具有偏离有源区的错配位错的GaN基激光二极管

    公开(公告)号:CN103026561B

    公开(公告)日:2015-07-08

    申请号:CN201180026342.5

    申请日:2011-05-26

    IPC分类号: H01S5/343 H01S5/32

    摘要: 提供了一种GaN基边缘发射激光器,它包含半极性GaN衬底10、有源区20、N侧波导层30、P侧波导层40、N型包覆层50和P型包覆层60。GaN衬底的特征是穿透位错密度约为1×106/cm2。N侧波导层的应变-厚度积超过其应变弛豫临界值。此外,对于在弛豫的N侧波导层30上的生长,所计算的有源区20的累计应变-厚度积小于其应变弛豫临界值。结果,N型包覆层50与N侧波导层30之间的N侧界面70包含一组N侧错配位错75,而P型包覆层60与P侧波导层40之间的P侧界面80包含一组P侧错配位错85。