公开(公告)号：CN101000295A

公开(公告)日：2007-07-18

申请号：CN200610151235.6

申请日：2006-12-31

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 闫永达 ,  孙涛 ,  胡振江 ,  史立秋 ,  董申

IPC: G01N3/40

Abstract: 基于AFM的纳米机械性能检测装置，它涉及的是纳米机械性能检测的技术领域。它是为解决现有测量方法存在其检测设备价格昂贵，现有的AFM系统不能够直接提供反映表面机械性能的压痕过程曲线及不能测量按一定速率加载的刻划过程的摩擦力信号的问题。主控计算机(1)通过串行通信电路(2)、第一单片机(4)、光电隔离电流环串行接口通道(8)、第三单片机(11)、三路D/A转换电路(12)及第二单片机(9)、两路A/D转换电路(10)分别连接二维工作台控制器(13)、二维工作台(14)与AFM系统(15)。它还具有制造成本价格便宜，能够直接提供反映表面机械性能的压痕过程曲线及能按一定速率加载的刻划过程的摩擦力信号。点阵压痕的最大范围为100μm×100μm，刻划长度为100nm～100μm。

公开(公告)号：CN1559752A

公开(公告)日：2005-01-05

申请号：CN200410013586.1

申请日：2004-02-27

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 孙涛 ,  阎永达 ,  胡振江 ,  梁迎春 ,  张龙江 ,  董申

IPC: B23Q1/25 ,  B23Q5/00

Abstract: 微机械零件三维加工装置，它属于纳米加工装置。现有的基于扫描探针显微镜的加工还只局限于平面二维微图形，没有形成一整套类似于超精密金刚石车削加工的加工机理与相关技术。本发明包括机械台体(1)、设置在机械台体(1)上的三维粗动工作台(2)，在机械台体(1)上设有加工头部件(3)和光学系统(4)，在三维粗动工作台(2)上设有主轴系统(5)，所述三维粗动工作台(2)、加工头部件(3)、光学系统(4)、主轴系统(5)都与控制系统(6)相连。本发明产品具有精度高、效果好的优点。