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公开(公告)号：CN113310400B
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202110578721.0
申请日：2021-05-26
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供的是一种闭环控制的激光干涉测量同步动态增益补偿方法。所述方法为：同步于测量流程运行，根据信号采集部分模数转换的采集要求，确定需要增益到的信号强度的目标区间和修改信号增益的阈值；取采集到的正弦电信号峰峰值，作为调节增益时所需要的正弦光信号强度数据；根据所述正弦光信号强度数据与信号强度目标值进行PID调节运算；根据PID调节运算结果，FPGA修改DAC输出电压数据控制增益补偿模块的补偿增益，进行一次增益调节；完成一次增益调节，采集调节后的信号强度数据。本发明可用于双频激光干涉测量的光电探测电路的信号采集前置增益补偿流程中，用于对光电检测信号的动态补偿。由于增益补偿调节均匀连续且与信号采集流程动态同步，信号的强度范围将实时保持在最佳采集区间内且不会发生增益突变。可有效提高模数转换部分对信号采样的精度，提高对模数转换模块性能的利用率，提高信号采集的稳定性。
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公开(公告)号：CN113865480A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111127812.9
申请日：2021-09-18
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于ZEMAX仿真的外差式光栅干涉仪读头系统信号分析方法，用于分析光学系统中经过光学元件后探测器接收到的测量信号，在ZEMAX中需对各个光学元件建立仿真模型，根据光栅干涉仪位移测量的原理，在ZEMAX非序列模式下进行光栅干涉仪读头结构设计、光学元件选择，搭建光栅干涉仪测量系统仿真模型进行信号分析。根据光路的需求以及不同光学元件的特性，分别设置相应参数，得到光学元件参数对光学系统能量的影响。利用仿真结果对光学系统进行系统优化。
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公开(公告)号：CN113310400A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110578721.0
申请日：2021-05-26
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供的是一种闭环控制的激光干涉测量同步动态增益补偿方法。所述方法为：同步于测量流程运行，根据信号采集部分模数转换的采集要求，确定需要增益到的信号强度的目标区间和修改信号增益的阈值；取采集到的正弦电信号峰峰值，作为调节增益时所需要的正弦光信号强度数据；根据所述正弦信号强度数据与信号强度目标值进行PID调节运算；根据PID调节运算结果，FPGA修改DAC输出电压数据控制增益补偿模块的补偿增益，进行一次增益调节；完成一次增益调节，采集调节后的信号强度数据。本发明可用于双频激光干涉测量的光电探测电路的信号采集前置增益补偿流程中，用于对光电检测信号的动态补偿。由于增益补偿调节均匀连续且与信号采集流程动态同步，信号的强度范围将实时保持在最佳采集区间内且不会发生增益突变。可有效提高模数转换部分对信号采样的精度，提高对模数转换模块性能的利用率，提高信号采集的稳定性。
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公开(公告)号：CN113074641A
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202110298319.7
申请日：2021-03-19
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明提供一种计算光栅干涉仪位移补偿参数的装置和方法，包括运动台119、外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪。所述外差式光栅干涉仪包括读数头(115‑118)、二维光栅(111‑114)，4块二维光栅放置在运动台(119)上，每块二维光栅对应一个读数头，读数头出射激光束至二维光栅，并收集二维光栅的衍射光束。所述外差式激光干涉仪包括干涉仪镜组(101‑103)、干涉仪反射镜(104‑110)，水平向反射镜(116‑110)分别放置于运动台的3个侧面，垂向反射镜(104、105)放置在运动台上方。外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪能够同时测量运动台的位移，根据上述布局建立外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪的测量模型；设定运动台的轨迹，在不同轨迹下获取外差式光栅干涉仪和外差式激光干涉仪分别测量的运动台位移，以外差式激光干涉仪的测量数据为参考，计算外差式光栅干涉仪测量模型中的位移补偿参数。本发明可用于超精密光栅干涉仪的校准。
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公开(公告)号：CN110096035B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201910396835.6
申请日：2019-05-14
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G05B19/414
