基于非等间隔采样的大型高速回转装备三维形态学滤波方法

    公开(公告)号:CN110992461A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201911213671.5

    申请日:2019-12-02

    Abstract: 本发明提出了基于非等间隔采样的大型高速回转装备三维形态学滤波方法,属于三维信号处理及精密测量技术领域。基于非等间隔采样的大型高速回转装备三维形态学滤波方法,该方法基于实际采样角度分布函数构造回转类零件的真实三维表面点集,用alpha球去遍历有限三维点集上所有点以提取alpha shape边界及alpha包络,完成一次形态学开闭操作,再重复上述步骤对一次alpha包络进行二次操作,进行交替对称滤波,以实现三维轮廓表面形态学滤波,提高滤波精度。本发明消除了边界效应,接触点提取准确性更高,可对任意自由曲面实现高精度滤波;可实现对被测试件三维表面纹理的集合属性进行准确数据提取,提高了滤波精度。

    基于声弹效应的大型高速回转装备装配紧固力测量方法

    公开(公告)号:CN110849517A

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201911142337.5

    申请日:2019-11-20

    Abstract: 本发明提出一种基于声弹效应的大型高速回转装备装配紧固力测量方法,工控机控制激光器发射脉冲激光,脉冲激光被分光镜分成两束,数据采集卡将采集到的信号传至工控机进行处理,计算出Δt0;所有螺栓紧固后,对第一个螺栓进行测量,计算出Δt1,求出该螺栓的紧固力F1,工控机控制精密回转台转动一定角度,对第二个螺栓进行测量,计算出Δt2,求出该螺栓的紧固力F2,直至转子装配体回转一周,完成若干个螺栓紧固力的测量。解决了现有技术的航空发动机转子装配紧固力难以直接测量、测量效率低且会对转子表面造成腐蚀等问题,提出一种基于声弹效应的大型高速回转装备装配紧固力测量方法,实现航空发动机转子装配紧固力的直接、高效率和高精度测量。

    基于蒙特卡罗偏差评估的大型高速回转装备多级零部件优化方法

    公开(公告)号:CN110598229A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201910012269.4

    申请日:2019-01-07

    Abstract: 本发明提出了基于蒙特卡罗偏差评估的大型高速回转装备多级零部件优化方法。本发明依据多级转子传递关系,获得各级转子间接触面的偏移量,根据同轴度公式计算出同轴度;计算出接触面的截面惯性矩,依据抗弯刚度公式,获得抗弯刚度;根据转子误差传递关系,获得转子不平衡量;采用蒙特卡洛法进而得到各级航空发动机转子的装配面跳动与最终多级转子几何同轴度、不平衡量、刚度的概率关系,实现航空发动机多级转子公差分配和抗弯刚度的优化。

    基于随机重叠圆网栅毫米波/光学多模探测电磁屏蔽结构

    公开(公告)号:CN108207106A

    公开(公告)日:2018-06-26

    申请号:CN201711390531.6

    申请日:2017-12-21

    CPC classification number: H05K9/0058 G02B5/204

    Abstract: 基于随机重叠圆网栅毫米波/光学多模探测电磁屏蔽结构属于多模探测仪器的抗电磁干扰技术领域,由随机重叠圆环网栅结构作为基础,在重叠圆环网栅上开设有周期阵列分布的圆环孔,周期阵列方式包括正交分布、45°周期分布与60°周期分布三种。重叠圆环网栅基底的随机方式可分别采用随机直径、随机周期与同时随机直径与周期的三种随机方式。随机结构的基底可显著地均化在光学波段产生的高级次衍射能量并增大光学透过率,同时圆环孔阵列结构可实现毫米波波段的稳定单带通,通过改变圆环孔的阵列周期、直径与环形宽度可调整毫米波的带通中心频率及带宽。本发明可应用在高透光率、毫米波带通与低成像质量影响需兼备的探测仪器抗电磁干扰技术领域。

    一种工件台三自由度位移测量方法

    公开(公告)号:CN105549332B

    公开(公告)日:2017-11-03

    申请号:CN201610023032.2

    申请日:2016-01-14

    Inventor: 刘永猛 谭久彬

    Abstract: 本发明提供一种应用于工件台多刚体结构的三自由度位移测量方法,该方法通过建立各连接结构之间的坐标位置转换关系,将坐标值层层迭代,最终得到微动台坐标系中任意一点在支撑框架坐标系中的坐标值。本方法解决了,光刻机工件台在换台结束后,激光干涉仪处于无法跟踪微动台的盲点问题,接替激光干涉仪知道微动台运动,进行归零设置。

    基于电动的液压支撑式航空发动机转子装配方法和装置

    公开(公告)号:CN106695672A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201710000494.7

    申请日:2017-01-03

    CPC classification number: B25B27/026

    Abstract: 本发明涉及一种基于电动的液压支撑式航空发动机转子装配方法和装置,所述基于电动的液压支撑式航空发动机转子装配装置构成如下:吊装架(1)、电机(2)、丝杠(4)、压板(6)、支撑液压缸(9)、支撑架(10)、精密回转台(11);所述压板(6)固定与丝杠(4)相连,蜗轮蜗杆传动机构(3)输入端与电机(2)相连,输出端与丝杠(4)相连;支撑液压缸(9)与支撑架(10)相连;精密回转台(12)位于支撑架(10)中心。所述测量装配一体化装备和方法实现航空发动机转子装配,提高装配精度,减少装配次数,提高工作效率,实现自动装配。

    基于电磁阻尼的动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置

    公开(公告)号:CN105487346A

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201610023030.3

    申请日:2016-01-14

    Inventor: 刘永猛 谭久彬

    CPC classification number: G03F7/70733 G03F7/70716

    Abstract: 基于电磁阻尼的动磁钢磁浮双工件台矢量圆弧换台方法及装置属于半导体制造装备技术,该装置包括支撑框架、平衡质量块、磁浮工件台、工件台测量装置、工件台驱动装置,两个工件台工作于测量位和曝光位之间,采用干涉仪对工件台位置进行测量,采用平面片簧和电磁阻尼器组成的被动补偿结构对平衡质量块进行运动补偿,工件台采用磁悬浮平面电机驱动,双工件台交换过程中,采用平面电机驱动两个工件台实现单节拍弧线快速换台;本发明解决了现有换台方案节拍多、轨迹长、起停环节多、稳定时间长等问题,减少换台环节,缩短了换台时间,提高了光刻机的产率。

    基于并联机构的双工件台同相位回转交换方法与装置

    公开(公告)号:CN102402133B

    公开(公告)日:2013-09-18

    申请号:CN201110377373.7

    申请日:2011-11-12

    Abstract: 基于并联机构的双工件台同相位回转交换方法与装置属于半导体制造装备技术,该装置包含两个工件台、一个回转转接台和两个并联防转机构;在双工件台回转交换过程中,回转转接台抓卡住双工件台,绕基台中心回转,实现曝光工位和预处理工位的交换,并联防转机构控制双工件台的自转,保证双工件台在换台过程中的同相位;本发明解决了现有线性换台方案冲击转矩大、换台节拍多、现有旋转换台方案双工件台相位反转、线缆缠绕以及激光干涉仪目标丢失等问题,采用较小的质量平衡系统,有利于缩短平衡时间,同时简化系统、降低成本、减少换台节拍、缩短换台时间,有效提高了光刻机产率。

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