基于石墨烯侧边抛磨FBG的气体传感系统及方法

    公开(公告)号:CN119198641A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202411409268.0

    申请日:2024-10-10

    Abstract: 本申请涉及一种石墨烯侧边抛磨FBG的气体传感系统及方法。所述系统包括:放大自发辐射光源、偏振控制器、光纤耦合器、光谱分析仪、实时解调系统和至少一个石墨烯侧边抛磨FBG;石墨烯侧边抛磨FBG包括单层石墨烯和经过抛磨装置进行抛磨得到的侧边抛磨FBG,单层石墨烯用于调谐侧边抛磨FBG的中心波长;放大自发辐射光源用于产生依次通入偏振控制器、光纤耦合器和至少一个石墨烯侧边抛磨FBG中的多路宽谱光;偏振控制器用于调谐宽谱光的偏振态以调谐石墨烯侧边抛磨FBG的损耗;光谱分析仪用于接收石墨烯侧边抛磨FBG透射出的宽谱光并分析得到分析结果;实时解调系统用于基于分析结果获取多种待测气体浓度。采用本方法能够实现对多种气体的高效精确检测。

    MEMS电容式压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN119197864A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202411409458.2

    申请日:2024-10-10

    Abstract: 本申请涉及一种MEMS电容式压力传感器及其制备方法,涉及微电子技术领域;压力传感器包括导电衬底;沿导电衬底所在平面方向上,压力传感器包括空腔区和环绕空腔区的边缘区;第一电极层,形成于导电衬底的表面,位于空腔区;第一电极层包括多个绝缘设置的环形第一电极;压力应变膜片,位于第一电极层远离导电衬底的一侧;第二电极层,形成于压力应变膜片朝向第一电极层的一侧,位于空腔区;第二电极层包括多个绝缘设置的环形第二电极;绝缘层,形成于导电衬底和压力应变膜片之间,位于边缘区;沿导电衬底所在平面中的中心点指向边缘区的方向上,第一电极和第二电极交替且间隔设置;有利于避免压力传感器使用时第一电极和第二电极误接触的问题。

    电压传感器、电压测量方法及系统

    公开(公告)号:CN119165226A

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202411330494.X

    申请日:2024-09-24

    Abstract: 本申请涉及一种电压传感器、电压测量方法及系统,电压传感器包括:控制组件;场强测量芯片,用于测量被测导线的电场强度;驱动组件,用于在控制组件的控制下,驱动场强测量芯片沿预设方向做周期性直线运动;控制组件用于获取被测导线的对地高度,并根据获取的对地高度、至少两组测量数据和当前校准参数确定被测导线的电压;其中,每组测量数据包括电场强度和电场强度对应的位置信息,至少两组测量数据的位置信息不同;当前校准参数包括被测导线到预设直线的距离和被测导线在预设直线上的投影点位置,预设直线为场强测量芯片沿预设方向做周期性直线运动的轨迹直线。本申请的电压传感器体积小,且测量准确度高。

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