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公开(公告)号：CN118254491A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410330101.9
申请日：2024-03-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于电流体喷印相关技术领域，其公开了一种高剖面绝缘基板单电极高分辨率电流体喷印方法、高分辨率功能图案及其应用，方法包括：S1：对绝缘基板进行清洗，而后置于氧等离子体刻蚀机内进行表面羟基化；S2：在羟基化后的绝缘基板表面制备金属氧化物纳米层；S3：采用电流体喷印技术在表面覆有金属氧化物纳米层的绝缘基板表面打印获得高分辨率功能图案。本申请可解决在高绝缘性、非平面基板上电流体射流不稳定的难题，实现在平面或曲面绝缘基底上进行功能性图案的喷印制备。
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公开(公告)号：CN114905855B
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202210601841.2
申请日：2022-05-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于微结构制备领域，并具体公开了一种微圆周曲面共形敏感结构及其制备方法和装置，其如下步骤：S1、在微圆周曲面上制备一层疏水层，然后对微圆周表面进行图案化照射，得到可限制液滴滑移的图案化亲水区域，使待沉积区域亲水，非沉积区域疏水；S2、采用电流体喷印工艺在微圆周表面喷印液滴，液滴沉积到图案化亲水区域内；S3、对图案化亲水区域内沉积的液滴立即进行加热处理，使液滴中的溶剂蒸发，完成微圆周曲面共形敏感结构制备。本发明整合了精准定位限域加工位置、高精度高分辨率电喷印和快速烧结固化后处理的技术，实现在微圆周等高曲率表面上对传感器等共形敏感结构的制备。
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公开(公告)号：CN114734063B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202210426056.8
申请日：2022-04-21
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性/曲面电子微纳制造相关技术领域，其公开了一种等离子体包轴输运与同步烧结的打印装置及方法，该打印装置包括墨水模块、等离子体射流模块、隔绝鞘气模块、该等离子体射流模块及该隔绝鞘气模块分别连接于该墨水模块；该墨水模块用于将打印用的液态金属墨水输送到喷嘴中，该等离子体射流模块用于放电产生等离子体射流，该隔绝鞘气模块用于产生隔离液态金属墨水和等离子体射流的鞘气气流；该墨水模块、该等离子体射流模块及该隔绝鞘气模块相互配合以实现等离子体射流自身局域动态强电场诱导电流体生成泰勒锥。本发明解决了复杂型面绝缘基板液态金属电路的打印成形难题，为柔性/曲面电子器件的高效共形喷印制造提供了技术支撑。
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公开(公告)号：CN115257185A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210643046.X
申请日：2022-06-08
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于喷墨打印相关技术领域，其公开了一种高黏度溶液电喷雾喷头装置，该喷头装置包括加热组件、壳体、进气塞、活塞、针头塞及针头，所述壳体设置在所述加热组件内，其相背的两端分别连接于所述进气塞及所述针头塞，该针头的一端设置在所述针头塞内，另一端凸出于所述针头塞；所述活塞活动地设置在所述壳体内；所述壳体包括圆筒状的基体及对称连接于所述基体的进气接头及进液接头，所述基体形成有第二收容腔，所述活塞活动地设置在所述第二收容腔内；所述进气接头、所述进液接头、所述进气塞、所述针头塞均与所述第二收容腔相连通，所述针头通过所述针头塞与所述第二收容腔相连通。本发明实现了电流体喷印技术和超临界流体技术的联合应用。
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公开(公告)号：CN113096851B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202110283256.8
申请日：2021-03-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于电流体喷印相关技术领域，其公开了一种复杂曲面高粘附力导电图案结构及其制造方法，所述方法包括以下步骤：(1)采用电流体喷印方式在曲面硬质基板上喷印形成聚酰亚胺图案；(2)对所述聚酰亚胺图案进行碱性活化处理以对所述聚酰亚胺图案进行表面改性，接着在所述聚酰亚胺图案的表面依次镀银及镀铜，以在所述聚酰亚胺图案的表面形成银层及铜层，由此得到复杂曲面高粘附力导电图案结构。本发明可以在复杂曲面结构表面高精度打印及局部光固化，利用表面离子交换原理在图案化的聚酰亚胺薄膜表面自生长一层金属银薄层，吸附有银的聚酰亚胺催化化学镀铜反应，获得的聚酰亚胺‑铜复合薄膜与基底具有很强的粘附力及导电性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114193942A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111392893.5
