适应能力和工作稳定性，使其在微弱磁测量中具有极大的应用潜力。
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公开(公告)号：CN104730584B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201310713458.7
申请日：2013-12-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01V3/10
Abstract: 本发明提供一种瞬变电磁接收机，包括：超导量子干涉器传感器；与所述超导量子干涉器传感器相连的同步信号处理单元，用于从所述超导量子干涉器传感器所输出的感应信号中提取同步信号；与所述超导量子干涉器传感器和同步信号处理单元相连的数据采集单元，用于基于所述同步信号来采集所述超导量子干涉器传感器所输出的感应信号。本发明无需建立与发射机相匹配的同步时钟，能够通过感应发射机所发射的瞬变的磁信号来确定同步信号，具有结构简单、精度高的优点。
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