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公开(公告)号：CN105758799B
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201510867963.6
申请日：2015-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/01
Abstract: 一种超分辨阵列虚拟结构光照明成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明为了解决现有技术中的显微成像技术只能测量较薄的生物样品，测量效率低的问题。本发明包括LED光源1，沿LED光源1光线传播方向依次放置准直扩束器2、扫描系统3、微透镜阵列4、准直透镜5、分光棱镜7、1/4波片9、照明物镜10、样品11、收集透镜6、CCD探测器8；每次扫描得到的探测光斑直接在像面进行叠加得到最初的探测数据，每个方向进行不同相位照明的扫描，经过图像重构得到超分辨图像。本发明拓宽空间频域带宽，适用于工业形貌及厚生物样品成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN109443249A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811485069.2
申请日：2018-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 基于透射光栅的高精度滚转角测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术；本发明采用一维平面透射光栅作为敏感器件，实现了敏感器件的滚转角变化量测量；本发明解决了现有方法与装置中的测量精度低、工作距离短等不足，利用双衍射光束进行差动测量，消除了由光源光束角度漂移引入的测量误差；待测光束与光轴平行，极大地增大了测量装置的工作距离，同时使探测结构更挤紧凑；激光光束两次经过透射光栅作用，使系统测量分辨力提高了一倍；该测量系统消除了偏摆角和俯仰角对旋转角测量的影响；更换不同线对的光栅可满足不同测量精度的要求。
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公开(公告)号：CN106052549B
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201610643663.4
申请日：2016-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域，具体涉及一种组合调零高动态精度大工作距自准直装置与方法；该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成；该方法通过调整反射镜，使反射光束回到反馈成像系统像面中心，再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化；由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜，因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题，进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围，或在相同工作范围下增加工作距离的优势；此外，准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计，使本发明还具有结构简单、制作成本低；同时能够全程监测被测物装配过程；以及快速测量的技术优势。
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公开(公告)号：CN106323197B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201610638787.3
申请日：2016-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域和光学工程领域，具体涉及便携式阵列调零高精度激光大工作距自准直装置与方法；该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成；该方法通过调整反射镜，使反射光束回到反馈成像系统像面中心，再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化；由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜，因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题，进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围，或在相同工作范围下增加工作距离的优势；此外，准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计，使本发明还具有小型便携、测量精度高；同时还能监测测量环境稳定性；以及快速测量的技术优势。
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公开(公告)号：CN106248195B
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201610667672.7
申请日：2016-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 附加相移补偿的高鲁棒性零差激光测振仪及四步调整法属于激光测振技术领域；采用消偏振分光镜分光形成参考臂和测量臂，在参考臂和测量臂上分别引入四分之一波片和二分之一波片，采用四步调整法调整两臂中波片的偏航角度，通过改变波片的相位延迟补偿消偏振分光镜的附加相移，使干涉部分输出的参考光和测量光为正交偏振光；本发明光路调整简单，减少了光路的非线性误差，提高了光路的鲁棒性，可满足实时测量的需求，可有效解决现有技术方案中由于偏振混叠和附加相移导致光路的波片旋转角度误差对非正交误差影响显著的问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105486638B
公开(公告)日：2019-02-05
申请号：CN201510867976.3
申请日：2015-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/01
Abstract: 一种超分辨阵列扫描结构光照明成像装置及其成像方法，它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明为了解决现有技术中的显微成像技术只能测量较薄的生物样品，平行光入射的衍射光受散射效应影响明显，测量效率低的问题。本发明包括LED光源，沿LED光源光线传播方向依次放置光强调制器，准直扩束器，扫描系统，微透镜阵列，准直透镜，分光棱镜，1/4波片，照明物镜，样品，收集透镜，CCD光强探测器以及数据采集卡；每次扫描得到的探测光斑直接在像面进行叠加得到最初的探测数据，每个方向进行三次不同相位照明的扫描，经过图像重构得到超分辨图像。本发明拓宽空间频域带宽，适用于工业形貌及厚生物样品成像的测量领域。
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公开(公告)号：CN106247992B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201610639007.7
申请日：2016-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域，具体涉及一种高精度、宽范围和大工作距自准直装置与方法；该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成；该方法通过调整反射镜，使反射光束回到反馈成像系统像面中心，再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化；由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜，因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题，进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围，或在相同工作范围下增加工作距离的优势；此外，准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计，使本发明还具有结构简单、制作成本低；尤其低采样频率下具有高测量精度；以及快速测量的技术优势。
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公开(公告)号：CN106225730B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201610638880.4
申请日：2016-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域和光学工程领域，具体涉及便携式组合调零高精度激光大工作距自准直装置与方法；该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成；该方法通过调整反射镜，使反射光束回到反馈成像系统像面中心，再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化；由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜，因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题，进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围，或在相同工作范围下增加工作距离的优势；此外，准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计，使本发明还具有小型便携、测量精度高；同时还能监测测量环境稳定性；以及快速测量的技术优势。
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公开(公告)号：CN106017363B
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201610639131.3
申请日：2016-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域，具体涉及一种高动态精度大工作距自准直装置与方法；该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成；该方法通过调整反射镜，使反射光束回到反馈成像系统像面中心，再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化；由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜，因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题，进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围，或在相同自准直工作范围下增加工作距离的技术优势；此外，准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计，使本发明还具有结构简单、制作成本低；同时能够全程监测被测物装配过程；以及快速测量的技术优势。
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公开(公告)号：CN109270805A
公开(公告)日：2019-01-25
申请号：CN201811358472.9
申请日：2018-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70358 , G03F7/70725
Abstract: 本发明公开一种无线缆式双向扫描装置；通过串行线圈驱动阵列磁钢模块进行往复直线运动，消除了现有技术中线缆力对运动及定位精度的影响，同时通过设置相应气浮结构对直线运动进行支承和导向，并最终通过结合反馈控制，达到双向扫描的目的。本发明可建立一种高速、高频、高精度的双向扫描装置。
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