公开(公告)号：CN100337905C

公开(公告)日：2007-09-19

申请号：CN200510052815.5

申请日：2005-02-28

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 津野武志 ,  后藤崇之 ,  田原谕 ,  木之内雅人 ,  浅野伸 ,  长谷川修 ,  山田高幸 ,  高桥睦也

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B29C65/002 ,  B29C64/35 ,  B29C65/006 ,  B29C65/7817 ,  B29C66/0222 ,  B29C66/028 ,  B29C66/73161 ,  B29C66/7352 ,  B29C66/9672 ,  B29K2995/0072 ,  Y10T74/20354

Abstract: 一种微结构制造系统，包括具有预定定位精度和大行程长度的粗动工作台，设置在粗动工作台上并具有比粗动工作台更高定位精度和小行程长度的微动工作台等，它们结合在一起构成设置在真空容器内的工作台装置；用于测量到设置在微动工作台上的镜子的距离的激光长度测量机，用于利用激光长度测量机的测量结果驱动微动工作台的工作台控制装置等，它们结合在一起构成工作台控制单元；以及用于保持与由工作台装置保持的被压接元件相对设置的压接目标元件并且压接和分离这些元件的压杆(44)，用于向压杆(44)施加压接力的压接驱动机构等，它们结合在一起构成压接机构单元。

公开(公告)号：CN1680188A

公开(公告)日：2005-10-12

申请号：CN200510052815.5

申请日：2005-02-28

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 津野武志 ,  后藤崇之 ,  田原谕 ,  木之内雅人 ,  浅野伸 ,  长谷川修 ,  山田高幸 ,  高桥睦也

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B29C65/002 ,  B29C64/35 ,  B29C65/006 ,  B29C65/7817 ,  B29C66/0222 ,  B29C66/028 ,  B29C66/73161 ,  B29C66/7352 ,  B29C66/9672 ,  B29K2995/0072 ,  Y10T74/20354

Abstract: 一种微结构制造系统，包括具有预定定位精度和大行程长度的粗动工作台，设置在粗动工作台上并具有比粗动工作台更高定位精度和小行程长度的微动工作台等，它们结合在一起构成设置在真空容器内的工作台装置；用于测量到设置在微动工作台上的镜子的距离的激光长度测量机，用于利用激光长度测量机的测量结果驱动微动工作台的工作台控制装置等，它们结合在一起构成工作台控制单元；以及用于保持与由工作台装置保持的被压接元件相对设置的压接目标元件并且压接和分离这些元件的压杆(44)，用于向压杆(44)施加压接力的压接驱动机构等，它们结合在一起构成压接机构单元。

公开(公告)号：CN1294042A

公开(公告)日：2001-05-09

申请号：CN99123377.8

申请日：1999-10-26

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 田原谕 ,  安仓宏 ,  金井康弘

IPC: B24B55/06

CPC classification number: B23Q11/0046 ,  B24B55/06 ,  B24B55/102

Abstract: 本发明公布了一种磨屑收集器。除了包括一个磨削点的磨削部位以外,磨轮的外圆周表面和侧表面均被一个盖盖住。在该磨轮回转方向上的磨削点后面,放置着一块灰尘收集板。向后散落的磨屑与该灰尘收集板碰撞,并被铲起来,送往一个吸入口。该吸入口吸入磨屑,将磨屑吸至一个真空吸尘器中。在该磨轮周围散落的磨屑与该盖碰撞,落入在该盖下面作出的一个开口中,并通过该吸入口被吸走。这样,可以有效地收集磨屑。