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公开(公告)号：CN103364417B
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201210096036.5
申请日：2012-04-01
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 探测装置的结构。一种太赫兹波探测装置，包括：放置待检测样品的样品台，置于第一离轴椭圆面镜和第二离轴椭圆面镜的公共焦点；太赫兹波辐射源，置于所述第一离轴椭圆面镜的另一个焦点上，用于发出太赫兹波；第一离轴椭圆面镜，用于将入射的太赫兹波聚焦到样品台；第二离轴椭圆面镜，所在椭圆的其中一个焦点与第一离轴椭圆面镜所在椭圆的另一个焦点重合，用于将所述聚焦的太赫兹波反射后汇聚到第二离轴椭圆面镜所在椭圆的另一个焦点。上述太赫兹波探测装置，利用从一个椭圆焦点发出的太赫兹波经椭圆面镜发射后汇聚在另一个椭圆焦点的原理，用两个椭圆(56)对比文件Maxim A.Khazan.TIME-DOMAIN TERAHERTZSPECTROSCOPY AND ITS APPLICATION TO THESTUDY OF HIGH-Tc SUPERCONDUCTOR THINFILMS《.德国汉堡大学博士学位论文》.2002,第47页倒数第2段，第50页倒数第1段，第52页倒数第1段，第56页第1-3段，第78页倒数第2段，第85页第1段，图V.1.3.2，图V.2.1，图VI.2.1(c).Maxim A.Khazan.TIME-DOMAIN TERAHERTZSPECTROSCOPY AND ITS APPLICATION TO THESTUDY OF HIGH-Tc SUPERCONDUCTOR THINFILMS《.德国汉堡大学博士学位论文》.2002,第47页倒数第2段，第50页倒数第1段，第52页倒数第1段，第56页第1-3段，第78页倒数第2段，第85页第1段，图V.1.3.2，图V.2.1，图VI.2.1(c).张存林 等.太赫兹波谱与成像《.激光与光电子学进展》.2010,(第2期),第023001-1-023001-14页.刘文权 等.快速扫描太赫兹时域光谱系统的研究进展《.激光与光电子学进展》.2011,(第12期),第123001-1-2013001-7页.
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公开(公告)号：CN111323380B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201811542110.5
申请日：2018-12-17
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明公开了一种分光光度计检测系统及其检测方法。检测系统包括：光源装置，用于提供入射光束；样品容纳装置，包括多个用于容纳待测样品的容置腔；光束扫描装置，用于将入射光束反射穿过所述容置腔；光谱探测装置，用于接收穿过所述容置腔的光束，并获取穿过所述容置腔的光束的光谱。本发明公开的分光光度计检测系统在单个光源单个光谱模块的条件下实现多个样品的快速分光光度测量，消除光源强度和输出光谱波动对分光光度计的影响，提高系统探测精度，另外可以使结构更加紧凑便于集成，同时降低了成本。
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公开(公告)号：CN111323380A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201811542110.5
申请日：2018-12-17
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本发明公开了一种分光光度计检测系统及其检测方法。检测系统包括：光源装置，用于提供入射光束；样品容纳装置，包括多个用于容纳待测样品的容置腔；光束扫描装置，用于将入射光束反射穿过所述容置腔；光谱探测装置，用于接收穿过所述容置腔的光束，并获取穿过所述容置腔的光束的光谱。本发明公开的分光光度计检测系统在单个光源单个光谱模块的条件下实现多个样品的快速分光光度测量，消除光源强度和输出光谱波动对分光光度计的影响，提高系统探测精度，另外可以使结构更加紧凑便于集成，同时降低了成本。
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公开(公告)号：CN111323059A
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201811543325.9
申请日：2018-12-17
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
IPC分类号： G01D5/353
摘要： 本发明提供了一种基于光纤布拉格光栅法布里-泊罗腔的传感装置，包括光源单元、光纤环形器、光纤传感单元和光谱检测单元，所述光源单元、光纤传感单元和光谱检测单元分别连接至所述光纤环形器，所述光源单元包括主动锁模激光器，所述光纤传感单元为光纤布拉格光栅法布里-泊罗腔，所述主动锁模激光器的等效光程为n1L1，所述光纤布拉格光栅法布里-泊罗腔的等效光程差为2n2L2；其中， i为正整数，本发明可以有效地补偿光纤布拉格光栅法布里-泊罗腔中的相干光的光程差，获得更大自由光谱范围的干涉条纹，实现了更高的灵敏度，从而提高了传感测量的精度。
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公开(公告)号：CN106643841A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201611265269.8
申请日：2016-12-30
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
IPC分类号： G01D5/353
CPC分类号： G01D5/353
摘要： 本发明提供了一种弱反FBG‑FIZEAU传感装置，包括用于将多个不同波长的扫描激光进行反射的传感端和对传感端反射的光信号进行解调从而得到测量结果的解调端；所述传感端包括光环形器和保偏光纤，每段保偏光纤内设有与扫描激光波长数量相等的弱反FBG‑FIZEAU光纤谐振腔，每段保偏光纤对应设有一个串接的光环形器；所述解调端包括多波长扫描激光器、偏振控制器、线偏器、光开关、波分复用器、光电探测器、信号分析模块。与现有技术相比，通过测量传感信号的条纹对比度实现高精度的解调，对波长扫描激光器的性能要求不高，而且免去了参考传感器，系统简单成本低。
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公开(公告)号：CN205942057U
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201620726885.8
申请日：2016-07-08
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本实用新型公开了一种光学镜头，其从物方到像方顺序地包括：第一透镜，具有正屈光力；第二透镜，具有正屈光力；第三透镜，具有负屈光力；第四透镜，具有正屈光力。本实用新型还提供了一种具有该光学镜头的激光对中测量设备。本实用新型的光学镜头具有足够小的慧差，并且其垂轴像差与入射光瞳的直径成线性关系，从而减小了垂轴像差对测量精度的影响，提高了激光对中测量设备的测量效率和准确率。
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公开(公告)号：CN207727139U
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201721780875.3
申请日：2017-12-19
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜用加热装置，包括固定设置的加热盘、相对于所述加热盘转动的支架及容置于所述支架内随所述支架转动的样品夹具，所述支架包括上下依次间隔设置且相对固定的第一支板和第二支板，所述加热盘设于所述第一支板和所述第二支板之间，所述第二支板上与加热盘相对的部位设有用于容置所述样品夹具的第一卡孔，所述样品夹具包括与所述加热盘相对的吸热层、设于所述吸热层下方的托盘、及设于所述吸热层与所述托盘之间的导热层，所述托盘用于承托样品并使样品背离所述导热层的表面暴露于所述托盘下表面以进行溅射镀膜。本实用新型提供了一种磁控溅射镀膜用加热装置，以对磁控溅射装置中样品基片进行高效均匀加热。
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公开(公告)号：CN207623414U
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201721792688.7
申请日：2017-12-20
申请人： 中国科学院深圳先进技术研究院
摘要： 本实用新型公开了一种精确进针的四探针测试仪，通过其进针监控系统中的显微镜对进针进行监控，从而实现精确进针，可避免探针扎破薄膜型的待测样品而发生误测，所述四探针测试仪可通过其真空系统为待测样品提供高真空环境，而且其配置的温控系统能在稳定且连续的温度变化下，对待测样品进行加热，从而能精确且便捷地测出待测样品的在温度变化下的方阻、电阻率和电阻温度系数等电学性能参数。
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