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公开(公告)号：CN103335833B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201310272441.2
申请日：2013-07-02
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M13/00
摘要： 在线测量超精密静压主轴动态性能的装置及采用该装置测量静压主轴动态性能的方法，本发明涉及一种超精密静压主轴动态性能在线测量方法。本发明解决了现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测量或现有方法难以解决测量基准的安装误差和制造误差对测量结果产生影响的问题。本发明采用高精度位移传感器采集传感器与标准球之间的位移信息，获得的位移信息经信号放大器进行放大，经A/D转换电路和数据采集电路后输入至计算机；采用旋转编码器对主轴的相位信息进行采集并输入计算机，通过计算机进行分析与处理，获得超精密静压主轴旋转的动态性能误差数据，完成超精密静压主轴动态性能在线测量。本发明适用于超精密静压主轴动态性能在线测量。
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公开(公告)号：CN103344425A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310268146.X
申请日：2013-06-28
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M13/00
摘要： 基准平面式超精密直驱式静压主轴动态性能在线测试方法，涉及静压主轴性能测试领域。本发明是为解决现有方法不能实现超精密静压主轴动态性能在线测试的问题。本发明方法如下：在直驱式超精密静压主轴转子的上端部安装高精度标准平面作为测量基准，采用高精度位移传感器测量主轴旋转时标准平面与高精度位移传感器之间的位移变化，通过传感器信号放大与数据采集系统将测得的位移变化量转换成数字信号后送入计算机进行数据分析与处理，从而实现超精密直驱式主轴动态性能的在线测量。本发明可以实现对处于实际加工状态下的超精密静压主轴的动态性能进行实时在线测量，不影响超精密机床的加工过程。
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公开(公告)号：CN101474831B
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN200910071321.X
申请日：2009-01-21
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 可调节式金刚石刀具的刀夹装置，它涉及一种刀夹装置。本发明解决了现有的金刚石刀具的刀夹装置存在加工时无法对刀具角度进行调整、需要经常更换不同的刀具、增加了成本、工作效率低的问题。所述转位导向套的外沿上对称开有两个弧形通孔，所述转位导向套通过导向键安装在微调丝杠轴的上端，所述丝杠内套套装在微调丝杠轴的中部且丝杠内套与微调丝杠轴螺纹连接，所述微调手轮固装在丝杠内套上，所述两个螺钉依次穿过端盖、转位导向套上的弧形通孔与圆筒连接，所述摆动支撑轴设置在微调丝杠轴与刀夹座之间，所述微调丝杠轴与刀夹座通过四个转位调整螺钉连接。本发明具有结构紧凑、调节方便、调整精度高，适用于各种精密及超精密的加工机床。
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公开(公告)号：CN102303224A
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN201110145033.1
申请日：2011-05-31
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种光学零件加工与检测一体化制造装置及制造方法，属于光学零件加工领域，本发明为解决现有光学零件加工大多采用离线测量方式，加工效率低；现有的光学零件加工设备无法满足在线测量的要求的问题。本发明的工件主轴、刀具主轴和剪切干涉仪安装在加工机床的工作台面上，工件主轴上安装工件，刀具主轴通过摆臂及刀架安装刀具，数控系统驱动刀具主轴旋转，带动刀具对工件进行加工，剪切干涉仪发出的检测光束的光轴与工件主轴的中心线在同一直线上，剪切干涉仪发出检测光束至工件，剪切干涉仪采集检测光束返回的图像信息发送给测量信息处理系统，测量信息处理系统根据获取工件表面的面形误差信息，并发送给数控系统，数控系统对工件进行补偿加工。
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公开(公告)号：CN101195178B
公开(公告)日：2010-04-14
申请号：CN200710144867.4
申请日：2007-12-19
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 龙门式超精密飞切铣床，它涉及一种铣床。本发明解决了现有技术中没能提供用于平面超精密加工的专用设备来加工非线性光学领域所急需的KDP晶体等功能材料的问题。所述主轴套(38)套装在气体静压主轴(35)上，飞刀盘(34)安装在气体静压主轴(35)的下端上，上溜板(41)的两端通过两个中间溜板(45)与两个下溜板(46)分别固接并形成凹槽(62)，所述导轨(42)的上端安装在凹槽(62)内，真空吸盘(57)安装在上溜板(41)上，丝母(58)套装在丝杠(11)上，丝杠(11)的两端安装在导轨(42)的上端。本发明实现了高精度的直线进给运动和刀盘的回转运动，而且导轨和主轴均采用了空气静压的控制方式，具有精度高、无污染等优点。
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公开(公告)号：CN101285747A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200810064383.3
