制造氮化物半导体激光器的方法

    公开(公告)号:CN101527426A

    公开(公告)日:2009-09-09

    申请号:CN200910126226.5

    申请日:2009-03-09

    Abstract: 提供一种能够容易地进行激光腔的方向确定的、使用非极性或半极性晶片制造氮化物半导体激光器的方法。在准备好具有由六方晶系氮化镓半导体构成的晶体(2)及标志构造物(3)的基板体(1)后,沿着与标志构造物(3)交叉的平面切断基板体(1),形成具有第1标志(7)的六方晶系氮化镓半导体晶片(5)。之后,形成含有氮化镓系半导体层且具有第2标志(27)的半导体重叠层(20)。接着,形成具有与第2标志(27)的方向一致地设置的开口(25a)的绝缘膜(25)。进一步,在绝缘膜(25)及半导体重叠层(20)上形成电极(28),从而形成基板制品(40)。以劈开面劈开基板制品(40)。

    氮化物半导体发光元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100413103C

    公开(公告)日:2008-08-20

    申请号:CN200510088496.3

    申请日:2005-08-02

    CPC classification number: H01L33/32 B82Y20/00 H01L33/06

    Abstract: 本发明提供一种氮化物半导体发光元件,在支撑基体上设置第1导电型氮化物半导体层,此外在支撑基体上设置第2导电型氮化物半导体层。发光区域,设在第1导电型氮化物半导体层和第2导电型氮化物半导体层之间。发光区域,含有InX1AlY1Ga1-X1-Y1N势阱层(1>X1>0、1>Y1>0)及InX2AlY2Ga1-X2-Y2N势垒层(1>X2>0、1>Y2>0)。InX3AlY3Ga1-X3-Y3N缓冲层(1>X3>0、1>Y3>0),设在发光区域和第1导电型氮化物半导体层之间。InX1AlY1Ga1-X1-Y1N势阱层的铟组成X1,小于InX3AlY3Ga1-X3-Y3N缓冲层的铟组成X3。InX2AlY2Ga1-X2-Y2N势垒层的铟组成X2小于InX3AlY3Ga1-X3-Y3N缓冲层的铟组成X3。

    氮化物半导体发光元件及制造氮化物半导体发光元件的方法

    公开(公告)号:CN1734802A

    公开(公告)日:2006-02-15

    申请号:CN200510088496.3

    申请日:2005-08-02

    CPC classification number: H01L33/32 B82Y20/00 H01L33/06

    Abstract: 本发明提供一种氮化物半导体发光元件,在支撑基体上设置第1导电型氮化物半导体层,此外在支撑基体上设置第2导电型氮化物半导体层。发光区域,设在第1导电型氮化物半导体层和第2导电型氮化物半导体层之间。发光区域,含有InX1AlY1Ga1-X1-Y1N势阱层(1>X1>0、1>Y1>0)及InX2AlY2Ga1-X2-Y2N势垒层(1>X2>0、1>Y2>0)。InX3AlY3Ga1-X3-Y3N缓冲层(1>X3>0、1>Y3>0),设在发光区域和第1导电型氮化物半导体层之间。InX1AlY1Ga1-X1-Y1N势阱层的铟组成X1,小于InX3AlY3Ga1-X3-Y3N缓冲层的铟组成X3。InX2AlY2Ga1-X2-Y2N势垒层的铟组成X2小于InX3AlY3Ga1-X3-Y3N缓冲层的铟组成X3。

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