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公开(公告)号:CN101935008A
公开(公告)日:2011-01-05
申请号:CN201010241824.X
申请日:2010-07-30
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要: 本发明涉及一种利用功能化碳纳米管为敏感材料的微悬臂梁传感器的制造方法,属于微纳传感器领域。特征在于采用多壁碳纳米管为传感器制造原料,经过强酸预处理,使多壁碳纳米管表面形成可功能化修饰的反应活性点。然后依据分子自组装技术,将多壁碳纳米管固定到MEMS传感器的金表面上。最后根据目标检测气体的化学性质(例如氨气和羧基之间以及甲醛和胺基之间都存在着一定的氢键作用等),通过分子设计,将固定在MEMS传感器金表面的碳纳米管再次进行功能化基团修饰,使其可用于对特定目标气体的检测。
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公开(公告)号:CN115552216A
公开(公告)日:2022-12-30
申请号:CN202180035092.5
申请日:2021-03-26
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: G01N5/04
摘要: 一种原位实时程序升温分析方法,包括:将待测样品滴加在至少一个测试传感器(1)的样品涂覆区;将测试传感器(1)在第一预设温度范围内进行程序升温以获得基线;基线为通过记录测试传感器(1)在程序升温过程中的谐振频率变化数据得到;将测试传感器(1)在第二预设温度范围内进行程序升温以获得测量曲线;测量曲线为通过记录测试传感器(1)在程序升温过程中的谐振频率变化数据得到;根据基线和测量曲线得到程序升温分析曲线。采用自身集成有加热和数据采集功能的测试传感器(1)对待测样品进行程序升温分析,减少了检测结果的滞后性,且精确度高、反应灵敏,简化了程序升温分析方法,实现对样品的精确定量化分析。
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公开(公告)号:CN113125552A
公开(公告)日:2021-07-16
申请号:CN202010027371.4
申请日:2020-01-10
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: G01N29/02 , G01N29/036 , G01N5/00
摘要: 本发明公开了一种测定固液界面上动力学及热力学参数的方法,根据多种不同待测浓度配体溶液各自对应的频率‑时间曲线图和两种不同温度下另一待测浓度的配体溶液的频率‑时间曲线图,通过分析微悬臂梁传感器输出频率‑时间曲线并计算,得到固液界面上核酸适配体与其配体的动力学及热力学参数(结合/解离平衡常数KA/KD,吉布斯自由能△G°,表面覆盖度θ,结合/解离速率常数ka/kd,反应活化能Ea)。本方法克服了传统方法仪器昂贵,操作繁琐,参数测定单一等缺点,具有灵敏度高,成本低,操作简单快捷,无需标记与校正,可有效避免系统误差,一次性测定相关参数等优势,适用于多种核酸适配体与其配体的动力学与热力学参数的测定。
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公开(公告)号:CN109682711B
公开(公告)日:2021-03-23
申请号:CN201910067922.7
申请日:2019-01-24
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要: 本发明提供一种用于TEM构效关联直接原位表征的芯片及其制作方法,芯片包括主芯片及辅芯片,其中,主芯片包括:具有观测孔的悬臂梁、主芯片凹槽、主芯片窗口及气孔;辅芯片包括:辅芯片窗口;通过悬臂梁的谐振用以检测位于悬臂梁上的待测样品的质量变化;通过将主芯片及辅芯片相对设置,并分别固定于TEM样品杆上,以在主芯片、辅芯片及TEM样品杆之间形成闭合空间,并通过辅芯片窗口、观测孔及主芯片窗口观测位于悬臂梁上的待测样品的形貌变化。本发明可以在TEM内实现对同一待测样品的形貌变化观测及质量变化检测,以进行直接、原位、实时表征,可广泛应用于纳米材料在气固反应过程中的TEM原位表征。
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公开(公告)号:CN104771857B
公开(公告)日:2018-07-20
申请号:CN201410014641.2
申请日:2014-01-13
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: A62D3/30 , A62D101/26
摘要: 本发明涉及一种介孔氧化硅纳米材料的新用途,即将介孔氧化硅纳米材料应用于有机磷农药的吸附降解;介孔氧化硅纳米材料依靠介孔氧化硅材料表面的硅羟基(Si‑OH)基团与有机磷农药分子中P=O(或P=S)基团的特异性作用,将有机磷农药分子吸附至介孔氧化硅材料表面;随后在Si‑OH基团的作用下,使吸附的有机磷分子发生降解,生成低毒甚至无毒的产物。将介孔氧化硅纳米材料应用于有机磷农药的吸附降解,该用途先进、具有现实的应用意义,且材料制备简单成熟、易于操作、价格低廉。
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公开(公告)号:CN105004626B
公开(公告)日:2018-05-25