Abstract: 本发明提出一种基于Open VPX的高精度高速运动台同步运动控制系统，包括系统控制卡、运动控制卡、数据采集控制卡、光栅信号处理卡、多通道数模转换控制器、运动台环境信息采集卡、电机驱动器、电涡流采集板、传感器信息采集板、光栅尺读数头和上位机。本发明采用Open VPX支持VITA66.4光互连背板总线协议，采用的光纤连接器支持多通道光纤互连，单通道的数据传输速率可达14Gbps，采用光互连背板总线进行数据传输，可以满足高端光刻机运动台同步控制系统不断提升的高伺服频率，大数据量和高实时性的要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112713412A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202011522736.7
申请日：2020-12-21
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明提供的是一种基于微热板精确温控系统的超材料吸波器。其特征是：包括硅基微热板1和VO2超材料吸波器2；硅基微热板1由接触电极3、4、5、6，承重梁7、8、9、10，一字梁11、12，腐蚀窗口13，加热电阻14，支撑膜15组成；VO2超材料吸波器2由金属底板层16，硅基底层17，VO2层18，金属内开口环19，金属外开口环20和硅基座21组成。本发明可用于温控超材料器件，例如超材料开关、超材料分束器、超材料滤波器、超材料调制器、超材料吸波器等，可广泛用于无线通信、传感、医学检测和诊断等领域。
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公开(公告)号：CN112326032A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011171180.1
申请日：2020-10-28
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明提供的是一种基于多波段入射光偏振成像增加偏振信息的方法。其过程包括：A1，多个波段的入射光在进行空间调制偏振成像，得到包含偏振信息的干涉图像；A2，对得到的干涉图像进行变换在频域中分析不同波段偏振信息的分布情况；A3，将频域中不同位置的不同波段的偏振信息各自解调出来；A4，将得到的不同波段的偏振信息进行整合得到目标更全面的偏振信息。本发明可用于空间调制偏振成像偏振信息的解调，可广泛用于遥感偏振成像等领域。
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公开(公告)号：CN109752797B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201711070834.X
申请日：2017-11-03
Applicant: 桂林电子科技大学
IPC: G02B6/04
Abstract: 本发明提供的是一种光纤端蜂窝与正方格子结构光学天线及其制备方法。其特征是：所述的光学天线主要由一段多芯光纤1组成，多芯光纤1的一个纤端经过研磨形成纤端圆锥台2，而纤端圆锥台2的端面上采用原子光刻技术沉积有二维阵列金属光学天线3；这里，多芯光纤1包含包层4、中央纤芯5以及多个偏芯6，中央纤芯5位于包层4的中央，多个偏芯6均匀分布在中央纤芯5的四周；一方面，中央纤芯5(或多个偏芯6)传输的传导光波7直接(或经过纤端圆锥台2全内反射后)作用在二维阵列金属光学天线3上，两者相互作用后激发出光辐射场信号8；另一方面，光辐射场信号8作用于二维阵列金属光学天线3后形成信号光波9，然后直接被中央纤芯5接收或者经过纤端圆锥台2收集后被多个偏芯6接收。本发明可用于光电探测、传感、热传导、太阳能电池、以及光谱分析等领域。
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公开(公告)号：CN112067124A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202010824784.5
申请日：2020-08-17
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明提供的是一种基于磁流体的可编程光纤光栅光谱仪。其特征是：它由光源1、三端口光纤环行器2、基于磁流体的可编程光纤光栅3、光束准直器4、聚焦透镜5、探测器6、读出电路7和数据处理系统8组成。本发明可用于检测物质的光谱特征，从而获取物质的成分信息；可广泛用于生物医学、石油工业和环境科学等领域。
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公开(公告)号：CN112039603A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN201910475218.5
申请日：2019-06-03
Applicant: 桂林电子科技大学
Abstract: 本发明提供了一种保密传输系统、方法及芯片。加密时，太赫兹波发射源向太赫兹芯片上发射太赫兹波，太赫兹波经太赫兹芯片进行低频滤波后传输至太赫兹波接收器，实现信息加密；解密时，太赫兹波发射源向太赫兹芯片发射太赫兹波，激光发射源向太赫兹芯片发射激光，太赫兹波与激光经太赫兹芯片进行高频滤波后传输至太赫兹波接收器，实现信息解密。太赫兹芯片包括衬底以及衬底顶面的二维阵列，并附着有信息板；二维阵列由周期排列的单元结构组成。单元结构包括金属结构主体、金属结构上形成有凹槽，在凹槽中还设有关于金属结构中心线对称的金属块和半导体材料块。本申请利用了太赫兹芯片对太赫兹波进行带通滤波，实现了便捷的保密传输。
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