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公开(公告)号：CN108539004A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810375704.5
申请日：2018-04-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种亚微米约瑟夫森隧道结及其制备方法，包括如下步骤：1）提供一衬底，并于衬底的上表面形成底层超导薄膜层、绝缘薄膜层及顶层超导薄膜层；2）刻蚀去除部分顶层超导薄膜层、部分绝缘薄膜层及部分底层超导薄膜层；3）于步骤2）所得到结构的表面形成一第一绝缘层；4）于步骤3）所得到结构的表面形成第二绝缘层；5）于步骤4）所述得到结构的表面形成附加超导薄膜层，并刻蚀附加超导薄膜层以形成第二亚微米线条，第二亚微米线条至少与第一亚微米线条呈十字交叉连接。本发明可以有效解决现有技术中存在的电极窗口问题；双层绝缘层不仅改善了边缘效应、降低了台阶过渡处漏电流的产生，还有利于提高约瑟夫森结的质量及可靠性。
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公开(公告)号：CN108245152A
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201810027163.7
申请日：2018-01-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61B5/04
Abstract: 本发明提供一种心肌缺血特征参数提取方法及系统、存储介质及终端，包括以下步骤：基于多通道心磁图仪的各个通道所获取的磁场强度和通道位置，获取T波波段的等磁图和电流密度图；基于所述等磁图和所述电流密度图提取时域特征参数；对多通道心磁图仪获取的T波波段心磁信号进行离散小波变换，获取低频信号分量，对所述低频信号分量进行逆变换获取重构信号；基于所述低频信号分量和所述重构信号提取频域特征参数；基于多通道心磁图仪获取的T波波段心磁信号提取信息论特征参数。本发明的心肌缺血特征参数提取方法及系统、存储介质及终端能够提取时域心磁参数、频域参数和信息论参数，抗干扰性强，准确率高。
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公开(公告)号：CN108011033A
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201711401031.8
申请日：2017-12-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L39/24 , H01L27/18 , H01L39/04 , G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种SQUID平面梯度计芯片的封装结构及封装方法，所述封装方法包括：提供一SQUID平面梯度计芯片；于所述SQUID平面梯度计芯片的下方设置至少一层缓冲层；于所述缓冲层的下方设置一基板，并于所述基板上制作与所述SQUID平面梯度计芯片的电极电性连接的引出电极；以及于所述基板上设置一封装盖板，其中，所述SQUID平面梯度计芯片及所述缓冲层均封装于所述封装盖板内。通过本发明提供的SQUID平面梯度计芯片的封装结构及封装方法，解决了现有SQUID平面梯度计芯片封装结构的不平衡度指标较差的问题。
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公开(公告)号：CN107870262A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201711058842.2
申请日：2017-11-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R23/10 , G01R33/032 , G04R20/02
Abstract: 本发明涉及一种基于GPS授时的高精度光泵磁力仪计频装置及方法，其中，所述装置包括：依次连接的一用于提供GPS秒脉冲信号的GPS接收机、一FPGA板卡、一频率计算模块和一晶振修正模块，以及一与所述FPGA板卡连接的多路选择器以及一与所述多路选择器和所述晶振修正模块连接的用于提供时钟脉冲信号的恒温晶振。本发明可以在解除因使用GPS授时所带来的测量地点限制的同时，很方便地通过多路协同计数方法提高频率测量的精度。此外，按本方法构建的高精度计频装置实现简单、适应性强、灵活度高、电磁兼容好，非常适合于光泵磁力仪等以频率输出测试结果的传感器。
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公开(公告)号：CN104992905B
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201510307155.4
申请日：2015-06-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/306
Abstract: 本发明提供一种氮化硼衬底表面台阶刻蚀方法，包括如下步骤：S1：提供一六角氮化硼衬底；S2：在所述六角氮化硼衬底表面形成掩膜层，并在所述掩膜层中形成暴露出所述六角氮化硼衬底表面的预设刻蚀图形；S3：在所述掩膜层表面及所述预设刻蚀图形内沉积金属层；S4：剥离所述掩膜层及其表面的金属层；S5：对所述六角氮化硼衬底进行退火，然后去除所述预设刻蚀图形内的金属层，在所述六角氮化硼衬底表面得到单层氮化硼原子厚度的台阶。本发明不仅可以控制六角氮化硼图形化的形状，大小，还可以选择刻蚀区域，同时可以通过反复刻蚀，控制刻蚀台阶的高度，解决了基于六角氮化硼薄膜器件的图形化加工难题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104345195B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201310347111.5