申请号:CN201510434139.1
申请日:2015-07-22
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: G01N5/02
摘要: 本发明涉及一种高灵敏度的氨类气体传感器,以谐振式微悬臂梁为质量型敏感检测平台,以高羧基含量(重量百分比为20%以上)的介孔纳米颗粒材料为敏感材料,依靠酸性基团与具有碱性的氨类气体之间存在的酸碱特异性吸附作用,获得灵敏度为ppb量级的氨类气体传感器。本发明采用共缩聚方法和后嫁接方法相结合制得高羧基含量的氨类气体敏感材料,其具有高羧基含量、高比表面积、短介孔孔道等优点,克服了传统的SBA‑15型介孔粉末类氨气敏感材料存在的羧基含量少、比表面积小以及介孔孔道过长,使得氨类气体分子难以扩散至介孔孔道内部等缺点。本发明实施方案先进,可用于氨气、三甲胺以及甲胺磷等分子的高灵敏度检测,具有现实的应用意义。
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公开(公告)号:CN105891041A
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201610216567.1
申请日:2016-04-08
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: G01N5/02
CPC分类号: G01N5/02
摘要: 本发明提供一种CO2传感材料性能的测试方法,为使用谐振式微悬臂梁作为质量型测试元件,将CO2传感材料负载于谐振式微悬臂梁的敏感区域,在一定温度下通入CO2气体,获得谐振式微悬臂梁的频率随谐振式微悬臂梁上吸附CO2气体量变化的实时测试曲线,然后进一步计算所述CO2传感材料的动力学参数,并由得到的动力学参数对所述CO2传感材料进行特性评估。该方法先进、具有现实的应用意义,且易于操作、价格低廉,能够克服传统的反复试验方法存在工作量大、缺乏定量比较依据、测试价格高、材料用量多、测试气体的品种单一等缺点,可用于吸附型CO2传感材料的设计、评估与优化等。
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公开(公告)号:CN105067471A
公开(公告)日:2015-11-18
申请号:CN201510443118.6
申请日:2015-07-24
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: G01N5/00
摘要: 本发明提供一种微悬臂谐振结构传感器的制造方法,包括如下步骤:提供一衬底,所述衬底中形成有微悬臂结构;所述微悬臂结构的微悬臂梁表面形成有亲水层;在所述微悬臂梁的敏感区域表面形成一保护层;在所述衬底表面形成疏水分子层;去除所述保护层,露出其下的亲水层;在去除所述保护层的过程中,所述保护层表面的疏水分子层也被去除,其余部分的疏水分子层不受影响;在所述衬底表面涂覆敏感材料,由于所述疏水分子层的存在,所述敏感材料集中于所述敏感区域。本发明通过疏水或双疏的分子层将器件表面封闭,仅悬臂谐振结构敏感区域露出下方的亲水表面,从而使敏感材料固定在悬臂谐振结构的该区域上,使敏感材料的固定实现批量化。
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公开(公告)号:CN105004626A
公开(公告)日:2015-10-28
申请号:CN201510434139.1
申请日:2015-07-22
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC分类号: G01N5/02
摘要: 本发明涉及一种高灵敏度的氨类气体传感器,以谐振式微悬臂梁为质量型敏感检测平台,以高羧基含量(重量百分比为20%以上)的介孔纳米颗粒材料为敏感材料,依靠酸性基团与具有碱性的氨类气体之间存在的酸碱特异性吸附作用,获得灵敏度为ppb量级的氨类气体传感器。本发明采用共缩聚方法和后嫁接方法相结合制得高羧基含量的氨类气体敏感材料,其具有高羧基含量、高比表面积、短介孔孔道等优点,克服了传统的SBA-15型介孔粉末类氨气敏感材料存在的羧基含量少、比表面积小以及介孔孔道过长,使得氨类气体分子难以扩散至介孔孔道内部等缺点。本发明实施方案先进,可用于氨气、三甲胺以及甲胺磷等分子的高灵敏度检测,具有现实的应用意义。
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公开(公告)号:CN103626193A
公开(公告)日:2014-03-12
申请号:CN201210306247.7
申请日:2012-08-24
申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要: 本发明涉及一种具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的制造方法,属于纳米功能材料制造领域。本发明的特征是采用三羟基硅基乙酸钠水溶液(简称为CES,25wt%)为制造具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的关键原材料,以表面活性剂CTAB(十六烷基三甲基溴化铵)为模板剂,碱性环境下与TEOS(正硅酸乙脂)在适当的反应条件下反应,即制得具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒。
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