申请日：2021-11-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: B41J3/407 , B41J2/01 , H01L21/768
Abstract: 本发明属于半导体制造相关技术领域，其公开了一种柔性电子器件的多工序原位加工方法与装置，装置包括电喷印部件、等离子体喷头、近红外激光头及时序控制器，电喷印部件、等离子体喷头及近红外激光头分别连接于时序控制器；时序控制器用于控制电喷印部件打印绝缘材料以将柔性芯片封装在柔性基底上后，再控制等离子体喷头喷射等离子体射流以去除柔性芯片焊区的金属氧化层；时序控制器还用于控制电喷印喷头在去除金属氧化层的区域及柔性基底上金属线区之间打印导电银浆以实现柔性芯片的互连，并控制近红外激光头发射近红外光来照射导电银浆以完成导电银浆的烧结。本发明简化了步骤，提高了效率及一体化程度。
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公开(公告)号：CN112874165B
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202011341350.6
申请日：2020-11-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性曲面电子共形微纳制造相关技术领域，其公开了一种等离子微束同轴电极化诱导电喷打印装置及喷印方法，装置包括墨水模块、等离子体模块及感应电场模块，墨水模块用于将墨液材料输送到喷嘴中，等离子体模块用于放电产生等离子体，感应电场模块用于感应电荷形成电场以使墨液喷射；墨水模块、等离子体模块及感应电场模块相配合以实现等离子体感应强电场诱导电流体泰勒锥实现驱动墨水射流喷射。利用等离子体的感生强电场来聚焦电喷射流飞行通道的空间电场，加以等离子体气流的流场进行复合约束射流鞭动和减小非均匀电场所导致曲面沉积时滑移。本发明实现射流/墨滴的精准定向运输，并实现射流/墨滴高精度高分辨率精准曲面共形定位沉积。
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公开(公告)号：CN113096851A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110283256.8
申请日：2021-03-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于电流体喷印相关技术领域，其公开了一种复杂曲面高粘附力导电图案结构及其制造方法，所述方法包括以下步骤：(1)采用电流体喷印方式在曲面硬质基板上喷印形成聚酰亚胺图案；(2)对所述聚酰亚胺图案进行碱性活化处理以对所述聚酰亚胺图案进行表面改性，接着在所述聚酰亚胺图案的表面依次镀银及镀铜，以在所述聚酰亚胺图案的表面形成银层及铜层，由此得到复杂曲面高粘附力导电图案结构。本发明可以在复杂曲面结构表面高精度打印及局部光固化，利用表面离子交换原理在图案化的聚酰亚胺薄膜表面自生长一层金属银薄层，吸附有银的聚酰亚胺催化化学镀铜反应，获得的聚酰亚胺‑铜复合薄膜与基底具有很强的粘附力及导电性。
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公开(公告)号：CN112874165A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202011341350.6
申请日：2020-11-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于柔性曲面电子共形微纳制造相关技术领域，其公开了一种等离子微束同轴电极化诱导电喷打印装置及喷印方法，装置包括墨水模块、等离子体模块及感应电场模块，墨水模块用于将墨液材料输送到喷嘴中，等离子体模块用于放电产生等离子体，感应电场模块用于感应电荷形成电场以使墨液喷射；墨水模块、等离子体模块及感应电场模块相配合以实现等离子体感应强电场诱导电流体泰勒锥实现驱动墨水射流喷射。利用等离子体的感生强电场来聚焦电喷射流飞行通道的空间电场，加以等离子体气流的流场进行复合约束射流鞭动和减小非均匀电场所导致曲面沉积时滑移。本发明实现射流/墨滴的精准定向运输，并实现射流/墨滴高精度高分辨率精准曲面共形定位沉积。
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公开(公告)号：CN111918530B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202010751149.9
申请日：2020-07-30
Applicant: 华中科技大学 , 中国电子科技集团公司第三十八研究所
Abstract: 本发明属于共形发射/接收组件相关技术领域，其公开了一种共形TR组件，该TR组件包括散热模块以及设于所述散热模块两相对表面的芯片连接模块以及信号收发模块，散热模块上设有相互贯通的多层散热微通道，微通道内设有流动的散热介质；散热模块上还设有多个贯通的通孔，芯片连接模块与信号收发模块通过通孔相互连接。本发明还提供了一种上述共形TR组件的全打印制备方法，该制备方法采用FDM工艺、电流喷印工艺、螺旋电纺丝工艺等对散热模块、芯片连接模块以及信号收发模块进行全打印，可以制备出基于待共形曲面的异质多层TR组件，进而实现复杂表面的共形，提高共形能力，并利于制备大面积的TR组件。
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