申请日：2013-08-09
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R15/00
Abstract: 本发明提供一种可复位的增量磁场消除装置，其至少包括依次相连的磁传感器、放大调理电路、零点可重置的积分电路、驱动电路及反馈线圈，其中，所述磁传感器放置在所述反馈线圈产生均匀磁场的中心局域；所述反馈线圈在其中心区域产生磁场的方向与所述磁传感器检测到的磁场的方向相同；所述零点可重置的积分电路采用外部的控制输入信号来控制其复位和启动。本发明的可复位的增量磁场消除装置避免在复位后积分器重新为0建立平衡的时间，从而快速实现环境磁场的稳定，其可配合需要复位的SQUID微弱磁信号检测系统同时工作，实现SQUID探测器运行环境磁磁场的平稳，确保SQUID传感器以最大灵敏度测量，且不造成溢出。
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公开(公告)号：CN104422903B
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201310374497.9
申请日：2013-08-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种用于采用超导量子干涉器件的传感器的调试系统及方法，至少包括：与所述读出电路和超导量子干涉器件连接的数字电压转换器，用于将外接的电源分别转换成超导量子干涉器件的偏置电压和读出电路的偏移电压；与所述读出电路的测试信号输入端、输出端及数字电压转换器相连的调控装置，用于基于所述测试信号输入端所输入的信号的周期，检测所述输出端所输出的具有所述周期的感应信号，并从中确定所述周期内的电压峰峰值和直流偏移电压，基于相邻检测的两个所述电压峰峰值的比较结果来逐步调整所述数字电压转换器所输出的偏置电压，并控制所述数字电压转换器将所输出的偏移电压调整为抵消所确定的偏移电压，实现超导量子干涉器及其读出电路工作参数的自动调试设置。
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公开(公告)号：CN104569868B
公开(公告)日：2017-06-27
申请号：CN201510073470.5
申请日：2015-02-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/035
Abstract: 本发明提供一种超导量子干涉装置，包括：探测模块；加载第二偏置电流的工作电压产生模块，在第二偏置电流流经所述工作电压产生模块时产生一与预定工作电压相等的直流电压；运算放大模块，在探测模块工作在预定工作电压下时，输出端的输出电压为零；探测模块在感应到被测磁通信号时，运算放大模块的正输入端和负输入端之间会产生一电压差；正反馈模块，在探测模块感应到被测磁通信号时，响应电压差以形成磁通正反馈；负反馈模块，用于抵消探测模块感应到的被测磁通信号，使得在所述运算放大模块的正输入端和负输入端之间产生的电压差消失。本发明提升SQUID器件磁通电压传输特性，实现放大器前放噪声抑制，提高抗干扰能力，实现传感器电路引线最小化。
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公开(公告)号：CN106517171A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201510573962.0
申请日：2015-09-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C01B32/194
Abstract: 本发明提供一种石墨烯气凝胶的制备方法，包括以下步骤：S1：在溶剂中加入石墨烯及胺基聚合物，并分散，得到石墨烯分散液；S2：冷冻干燥所述石墨烯分散液，得到石墨烯气凝胶。本发明的石墨烯气凝胶制备方法以含胺基的聚合物作为石墨烯分散剂和结构交联剂，首先利用聚合物中的胺基与石墨烯之间的强相互作用分散溶剂中的石墨烯片层，然后直接冷冻干燥石墨烯分散液，其中，聚合物中的胺基在干燥后交联石墨烯片层形成结构骨架，从而制备得到具有多孔结构的弹性石墨烯气凝胶。本发明直接从石墨烯粉体出发制备石墨烯气凝胶，工艺条件温和、步骤简单，可规模化生产大尺寸石墨烯气凝胶块体，所得气凝胶有很好的吸附特性和压阻性能。
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公开(公告)号：CN106343999A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610882918.2
申请日：2016-10-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
CPC classification number: A61B5/04007 , A61B5/7203 , A61B5/7225 , A61B5/7235 , A61B5/7257
Abstract: 本发明提供一种心磁图仪、基于其的补偿优化方法、系统及服务器，所述补偿优化方法包括以下步骤：通过预设补偿方式利用所述补偿层上的补偿磁强计产生的第一磁场信号补偿所述超导量子干涉器件阵列层上每一磁强计产生的第二磁场信号，以形成补偿后的第三磁场信号；计算补偿后的第三磁场信号的评估参数，并根据所述评估参数综合评估所述第三磁场信号，以优化所述补偿层，在其上确定最佳补偿通道。本发明有效抑制了屏蔽室环境中的剩余磁场，使36个SQUID信号整列输出高信噪比、高保真度的心磁信号。
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