公开(公告)号：CN102955235B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201110241794.7

申请日：2011-08-22

申请人： 上海微电子装备有限公司

发明人： 郭银章 ,  黄玲

IPC分类号： G02B17/08 ,  G02B17/00 ,  G02B13/18 ,  G02B13/22 ,  G02B1/00 ,  G03F7/20

摘要： 本发明一种大视场折反射投影光学系统，沿光线传播方向依次经过第一光学镜片，第一透镜，第一反射镜，第二透镜，第三透镜；其中，所述第一光学镜片包含一透射部，及一反射部，且所述各光学元件在同一光轴上。本发明提出的一种i线一倍投影光学系统，能校正大视场范围内畸变、场曲、像散，并实现物像空间的双远心。在实现了NA0.1的数值孔径设计，满足实际的产品需求的同时，具有大的曝光视场，而且镜片数量减少到5片。

公开(公告)号：CN205827053U

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201620684517.1

申请日：2016-06-30

申请人： 上海微电子装备有限公司

发明人： 宋珊珊 ,  郭银章

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 本实用新型公开了一种具有球差校正功能的装置，设置在光刻物镜中，所述具有球差校正功能的装置包括平板透镜和温度调整机构，所述平板透镜设置在所述温度调整机构中；本实用新型所述具有球差校正功能的装置，通过控制温度来调整光线经过所述平板透镜的光程来补偿球差，结构简单、容易控制，且生产成本低；本实用新型还公开了一种光学系统，包括双远心光刻物镜以及一组分别设置在所述双远心光刻物镜物方首位和像方末位的上述具有球差校正功能的装置；本实用新型所述光学系统具有球差校正功能，提高了分辨率。