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公开(公告)号：CN107992127B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201711095898.5
申请日：2017-10-31
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G05D23/30
摘要： 基于动态热容滤波的高精度恒温循环冷却水装置属于精密温控领域。采用基于半导体制冷片阵列的制冷模块实现制冷功能，通过电功率调节形式精确、快速调节制冷功率，采用具有翅片结构并浸没在循环水中的电加热器实现快速、精确加热功率调节，两者配合温度传感器和控制器实现循环水温度精确、快速闭环调节；在主动温度闭环反馈控制的基础上增加了动态的温度波动抑制模块，将一部分循环水截流存储于换热装置的一侧通道之中，并利用其热容对换热装置另一侧通道中的循环水进行温度波动抑制，提高冷水机供水温度稳定性，且截流的循环水可按需实时更新，具备动态特性。
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公开(公告)号：CN107700692B
公开(公告)日：2019-07-30
申请号：CN201710830078.X
申请日：2017-09-15
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 整体浮筑式抗扰动双级隔微振平台属于隔振技术领域，一级隔振器呈阵列式排列并以较低刚度支撑隔振台体，在隔振台体上方设置浮筑楼板、由建筑桩基础支撑，浮筑楼板与隔振台体不接触，被隔振仪器设备或通过配置在隔振台体上的二级隔振器支撑，被隔振仪器设备和二级隔振器均与浮筑楼板不接触，浮筑楼板采用混凝土楼板、钢结构楼板或由二者拼接构成；本发明可消除大型/超大型隔振中人员行走、实验操作以及辅助设备运行引入的系统内振源干扰，有效提高防微振实验室的隔振平台使用面积，有利于多台仪器设备协同工作和构建大型复杂实验系统。
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公开(公告)号：CN106338333B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201610667674.6
申请日：2016-08-08
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01H9/00
摘要： 基于波片偏航的高鲁棒性零差激光测振仪及四步调整法属于激光测振技术领域；采用消偏振分光镜分光形成参考臂和测量臂，在参考臂和测量臂上分别引入四分之一波片和二分之一波片，采用四步调整法调整两臂中波片的偏航角度，通过改变波片的相位延迟补偿消偏振分光镜的附加相移，使干涉部分输出的参考光和测量光为正交偏振光；本发明光路调整简单，减少了光路的非线性误差，提高了光路的鲁棒性，可满足实时测量的需求，可有效解决现有技术方案中由于偏振混叠和附加相移导致光路的波片旋转角度误差对非正交误差影响显著的问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN109211079A
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201810890252.4
申请日：2018-08-07
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 量子隧穿和球面散射场复合原理传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用量子隧穿和球面散射场复合原理传感，首先调整复合原理测头和被测件的相对距离进入工作区间，然后采用球面散射场原理得到瞄准间隙的粗测结果，据此将被测物和微测球的瞄准间隙直接调整至隧穿工作区间，然后通过三维量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号；本发明还提供了一种复合原理传感装置；本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。
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公开(公告)号：CN109186435A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201810890253.9
申请日：2018-08-07
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01B7/02
摘要： 接触/非接触复合原理纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用量子隧穿和球面散射场复合原理传感，首先采用球面散射场原理得到瞄准间隙的粗测结果，据此将被测物和微测球的瞄准间隙直接调整至隧穿工作区间，然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号；针对非导体被测物采用接触探测原理传感，微测球接触被测物后其位移由弹性传递机构传递至敏感单元并转化为传感信号；本发明还提供了一种复合原理纳米传感装置；本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，同时也可针对非导体被测物进行测量，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。
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公开(公告)号：CN108801436A
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：CN201810229477.5
申请日：2018-03-14
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01H9/00
摘要： 基于速度预估相位解调的高速激光测振仪属于激光测振技术领域；该测振仪包括干涉部分、探测部分和数据采集处理部分，数据采集处理部分由第一差分放大器、第二差分放大器和计算机组成，所采用的速度预估相位解调包括以下步骤：对原始干涉正交信号进行增益和偏置校正，计算相位序列，计算初始位移，预估速度、位移、相位整数项和相位小数项，根据实际相位小数项与预估相位小数项间的差值确定实际相位整数项和实际位移；本发明为解决高速激光测振中存在的采样频率过高、数据量过大的问题提供了一种技术解决方案，可有效提高振动测量速度，降低硬件成本和扩大测振仪应用范围。
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公开(公告)号：CN107918419A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201711047282.0
申请日：2017-10-31
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G05D23/20
摘要： 基于动态跟踪热容滤波的流体温度波动抑制装置属于精密温控技术领域，针对现有流体温度波动抑制装置无法满足动态温度控制性能需求的问题，提出了一种基于动态跟踪的流体温度波动抑制装置，流体一分为二同时流入一个热容滤波装置的两侧通路，一侧通路中的流体直接流过，同时采用温度传感器来获取流体温度设定点变化情况，并以此来控制安装在另一侧通路入口处电控阀的开闭，从而截取一部分流体存储于该通路中作为温度波动抑制的热容滤波介质并保证介质温度与流体温度设定值一致，实现热容滤波介质温度对流体温度设定值的跟随，最终实现针对动态流体温度波动的抑制，为具有动态高精度温度需求的流体温度控制系统提供了有效的技术方案。
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公开(公告)号：CN104897047B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201510341862.5
申请日：2015-06-12
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 无正交误差的双路线偏振干涉和双渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过一个四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生双路偏振方向正交、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光通过两个绕光束空间旋转角度成特定关系的渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明采用较少的光学元件实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104931125B
公开(公告)日：2016-06-29
申请号：CN201510340552.1
申请日：2015-06-12
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01H9/00
摘要： 抗偏振混叠的双路线偏振干涉和单渥拉斯特棱镜分光式零差激光测振仪属于激光干涉测量领域；干涉部分通过二分之一波片、四分之一波片和消偏振分光镜NBS产生双路偏振方向正交且为±45°、光路重合的线偏振参考光和线偏振测量光，探测部分参考光和测量光分光后经同一个渥拉斯特棱镜产生四路相位相差90°的光电信号，从而从光路结构与原理上获得抑制非线性误差的突出特性；本发明可实现四通道零差正交激光干涉测量，可有效解决现有技术方案中光路存在偏振泄露与偏振混叠，输出信号存在直流偏置误差与非正交误差，测量结果非线性误差显著等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号：CN104880290B
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201510236284.9
申请日：2015-05-08
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 磁场跟踪补偿的双磁路两端对称励磁矩形低频振动校准台属于振动计量技术领域；提出一种矩形开放磁场式磁路结构，两永磁体对称安装在中心磁轭两端且同磁极相对布置，通过磁轭构成两个对称闭合磁路，在气隙中产生高均匀度的强磁场分布，与气隙相邻的磁轭表面设有深沟槽形式的阵列式微结构，可有效抑制涡流损耗，中心磁轭上设有补偿线圈，形成补偿磁场对电枢反应的影响进行同步跟踪补偿，与静压气浮导向技术有机融合设计，同时获得突出的电磁驱动力学性能和高运动导向精度；本发明可兼顾大行程、大推力、线性电磁驱动力特性和高运动导向精度，为低频/超低频振动校准提供一种高精度、大行程的高性能低频振动校准台技术方案。
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