申请日：2008-04-25
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 原位纳米拉伸实验测量检测装置，它涉及一种拉伸实验测量检测装置。本发明解决了现有的机械性能的测量及微观形貌的检测是独立的、分离的两个过程的问题。本发明的步进电机(1)的输出轴与联轴器(2)固接，机架底板(4)上固装有导轨(7)，导轨(7)上安装有左车架组(42)和右车架组(43)，左右旋丝杠(8)的两端分别与联轴器(2)和轴承座(21)连接，力传感器(18)的左右端面分别与右夹具连接块(14)和力传感器保持架(19)固接，读数装置(44)安装在机架底板(4)上，拉伸测量装置(41)固装在检测装置的工作台(46)上。本发明促进了需要对样品在受力状态下微观形貌变化进行动态观察的研究领域的进一步发展，对纳米复合功能材料的机械性能的测量及微观形貌的检测具有重要的理论意义和良好的应用前景。
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公开(公告)号：CN101249612A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200810064006.X
申请日：2008-02-18
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23Q1/01
摘要： 超精密近零摩擦导轨，本发明涉及一种导轨。本发明是为解决现有机床导轨本体与溜板之间存在摩擦力及驱动系统影响到溜板和导轨本体间的直线运动精度的问题，本发明的溜板由上溜板、两个下溜板和两个侧溜板组成，定子设置在凹槽内并通过连接座固定在导轨本体上，齿条的上端与上溜板的下端面固定连接，齿条与转子啮合，上溜板上与导轨本体对应处设有上节流孔，侧溜板上与导轨本体对应处设有侧节流孔，下溜板上与导轨本体对应处设有下节流孔。本发明采用了直线电机作为驱动本体直接驱动溜板，溜板的直线运动精度可以达到纳米量级，导轨本体与溜板之间没有直接接触，导轨本体与溜板之间的摩擦力接近于零，从而消除了导轨本体与溜板之间摩擦力。
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公开(公告)号：CN101032802A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710072022.9
申请日：2007-04-11
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B24B1/00
摘要： 常压等离子体抛光方法，它涉及一种抛光方法。本发明的目的是为解决常规的机械式研抛方法存在的不足及在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、易产生表层及亚表层损伤、表面清洗困难等问题。本发明的方法主要是，等离子体气体与反应气体的体积比为4∶1～1000∶1；启动射频电源，逐步施加功率，控制反射功率为零，初始有效功率为180～240瓦，常用功率为400～1200瓦，最高功率可加至1500瓦。本发明可在常压下通过等离子体化学反应实现超光滑表面加工，不需要真空室，可降低设备成本并扩大其使用范围。加工效率是传统抛光方法的十倍，并且无表面损伤、无亚表层损伤、无表面污染，抛光工件的表面粗糙度小于1nm Ra。
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公开(公告)号：CN1876320A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200610010296.0
申请日：2006-07-17
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B24B1/00
摘要： 常压等离子体抛光装置，它涉及一种抛光装置。本发明的目的是为解决常规的机械式研抛方法存在的不足及在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、易产生表层及亚表层损伤、表面清洗困难等问题。本发明的主要部件包括：密封工作舱(51)、等离子体炬(53)、第一联动系统(52)、第二联动系统(57)、第一流量控制器(60)、第二流量控制器(65)、反应气体瓶(61)、等离子体气体瓶(62)、气体回收处理装置(63)，等离子体炬(53)安装在第一联动系统(52)上。本发明可在常压下通过等离子体化学反应实现超光滑表面加工，不需要真空室，可降低设备成本并扩大其使用范围。加工效率是传统抛光方法的十倍，并且无表面损伤、无亚表层损伤、无表面污染。
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公开(公告)号：CN1864921A
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN200610010156.3
申请日：2006-06-14
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B24B1/00
摘要： 用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬，它涉及一种等离子体抛光设备。本发明的目的是为解决常规的机械式研抛方法在碳化硅等硬脆性难加工材料的超光滑表面加工中存在的效率低、容易产生表层及亚表层损伤和现有的平行板式等离子体抛光方法中存在的加工痕迹难以消除，以及感应耦合式等离子体炬存在的内炬管易腐蚀，成本高，系统的维护性不好等问题。本发明阴极(6)的外壁与外套(9)的内壁之间形成水冷环形空间(13)，阳极水冷导管(1)设置在阳极(5)的内腔(16)内。本发明不需要真空室，本发明加工效率约是传统抛光方法的10倍。不会像真空等离子体那样对超光滑表面造成表面损伤、亚表层损伤和表面污染，实现了光学零件的高效率高质量加工。
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